切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 Zemax光学设计从基础到实践 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 光学设计与光学元件 CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 419阅读
    • 0回复

    [技术]高NA物镜聚焦的分析 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    6243
    光币
    25360
    光券
    0
    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-08-20
    摘要 @P@j9yR  
    n 9X:s?B/  
    高NA物镜广泛用于光学光刻，显微镜等。因此，在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹，可以清楚地展示不对称焦斑，这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性，可以让用户深入了解矢量效应。 Je1'0h9d  
    #o/  
    %{*A@jQsg  
    aI'MVKwMk  
    建模任务 4u.Fy<+@4M  
    o$%I{}9x  
    v:7_ZD6kR  
    概观 oZCjci-  
    FT$Z8  
     a\@k5?  
    光线追迹仿真 {dF_ =`.  
    &u}]3E'-k  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”（Ray Tracing System Analyzer）作为仿真引擎。 {I:nza  
    sJ !<qb5!  
    •点击Go！ W8><  
    •获得3D光线追迹结果。 2iV/?.<Z&  
    XJI ff$K  
     5H!6 #pqM  
    *@(j'0hj  
    光线追迹仿真 k`u.:C&  
    EK=PY  
    X<*-d6?gD`  
    •然后，选择“光线追迹”（Ray Tracing）作为仿真引擎。 &]_2tN=S$  
    •单击Go！ _Q=h3(ZI  
    •结果，获得点列图（2D光线追迹结果）。     n=8DC&  
    px>g  
    L7rH=gZ&!]  
    c*c 8S~6  
    场追迹仿真 5%K(tRc|  
    (S)jV 0  
    OB5t+_ s  
    •切换到场追迹并选择“第二代场追迹”（Field Tracing 2nd Generation）作为仿真引擎。 J7Y lmi  
    •单击Go！     ^2 }p%j >  
    31)eDs  
    >5c38D7k)  
    7LrWS83  
    场追迹结果（摄像机探测器） >= VCKN2'j  
     lV ra&5  
    WTX!)H6Zv  
    •上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 t8_i[Hw6D  
    •下图显示整合了Ex，Ey和Ez分量的强度。 kX8Ey  
    Ez分量：由于在高NA情况下相对较大的Ez分量，可以看到明显的不对称性。 xwjiNJ Gj  
    g* DBW,  
    \{K~x@`  
     og)f?4  
    场追迹结果（电磁场探测器） t*dd/a  
    $s,Az_bs  
    t}x^*I$*  
    •所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。     "Iu Pg=|#  
    -?Kd[Ma  
     &++tp5  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表