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摘要 V#REjsf,t- 9KWuN:Sg 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 ryB}b1`D ':{>a28=
:cB=SYcC% 0k)rc$eDF+ 本用例展示了...... kF(n!2"W •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: 0:w"M<80 - 矩形光栅界面 'k;rH!R - 过渡点列表界面 1W7%1FA - 锯齿光栅界面 Ar*^;/ - 正弦光栅界面 I[)% , jd •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 Wbr+KX8) CI353-` 光栅工具箱初始化 v~QHMg •初始化 / 0 O=( - 开始 p
sL?Y 光栅 )nL`H^ 通用光栅光路图 ^8.]d~j •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, >B]'fUt5a 可直接选择特定的光路图。 I:K"'R^ vz.>~HBP
q`-;AG|xF Pj}66. 光栅结构设置 k0Ol*L!p •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 |$?bc3
Tg!m`9s+ •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 '%q$`KDb •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 /c
uLc^(X :oJ=iB'Zc
lOtDqb& *G*
k6.9W! •例如,选择第一个界面上的堆栈。 D$t k<{)oB vZ.x{"n'~ 堆栈编辑器 n{6G"t:^l •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 CrwwU7qKL •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 ,l<6GB2\ ~\ J}Kqg
.l.a(_R /~zai} 矩形光栅界面
` @nl ;q*e=[_DF •一种可能的界面是矩形光栅界面。 #B4%|v;`E? •此类界面适用于简单二元结构的配置。 rqY`8Ry2M •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 l1f\=G?tmU •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 h*- Pr8 •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 ."9];)2rx gLOEh6
/5u<78GW1 uD^cxD 矩形光栅界面 rx] @A •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 @)fd}tV •所选界面在视图中以红色突出显示。 ZpnxecJUJ
R6]Gk)5 •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 :Of^xj>A •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 UEguF& \--8lH -K •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 "'t0h{Wr8 •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 u
fw ]=h) •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 #w' kV# +mn,F}; N<XNTf "hsb8-
2.l:O2< JU)dr4S? 矩形光栅界面参数 >Z'NXha •矩形光栅界面由以下参数定义 ?.Ca|H< - 狭缝宽度(绝对或相对) ?!` /m|" - 光栅周期 a6uJYhS~ - 调制深度 >&}%+r\ •可以选择设置横向移位和旋转。 -w"VK|SGm lE4HM$p
LGw$v[wb Y2~nBb 高级选项和信息 OG>}M$Ora •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 OWg(#pZk •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 <nT
+$ •可以设置总级次数或衰逝波级次数 cWe"%I (evanescent orders)。 y.< m#Zzt •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 M 0U0;QJ •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 VgZsB$Ori 62ws/8d6f <h:x= X:nN0p # •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 ]1#e#M]# •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 D$I5z.a •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 JehrDC2N •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 rWR}Stc@] >JFO@O5 :LW4E9O=H + |n*b 过渡点列表界面 B#Vz#y •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 l~w2B>i) •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 f'EuY17w •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 jtW!"TOY RAgg:3^ 42$VhdG 过渡点列表参数 H4&lb} •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 }HFN3cq;C •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 ,9zjFI 3q\,$*D. 5K>3My# iJ1"at •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 FQ<Ju. •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 4;yKOQD| •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 !Prg_6
` &8Cu#^3
Q ayPo]O $P/~rZ@M@ 高级选项及信息 YNKHN2E8 •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 }ppN k:B 1\
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XDOY`N^L *x@Onj 正弦光栅界面 tE<H|_{L •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 cQy2"vtU •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 g+vva" •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: lb4Pcdj - 脊的材料:基板的材料 {Aw#?#GPW - 凹槽材料:光栅前面的材料 v_+{'F }YGV\Nu ! >(7+B3E* jnO9j_CY 正弦光栅界面参数 !Xf5e*1IS - 正弦光栅界面也由以下参数定义: .sha& •光栅周期 KX ,S •调制深度 *2pt%eav - 可以选择设置横向移位和旋转。 =_JjmTy;a - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。 ?+@n3]`0 h7G"G" } gyj0 <wN}X#M 高级选项和信息 ^a0um/+M} •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。 g:g\>@Umo %(3|R@G.
+~m46eI ?uzRhC_)! 高级选项及信息 AifWf2$S •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。 _hAcJ{Y e'6/`Evqz 'N (:@]4N 锯齿光栅界面 eenH0Ovv •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。 |mxDjgq •此界面允许配置闪耀结构的光栅。 aL+
o / •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: 44ek
IV+? - 脊的材料:基板的材料 BTqS'NuT - 凹槽材料:光栅前面的材料 ZCMw3]* h5*JkRm
!"?#6-,Xn !#], hok8X 锯齿光栅界面参数 eBZXI)pPh •锯齿光栅界面也由以下参数定义: R1adWBD> - 光栅周期 kyR:[+je - 调制深度 2e+UM$ •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。 ZQ4p(6a •可以选择设置横向移位和旋转。 jwc)Lj} •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。 >K_(J/&p %".HaI] >,V9H$n o5Dk:Bw 高级选项和信息 pA'4|ffwe •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。 a#cCpE u@Ih GME 探测器位置的注释 dU&a{$ku[ 关于探测器位置的注释 ~^NtO •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。 .5^cb%B* •如果光栅包含在复杂的光学装置中,则必须这样做。 jD$,.AVvz •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。 }^ApJS(FQ •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估软件)。 R/~p>apg8 •可以避免这些干涉效应的不良影响。 f(>p=%=O faEt6
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