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摘要 b*-g@S 5`$.GV 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 p4\r` $"+ahS<?tC
EF7Y 4lp &x}a 本用例展示了...... kWv)+ •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: H.8f-c-4we - 矩形光栅界面 ?m)3n0Uh - 过渡点列表界面 piZ0KA" - 锯齿光栅界面 ebbC`eFD - 正弦光栅界面 3NEbCILF •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 B2QC#R $'SWH+G 光栅工具箱初始化 wnf'-dw] •初始化 J/M_cO*U - 开始 {8NnRnzU 光栅 )G7")I J/X 通用光栅光路图 D ^ mfWJS •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, ] ~;x$Z) 可直接选择特定的光路图。 %UquF I8|7~jRB
])dq4\Bw J|DID+M 光栅结构设置 gm**9]k ^{ •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 N:#"4e
xLfx/&2 •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 e8HGST` •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 V~V_+ P4{8pO]B
_z:7Dj# d"
T">Og) •例如,选择第一个界面上的堆栈。 3JB?G>\! [25[c><:w" 堆栈编辑器 Mlr\#BO"9 •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 {q9[0-LyJ •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 7J~usF>A Ap&Bwo 8b
!/+'O}@-E PZVh)6f"c 矩形光栅界面 z(sfX}% 8IErLu } •一种可能的界面是矩形光栅界面。 BDW%cs •此类界面适用于简单二元结构的配置。 wS*An4%G •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 |sf&t •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 -)biSU, •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 -L;sv0 y be:u
_*d8:|qw oyQp"'|N 矩形光栅界面 !f
7CN< •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 9M3XHj •所选界面在视图中以红色突出显示。 +!dWQ=W
=Q#}
,T •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 ^_6.*Mvx •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 muMb pF FerQA9K)x •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 Z`L-UQJ. •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 cG)i: •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 ,e6n3]W8 q*`1<9{H ~b.C[s *D&(6$[ ^
11%<bmJ]Q3 aRPpDSR?l 矩形光栅界面参数 ,BGaJ|k •矩形光栅界面由以下参数定义 eko$c,&jY - 狭缝宽度(绝对或相对) qmNg Ez% - 光栅周期 ]njObU)[zr - 调制深度 <m;idfn •可以选择设置横向移位和旋转。 q J)[2:.G gIGyY7{(s8
4/6?wX :bJT2o[ 高级选项和信息 oMM+af •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 05]y*I •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 $)UMRG •可以设置总级次数或衰逝波级次数 IM""s] (evanescent orders)。 6Vr:?TI7 •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 tOQ2947zk •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 \UBTNY, 3em&7QM #$vQT} uVnbOqR<X •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 >A'Q9Tia; •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 fk*$}f •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 TR@*tfS •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 ="~yD[S p6UPP|-S %}T' 3 6V[ce4a% 过渡点列表界面 wH?r522`c •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 N0]C?+ •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 2)_Zz~P^f •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 _J|cJ %F>% 9j[lr${A Z/Vb _ 过渡点列表参数 Qn=#KS8=J •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 ]Ut fI •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 @-^jbmu^
P B,2oA]W"S i3bDU(GS ;|C[.0;kgv •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 s{QS2G$5 •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 mpsi{%gA
•在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 ?^y!}( V:<NQd
itH`
s<E \=3fO( 高级选项及信息 )GbVgYkk •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 <i<[TPv"; BQ[,(T`+R
hxt,%al nnw5
!q_ 正弦光栅界面 Wciw6.@ •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 28u3B2\$ •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 ZvQ~K(3 •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: khXp}p!Zm - 脊的材料:基板的材料 {pzu1* - 凹槽材料:光栅前面的材料 e!eUgD ~~8?|@V 1Tb'f^M$ ap
5D6y+ 正弦光栅界面参数 0$saDmED - 正弦光栅界面也由以下参数定义: Ym]Dlz,o •光栅周期 y2_^lW% •调制深度 S2^Ckg - 可以选择设置横向移位和旋转。 mN!5JZ'2 - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。 f@G3,u!]i 7W7!X\0Y ~7kIe+V Kuj*U'ed7t 高级选项和信息 hny(:Dj •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。 Rt%3\?rf TB oN8cB}
yf lt2 R equ|v~@y 高级选项及信息 J)148/ •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。 "OdR"M(G\ 2r0u[ Y{Yp N 锯齿光栅界面 /4Df 'd •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。 Ts~MkO •此界面允许配置闪耀结构的光栅。 J2vaKl •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: iC$mb~G - 脊的材料:基板的材料 Vm3e6Y,K - 凹槽材料:光栅前面的材料 |afzW=8' <"&I'9
mbZS J L\`uD[g 锯齿光栅界面参数 vWGjc2_ •锯齿光栅界面也由以下参数定义: sF+mfoMtG - 光栅周期 A,WZ}v}_ - 调制深度 +A=*C •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。 qi ;X_\v •可以选择设置横向移位和旋转。 96 ozt UK •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。 UNc[h&@_ Dej2-Y ;X9nYH h_SDW %($ 高级选项和信息 9=-d/y? •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。 88]UA >f ! 探测器位置的注释 *j`{ K 关于探测器位置的注释 '`+GC9VG •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。 ne~=^IRB •如果光栅包含在复杂的光学装置中,则必须这样做。 A.D@21py •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。 J7p'_\ •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估软件)。 e1
yvvi •可以避免这些干涉效应的不良影响。 szDd!(&pv R cz;|h8
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