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    [技术]衍射级次偏振状态的研究 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-08-22
    摘要 5Ckk5b  
    WP% {{zR$  
    光栅结构广泛用于光谱仪,近眼显示系统等多种光学系统。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态法(FMM),以简易的方式提供对任意光栅结构进行严格分析。在光栅工具箱中,可以在堆栈中使用界面或/和介质来配置周期性结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面非常人性化,并且允许生成更复杂的光栅。在该用例中,讨论了由FMM实现衍射级次偏振状态的研究。 &W)+8N,L  
    _^xh1=Qr}n  
    JX\T {\m#  
    概述 +%le/Pg@  
    !.2CAL  
    TA@tRGP>  
    •本文的主题是光在周期性微结构处的衍射后的偏振态。 }KaCf,O  
    •为此,如示意图所示,在示例性二元光栅结构和锥形入射处研究零级反射光。 ReB(T7Vk=  
    •为了在特定示例中讨论该主题,在第二部分中根据Passilly等人的工作(2008年)选择光栅配置和相应参数 gSv[4,hXd  
    b!^M}s6  
    RLu$$Eb  
    9OQ0Yc!3  
    衍射级次的效率和偏振
    UP~WP@0F  
    XEUa  
    yjOu]K:X  
    •通常,为了表征光栅的性能,给出了传播级次的效率(η)。 S4{Mu(^xT  
    •该效率值包括该特定级次的所有光的能量,但并不区分最终出现的不同偏振状态。 K5)yM @cq  
    •在严格模拟光栅效率的过程中,例如利用傅里叶模态法,通过使用复数场求解均匀介质的波动方程(也称为亥姆霍兹方程)。 g@k#J"Q '[  
    •因此,对于每个衍射级次(𝑛)和偏振态,算法的结果以复数值瑞利系数给出。 4*D fI  
    •特定级次(𝑛)的效率表示入射光的功率与输出衍射级的光功率之间的关系。它是从瑞利系数计算出来的。 m_E[bDON  
    M]4=(Vv+5  
    7{K i;1B[w  
    光栅结构参数 L&DF,fWsF&  
    ].k+Nzf_  
    /XW&q)z-Hl  
    •此处探讨的是矩形光栅结构。 N)vk0IM!  
    •为简单起见,选择光栅的配置,仅使反射中的零级次(R0)传播光线 M~ i+F0  
    •因此,选择以下光栅参数: !HdvCYB>  
    - 光栅周期:250 nm XYK1-m}2  
    - 填充系数:0.5  zU4V^N'  
    - 光栅高度:200 nm ax72ehL}  
    - 材料n1:熔融石英 0U~;%N+lv  
    - 材料n2:TiO2(来自目录) d Y:|Ef|v(  
    D8@n kSP  
    {XDY:`vZ}  
    )D Gz`->  
    偏振状态分析 nL":0!DTRD  
    ,TKs/-_?  
     ^6)GS%R  
    •使用不同锥形入射角(φ)的TE偏振光照射光栅。 l\T!)Ql  
    •如上所述,瑞利系数的平方幅值将提供有关特定级次的偏振状态信息。 LL= Z$U $  
    •为了得到瑞利系数,请在光栅级次分析器中选中单个级次输出,并选择所需的系数。 |P,zGy  
    B.}_],  
    kvW|=  
    s FQ4O- SM  
    产生的极化状态 !cEbz b  
    ;t;Y.*&=S  
    M('s|>\l  
    ,]PyDq6  
    "EcX_>  
    其他例子 `1E|PQbWc  
    sJ))<,e5I  
    kf%&d}2to  
    •为了不同状态之间接收高转换,在Passilly等人的工作中,研究和优化了在亚波长光栅处衍射光的偏振态。 (~j,mk  
    •因此他们将模拟结果与制造样品的测量数据进行了比较。 Pl rkgS0J  
    K0EY<Ltq  
    GI2eJK  
    ia%z+:G  
    光栅结构参数 c;:">NR  
    (O)\#%,@R  
    a|DsHZ^6^  
    •在引用的工作中,研究了两种不同的制造光栅结构。 g$*/ XSr(  
    •由于应用的制造方法引起的,与所需的二元形状相比,结构表现出一些偏差:基板的蚀刻不足和光栅脊的形状偏离。 jOUK]>ox:  
    •由于缺少有关制造结构的细节,因此在VirtualLab中的模拟,我们进行了简化。 eu# ,WwlG  
    •当然,如果数据可用,详细分析光栅的复杂形状亦是可能。  0dgP  
    kz ZDtI)  
    !c3```*  
    光栅#1 @s_3 0+  
    _j:UGMTi(U  
    _iG2J&1'L  
    f4]N0  
    s kN9O"^A  
    •仅考虑此光栅。 k: b/Gq`  
    •假设侧壁表现出线性斜率。 QWrIa1.JC  
    •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 LHs-&  
    •为了实现光栅脊的梯形形状,应用了倾斜的光栅介质。 J|V K P7  
    c |>=S)|  
    di~]HUZh)  
    假设光栅参数: K)\(wxv  
    •光栅周期:250 nm e]lJqC  
    •光栅高度:660 nm !ZFr7Xz  
    •填充系数:0.75(底部) >Bc> IO  
    •侧壁角度:±6° Og,Y)a;=  
    •n1:1.46 9ky7r;?  
    •n2:2.08 n[!;yO  
    AY#wVy  
    光栅#1结果 9<yAQ?7 L  
    = 96G8hlT  
    "\e:h| .G  
    •左图显示的是使用VirtualLab获得的结果,而Passilly等人发表的结果如右图所示。 4-mVB wq  
    •相比之下,这两张图都表现出非常好的相似性,尤其是图的轨迹。 4&Byl85q  
    •与参考相比,光栅结构的简化导致了一些小的偏差。 由于缺少复杂光栅结构的数据,因此简化是必要的。
    g>so R&*  
    G6ayMw]OF  
    B[r<m J  
    pmD4j8F_  
    光栅#2 .*BA 1sjE  
    R{HV]o|qk  
    I%oRvg|q  
    o]Gguw5W{  
    MDJc[am  
    •同样,只考虑此光栅。 ipobr7G.SD  
    •假设光栅有一个矩形的形状。 089 k.WG  
    •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 LheFQ A  
    假设光栅参数: k<H%vg>{~s  
    •光栅周期:250 nm aX;A==>  
    •光栅高度:490 nm I,b9t\(6  
    •填充因子:0.5 av-#)E  
    •n1:1.46 SxJ$b  
    •n2:2.08
    Z7fg 25  
    sYJL-2JX  
    光栅#2结果 ;f:gX`"\  
    `H\)e%]  
    LN4qYp6)G  
    •同样,左边的图显示了使用VirtualLab获得的结果,由Passilly等人发表的结果如右图所示。 Y25^]ON*\^  
    •相比之下,这两张图再次表现出非常好的匹配,尤其是图的轨迹。 `H>b5  
    •与参考相比,光栅结构的简化以及缺少一些光栅参数会导致一些小的偏差。 l4rMk^>>  
    \q "N/$5{f  
    RT^v:paNT2  
     
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