-
UID:317649
-
- 注册时间2020-06-19
- 最后登录2026-02-11
- 在线时间1927小时
-
-
访问TA的空间加好友用道具
|
摘要 67d0JQTu *F=wMWa 光栅结构广泛用于光谱仪,近眼显示系统等多种光学系统。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态法(FMM),以简易的方式提供对任意光栅结构进行严格分析。在光栅工具箱中,可以在堆栈中使用界面或/和介质来配置周期性结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面非常人性化,并且允许生成更复杂的光栅。在该用例中,讨论了由FMM实现衍射级次偏振状态的研究。 1<lLE1fk X_XqT KnlVZn[3t 概述 U|,VH-# )5B90[M|t B;^7Yu0, •本文的主题是光在周期性微结构处的衍射后的偏振态。 #[IQmU23 •为此,如示意图所示,在示例性二元光栅结构和锥形入射处研究零级反射光。 i2EB.Zlv •为了在特定示例中讨论该主题,在第二部分中根据Passilly等人的工作(2008年)选择光栅配置和相应参数。 qV5ME#TJ dq[CT
P\SE_*& `6UW?1_Z5 衍射级次的效率和偏振 aVd{XVE 2OEOb,` qW),)i •通常,为了表征光栅的性能,给出了传播级次的效率(η)。 gg5`\} •该效率值包括该特定级次的所有光的能量,但并不区分最终出现的不同偏振状态。 X|X6^} •在严格模拟光栅效率的过程中,例如利用傅里叶模态法,通过使用复数场求解均匀介质的波动方程(也称为亥姆霍兹方程)。 lepgmQ|oY •因此,对于每个衍射级次(𝑛)和偏振态,算法的结果以复数值瑞利系数给出。 %A?Ym33 •特定级次(𝑛)的效率表示入射光的功率与输出衍射级的光功率之间的关系。它是从瑞利系数计算出来的。 ;[&g`%-H<
jh9^5"vQ RoPz?,u 光栅结构参数 74QWGw`, Ip|7JL0Z (eHvp •此处探讨的是矩形光栅结构。 4u A;--j •为简单起见,选择光栅的配置,仅使反射中的零级次(R0)传播光线。 6MF%$K3 •因此,选择以下光栅参数: eo"6 \3z - 光栅周期:250 nm 5WY..60K, - 填充系数:0.5 SI U"cO4 - 光栅高度:200 nm ^KmyB6Yg - 材料n1:熔融石英 #}l}1^$ - 材料n2:TiO2(来自目录) SxNs taw
#r WC0@g5;1[ Bx;bc 偏振状态分析 t/pHdxX*C7 8&B{bS HX?5O$<<N •使用不同锥形入射角(φ)的TE偏振光照射光栅。 H"6:!;9, •如上所述,瑞利系数的平方幅值将提供有关特定级次的偏振状态信息。 ewD61Y8- •为了得到瑞利系数,请在光栅级次分析器中选中单个级次输出,并选择所需的系数。 + ,0RrD ) '3aDvV0
uG~%/7Qt{ IYb@@Jzo 产生的极化状态 XV]`? i e%ZX
-TSn_XE %mg |kb6n 5,k&^CK} 其他例子 b2duC 9-I;' 3@_je)s •为了不同状态之间接收高转换,在Passilly等人的工作中,研究和优化了在亚波长光栅处衍射光的偏振态。 pO4}6\1\ •因此他们将模拟结果与制造样品的测量数据进行了比较。 {C[<7ruF JmtU>2z\ }r9f}yX9Q JEGcZeq) 光栅结构参数 AS'a'x>8>, ?&j[Rj0pH +3!um •在引用的工作中,研究了两种不同的制造光栅结构。 wqK>=Ri_ •由于应用的制造方法引起的,与所需的二元形状相比,结构表现出一些偏差:基板的蚀刻不足和光栅脊的形状偏离。 r. =_=V/t •由于缺少有关制造结构的细节,因此在VirtualLab中的模拟,我们进行了简化。 Cir==7A0 •当然,如果数据可用,详细分析光栅的复杂形状亦是可能。 8S&`
mN!>BqvN <$K%u? 光栅#1 1B}6 zJ &S]\)&Yt
A !x"* eOE7A'X A!x_R {,yH •仅考虑此光栅。 %DbL|;z1 •假设侧壁表现出线性斜率。 >x eKO2o •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 L Lm{:T7 •为了实现光栅脊的梯形形状,应用了倾斜的光栅介质。 |JtdCP{ 8yF15[' bBb$0HOF 假设光栅参数: 25NZIal< •光栅周期:250 nm dyC: Mko= •光栅高度:660 nm l%oie1g l •填充系数:0.75(底部) kzMCI)>" •侧壁角度:±6° Z;P[)q •n1:1.46 7AX<>^ •n2:2.08 -yy&q9 ?sfA/9" 光栅#1结果 Eo!1
WRruF TwqyQ49 4w}\2&= •左图显示的是使用VirtualLab获得的结果,而Passilly等人发表的结果如右图所示。 .R#p<"$I •相比之下,这两张图都表现出非常好的相似性,尤其是图的轨迹。 ~
b!mKyrZ •与参考相比,光栅结构的简化导致了一些小的偏差。 由于缺少复杂光栅结构的数据,因此简化是必要的。 p3M)gH=N ={o>g' hCD0Zel ;$wS<zp6 光栅#2 \f}S Hh &jT>)MXPu
R#"kh/M A|,\}9)4X[ ,2qJXMg"=$ •同样,只考虑此光栅。 ;O}%_ef@ •假设光栅有一个矩形的形状。 ?Lbwo<E •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 b'p bf 假设光栅参数: :_~UO^*h •光栅周期:250 nm Ou"QUn| •光栅高度:490 nm eu@-v"=w •填充因子:0.5 %M2.h;9]*\ •n1:1.46 mnzamp •n2:2.08 Cg
|_) _w W/<]mm~95 光栅#2结果 Jx9S@L` Og4 X3QG KdHR.;* •同样,左边的图显示了使用VirtualLab获得的结果,由Passilly等人发表的结果如右图所示。 7hZCh,O •相比之下,这两张图再次表现出非常好的匹配,尤其是图的轨迹。 ~}q"M[{ •与参考相比,光栅结构的简化以及缺少一些光栅参数会导致一些小的偏差。 dQVV0)z cKEf- &~
QrDzfe[
|