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摘要 JNt^ (z ToXki, 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 UQC=g #t:S.A@
N343qU ;>?rP88t 本用例展示了...... i]6`LqlO •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: P3)Nl^/ - 矩形光栅界面 iS
WU'K - 过渡点列表界面 #><.oreXq - 锯齿光栅界面 a1+#3X. - 正弦光栅界面 ^=RffrlZU •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 $o0iLFIX/ 1m:XR0 P 光栅工具箱初始化 4W#vP •初始化 ER5gmmVP@p - 开始 CF&6J$ZBgJ 光栅 vY${;#~| 通用光栅光路图 OwH81# •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, YaKeq5%y 可直接选择特定的光路图。 ||hb~%JK6 El[)?+;D
G~2jUyv 1 u| wMO 光栅结构设置 ZniB]k1 •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 T>x&T9
Po__-xN>Q •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 )z73-M V" •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 0?\Zm)Q~( mpI5J'>]
+e yc`J ;t<QTGJ •例如,选择第一个界面上的堆栈。 gQxbi1!;9 U(Nu% 堆栈编辑器 G-xDN59K •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 dZ rAn •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 9`I _Et zR1^I~
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2ORNi,_I 6:Ch^c+IZ 矩形光栅界面 ]>LhkA@V 5!DBmAB •一种可能的界面是矩形光栅界面。 :km61 •此类界面适用于简单二元结构的配置。 V5sg#|& •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 i'H/ZwU •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 \O*-#} ~\ •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 Rot@x r7Hc &x[E;P*Fg
-8:&>~4` 2XFU1 AW 矩形光栅界面 y .#")IAF •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 !UG
7Uer •所选界面在视图中以红色突出显示。 Rn`x7(WA
P
`}zlml •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 ,&jhlZ i •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 ;1`fC@rI <49K>S9O •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 0fF(Z0R, •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 :3XA!o&.T3 •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 i]Fp..`v~ K/tRe/t} 4}_j`d/8| ohF JZ'
lD^]\;? LR.Hh 矩形光栅界面参数 T]t+E'sQ •矩形光栅界面由以下参数定义 pP*zq"o - 狭缝宽度(绝对或相对) %\D)u8} - 光栅周期 Kqp(%8mf - 调制深度 <j&DK2u=i •可以选择设置横向移位和旋转。 LJk@Vy <? %X4xv_o`f
b8V~S'6VqO 7ePqmB<. 高级选项和信息 E~%jX
}/ •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 &u /Nf&A •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 ?]Pmxp
H} •可以设置总级次数或衰逝波级次数 <KE 1f7c (evanescent orders)。 SH_(rQby •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 ]l1\? I •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 LQtj~c>X-| v1BDP<qU2 =NnNN'} X9p.gXF •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 D2](da:]8) •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 73V|6tmgY •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 *of3:w •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 rqdE6y+^ gZLP\_CL G B>QK w8kOVN2b 过渡点列表界面 lzYEx •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 )Y2{_ bx4" •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 ~i~7na| •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 u+'tfFds& S{;sUGcu @\|_ 过渡点列表参数 |?qquD 4= •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 V,q](bg •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 h3bff#<K DE%KW:Hug 5]n[]FW ebT:/wu,2 •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 in~D •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 Qa.<K{m#? •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 =R #Qx, zUKmx y@
1+9W+$=h2 ]}U*_rM: 高级选项及信息 k Mu8"Az •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 lTd #bN Ag&0wN+jTM
^:#D0[ g=;% 正弦光栅界面 xYmxc9)2 •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 \De{9v •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 nq6@6GRG •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: 9\/xOwR - 脊的材料:基板的材料 b]x4o#t - 凹槽材料:光栅前面的材料 /Y'Vh^9/T :a$\/E = "br,/Dk>MX Cq'KoN%nQ 正弦光栅界面参数 }UWL-TkEjF - 正弦光栅界面也由以下参数定义: 8>0e*jC •光栅周期 b*`lk2oMa/ •调制深度 -?mfE+kt - 可以选择设置横向移位和旋转。 ?)u@Rf9> - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。 `-3Ow[ )rekY; r7b1- 89o/F+ _b 高级选项和信息 @}@Z8$G^ •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。 !4^C #{$ 7PtN?;rP
sOU1n B]uc<`f 高级选项及信息 /(iFcMT •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。 \=6l9Lrj>h 1IZ3=6 1`a5C.v 锯齿光栅界面 ~zJ?H<> •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。 H^s<{E0< •此界面允许配置闪耀结构的光栅。 6f\Lf?vF •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: RLLTw ?]$ - 脊的材料:基板的材料 4A_[PM - 凹槽材料:光栅前面的材料
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B2C$N0R# @te!Jgu{ 锯齿光栅界面参数 UFp,a0| •锯齿光栅界面也由以下参数定义: xHz[t6;4; - 光栅周期 z@B=:tf - 调制深度 rvXWcu -" •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。 xwJH(_- •可以选择设置横向移位和旋转。 G>1eFBh } •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。 M#As0~y kw"SwdP5 E|6VX4`+ *Df,Ijh $ 高级选项和信息 f]JM / •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。 FRg^c
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Ahk8 探测器位置的注释 }^/9G17 关于探测器位置的注释 ?34 e- •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。 $!8-? ?ML •如果光栅包含在复杂的光学装置中,则必须这样做。 x)rM/Kq •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。 .zn;:M#T •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估软件)。 nij!1z|M •可以避免这些干涉效应的不良影响。 rmE" rf Cb9;QzBVA#
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