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摘要 QqiJun_m )sW6iR&_i 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 v/R[?H) l'*^$qc
mRhd/|g* &yxNvyA[u 本用例展示了...... <NG/i i= •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: q=6Cc9FN - 矩形光栅界面 `DLp<_z>
- 过渡点列表界面 GilQtd3\ - 锯齿光栅界面 C4QeDvpI - 正弦光栅界面 erx5j\ •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 K8HIuQ!= w9RF2J 光栅工具箱初始化 d/D,P=j" •初始化 hv+|s( - 开始 DR:8oo&E 光栅 Fe!D%p Qv 通用光栅光路图 #zON_[+s9 •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, O'k+7y 可直接选择特定的光路图。 T@TIzz q0,kDM66
q#P$'7" 4k8*E5cx 光栅结构设置 q7X}MAW •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 G'
Blp
Y3-gUX*w0 •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 C5P$&s\ •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 IY=/`g &+ KyPY+
XC[]E)8 Btj#EoSI_ •例如,选择第一个界面上的堆栈。 Ve{n<{P ^Ye\u1n4 堆栈编辑器 TG}d3ZU
! •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 @;vNX*-J •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 |%
z^N* !p9)CjQ "
! Tx&vtq 96d~~2p 矩形光栅界面 HcRa`Sfc]/ [J^ •一种可能的界面是矩形光栅界面。 *5_V*v6 •此类界面适用于简单二元结构的配置。 C5xag#Z1 •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 (n,u|}8Y •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 <aJ$lseG •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 Ck\7F?S # 05jC6
>M]6uf {C3U6kKs;R 矩形光栅界面 H`~;|6}]n •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 $B;_Jo\| •所选界面在视图中以红色突出显示。 ,~COZi;R.D
OS-sk! •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 Z(j{F<\jS •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 ~ 3^='o T*?s@$)m4 •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 kH'p\9= •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 .N,&Uv- •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 Q_]d5pl ]1D%zKY%$Z $&{ti.l ]mQw,S)/"
.%}?b~
~*M$O & 矩形光栅界面参数 ?+~cA^-3T •矩形光栅界面由以下参数定义 |?d#eQ9a - 狭缝宽度(绝对或相对) KzjC/1sd - 光栅周期 .Obn&S - 调制深度 `0ZZ/]
!L •可以选择设置横向移位和旋转。 O:'?n8rWL
(hB?
7Ym(n8 g:7,~}_}^ 高级选项和信息 6sJw@OaJ •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 ~gE:- •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 hoM|P8
}rh •可以设置总级次数或衰逝波级次数 xe4Oxo (evanescent orders)。 hA}~es=c •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 |F[=b'? •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 lx |5?P r@U3sO#N J@_ctGv =PkO!Mm8 •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 slu(SmQ •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 Os&n •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 )@gZ;`n •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 0v)bA}k 6Wj^*L! WOLuw% D}3T|N 过渡点列表界面 lDc-W =X= •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 }|\d+V2On •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 #3$\Iu •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 ke_[ ^T5X)Nu{=C ~]HN9R^& 过渡点列表参数 )+P]Vf\jH •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 JL=U,Mr6 •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 7F^#o-@=J B9R(&<4 .zg8i_ Cx<0 H •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 N8toxRu •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 |re}6#TgcT •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 \1"'E@+
O.`Jl%
^3VR-u <O r]@0eb
高级选项及信息 S! Rc|6y% •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 ` x8J NLS"eDm
Ub1hHA*) :bu>],d-8' 正弦光栅界面 {\H/y c|@ •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 IW=cym7 •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 qfY5Ww$8 •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: IU FH:w] - 脊的材料:基板的材料 G!w"{Bk?9 - 凹槽材料:光栅前面的材料 in+}/mwfC 5|3e& qgIb/6;xQ 7ELMd{CD 正弦光栅界面参数 ">f erhN9 - 正弦光栅界面也由以下参数定义: z]B]QB
Y[ •光栅周期 Od+6 -J •调制深度 <8,o50`B - 可以选择设置横向移位和旋转。 W1fW}0
- 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。 8Jf.ECQT [B@'kwD\l <q*oV Z4<L$i;/jN 高级选项和信息 F+R?a+e •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。 pl@O
N"=[ O[tvR:Nh
k@zy oSiMpQu08 高级选项及信息 A.<H>=Z#O •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。 ;g{qYj_ theZ]5_C Grs]d-xI 锯齿光栅界面 {{V8;y
•另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。 |*Z$E$k: •此界面允许配置闪耀结构的光栅。 ?
WJ> p •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: SJD@&m%?[ - 脊的材料:基板的材料 #/PA A - 凹槽材料:光栅前面的材料 ~wg:!VWA) zvABU+{jD
V5+SWXZ SGb;!T* 锯齿光栅界面参数 " \I4u{zC •锯齿光栅界面也由以下参数定义: KiG p[eb - 光栅周期 }Zl&]e - 调制深度 ::_i@r •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。 y#}cC+; •可以选择设置横向移位和旋转。 $kR N
h6 •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。 /mo(_ *s@Qtgu vJAZ%aW 3u%{dG a 高级选项和信息 P[s8JDqu •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。 o7IxJCL=Q jzU.B u. 探测器位置的注释 KWLbD# 关于探测器位置的注释 'SQG>F Uy •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。 hiNEJ_f •如果光栅包含在复杂的光学装置中,则必须这样做。 l5L.5$N •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。 !i=nSqW •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估软件)。 =zwOq(Bh W •可以避免这些干涉效应的不良影响。 mPq$?gdp %Uz(Vd#K
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