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摘要 t3P$UR% LH_VdLds 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 ;RR\ Hwix OSu/!Iv\
BIQQJLu &9j*Y 本用例展示了...... TUy
25E •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: JE~;gz] - 矩形光栅界面 YY4XCkt - 过渡点列表界面 ?^}
z - 锯齿光栅界面 ^*g= 65!1 - 正弦光栅界面 2E0A` •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 |K.J@zW NCX`-SLv 光栅工具箱初始化 >;^t)6 •初始化 jjJvyZi~J - 开始 xj<
K6 光栅 w ]%EJ|' 通用光栅光路图 %4$J.6M •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, 6<t<hP_3O 可直接选择特定的光路图。 \281X y8.3tp
&P pb2 e'dx
Y( 光栅结构设置 Tebu?bj •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 ,DIr&5>p2
!n^7&Y[N; •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 3UgPVCT •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 uY;7&Lw
y1 \Dx5= Lh
WupONrH1e ET\>cxSp •例如,选择第一个界面上的堆栈。 /A82~ i|!D 堆栈编辑器 Hfo/\\ •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 .VA'W16 •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 J;5G]$s :"Gd;~p.
FT;I|+H*P ~P,@">} 矩形光栅界面 _m@+d>f_ (nnIRN<}$ •一种可能的界面是矩形光栅界面。 FIN0~
8 •此类界面适用于简单二元结构的配置。 u`gY/]y! •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 N"Cd{3 •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 lPA:ho/`: •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 s*tzU.E( 0?w4
i*61i0 v$~ZT_"(9 矩形光栅界面 4c,{Js •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 -(VX+XHW •所选界面在视图中以红色突出显示。 #9/S2m2\YG
7J|eL
yj •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 7e/K YS+!s •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 f^[u70c82 i:sb_U+M •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 4<A+Tf •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 xlm:erP •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 5;[h&jH 9RQw6rL JQ<9~J xG8z4Yu
W@WKdaJ bnxR)b~ 矩形光栅界面参数 +"3K)9H •矩形光栅界面由以下参数定义 #vPf$y6jCI - 狭缝宽度(绝对或相对) u;/<uV3 - 光栅周期 4>Y\Y$3 - 调制深度 x}7` Q:k= •可以选择设置横向移位和旋转。 %0lJ(hm 5^e|802
ZJ'FZ8Sx r!)jxIL\ 高级选项和信息 q/dja •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 G0Wv=tX| •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 KFf6um •可以设置总级次数或衰逝波级次数 ;#n+$Q#: (evanescent orders)。 T?EFY}f •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 B'-L-]\H •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 !^IAn q:3HU< vx4Jk]h+=L 7rjS. •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 }!1pA5x$ •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 t4FaU7 •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 \Z/#s;c,4 •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 T]y^PT<8? 11BfJvs: q|xic>. NSDls@m 过渡点列表界面 ky{-NrK •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 #RVN7-x •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 xYD.j~ •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 4qmaL+Q O_[]+5.TX =(]||1. 过渡点列表参数 |emZZj •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 RtScv •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 /]hE?cmj p'YNj3&u @1tv/W
)NCSO b •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 x[1(cj •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 6dQ]=]; •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 JB(P-Y#yyA Vv~:^6il
Q??nw^8Hi (VH0+ 高级选项及信息 K0z@gWGE •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 i~;Yrc%AEX jLgx(bMn
_%6Vcy :Tn1]a)f6 正弦光栅界面 OE_>Kw7q •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。
>TQnCG= •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 ,]8$QFf •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: E@D}Sqt - 脊的材料:基板的材料 .80L>0 - 凹槽材料:光栅前面的材料 D_-<V,3t H/BU2s a 4Q5c' HzD=F3\r| 正弦光栅界面参数 iTg7@% - 正弦光栅界面也由以下参数定义: nk-V{'] •光栅周期 E-XFW]I •调制深度 \ws^L,h - 可以选择设置横向移位和旋转。 z9IJ%=R - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。 1)N{!w` {wyf>L0j wC4:OJ[d Fmux#}Z 高级选项和信息 t}2$no? •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。 d@0& Q2 @Ugt$
P1Chmg s2M|ni= 高级选项及信息 SM@RELA'Lb •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。 kG70j{gf Q^z&;%q1 M~#%
[?iU 锯齿光栅界面 CxW-lU3G` •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。 Ij}k>qO/2 •此界面允许配置闪耀结构的光栅。 ';OZP2 •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: ;^Y]nsd - 脊的材料:基板的材料 t_Rpeav - 凹槽材料:光栅前面的材料 a0=5G>G9c T{Rhn V1
2Ed
|jwN8@ 锯齿光栅界面参数 -L)b;0% •锯齿光栅界面也由以下参数定义: Nq=r404 - 光栅周期 A3=$I&!% - 调制深度 qH-':|h7 •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。 Bk9? = •可以选择设置横向移位和旋转。 .<|.nK` 6 •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。 S|HnmkV66 mFu0$N6]H H^\2,x Z "G,$Sqi@ 高级选项和信息 @5y ~A}Vd •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。 0zvA>4cq) "Ooc;xD3< 探测器位置的注释 uY'77,G_J 关于探测器位置的注释 39zwPoN> •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。 :4,
OA •如果光栅包含在复杂的光学装置中,则必须这样做。 ddiBjp2.! •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。 :Kt'Fm,s? •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估软件)。 WnL Ma|e •可以避免这些干涉效应的不良影响。 si|DxDx =TzmhX5
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