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摘要 #\\|:`YV z7TyS.z 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 /O~Np|~v W:K '2j
Zpz3?VM( &^l(RBp]0 本用例展示了...... |qBcE •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: %< `D'V@ - 矩形光栅界面 nkf7Fq} - 过渡点列表界面 ',/2J0_ - 锯齿光栅界面 cZ# %tT# - 正弦光栅界面 L@Q+HN •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 nu(7YYCM$ rR
8 6D 光栅工具箱初始化 _<=h#lH •初始化 I5 qrHBJ > - 开始 Y=5P=wE 光栅 ;%;||?'v 通用光栅光路图 Xt
+9z •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, GxEShSGOE 可直接选择特定的光路图。 6[SIDOp*^ opMnLor
iu3L9UfL[ dFyGI? 光栅结构设置 p}<60O"r$ •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 4u+0 )<
:Qhrh(i •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 X0R EC% •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 XK})?LTD
YoBe!-E
$sS~hy* m xqY •例如,选择第一个界面上的堆栈。 :2K@{~8r 2_y]MXG+% 堆栈编辑器 p4
=/rkq •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 {Ay dt8 •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 1GK>&; &}
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=E<H_cUS 6?;z\AP& 矩形光栅界面 cnI5G! _^NyLI% •一种可能的界面是矩形光栅界面。 T6QRr}8`/J •此类界面适用于简单二元结构的配置。 Ka_;~LS>( •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 @&Bh!_TWc •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 !&9(D^ •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 ]!&$&t8. %S'+x[4W
1m#.f=u{R b $JS| 矩形光栅界面 }YVF
fi~ •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 p4*L}Q •所选界面在视图中以红色突出显示。 H!&_Tv[
G!;PV^6x •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 g,rmGu3v •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 6 dV )pJd ~> Q9 •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 h<TZJCt •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 q\~
#g.} •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 W\NC3] `$S&:Q, X6r0+D5AvB 6(rN(C
YO$D- N+@ Ff3M 矩形光栅界面参数 <r.QS[:h •矩形光栅界面由以下参数定义 HE%/+mZN - 狭缝宽度(绝对或相对) xcU!bDV - 光栅周期 ?5J# - 调制深度 J E7m5kTa •可以选择设置横向移位和旋转。 {
]_j)R .<F46?HS
j~G(7t dpw-a4o} 高级选项和信息 e-`.Ht •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 {;u,04OVK •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 DZtpY{=Z •可以设置总级次数或衰逝波级次数 d]`6N (evanescent orders)。 kuD$]A
Q`& •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 "`V@?+3 •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 9`*Eeb> [Hx(a.,d BZ1wE1 t wlJi_)! •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 !>n!Q*\(Ov •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 rR-[CT •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 rZJJ\ , | •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 3Iv^ C2"^YRN, 94BH{9b5 suwR`2 过渡点列表界面 CTRUr" •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 g"1V] •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 jez0 A •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 p eO@ZKmM TA-2{=8 $|- Lw!)D 过渡点列表参数 = IRot •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 !SW0iq[7j •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 Y
b3ckktY P'lnS&yA XNWtX-[^@ 6r<a •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 j'z#V_S •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 EGUlLqP6e •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 LJ/He[r|[ .iRKuBM/
Op ar+|p\ DOKe.k 高级选项及信息 Y:ly x-lj •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 P\7*ql` LBCH7@V1yR
(yqe4 5lG\Z? 正弦光栅界面 |NZi2Bu •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 g2|Myz) •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 Y0 a[Lb0 •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: SWV*w[X<X - 脊的材料:基板的材料 O D}RnKL - 凹槽材料:光栅前面的材料 iH }- !Zj]0,^ +M0pmK! eut2x7Z(c 正弦光栅界面参数 <#C,66k - 正弦光栅界面也由以下参数定义: PR.3EL •光栅周期 UPuoIfuqI •调制深度 4|`>}Nu - 可以选择设置横向移位和旋转。 ~V8z%s@ - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。 1y'Y+1.< -+rzc&h n^4R]9U {=ox1+d 高级选项和信息 U|}
?{x •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。 LgNIb & |