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摘要 sD{j@WEZ aXC!t 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 _0w1kqW :*=Ns[Y
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Z2^@It 'Cg V0&@ 本用例展示了...... kl=xu3j •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: B\f"Iirw - 矩形光栅界面 CdZnD#F2 - 过渡点列表界面 ?fB5t;~E - 锯齿光栅界面 87pnSj/X" - 正弦光栅界面 )5U!>,fT •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 \]t]#D>0 l/[pEUYU 光栅工具箱初始化 ^s=*J=k
•初始化 F9%,MSt - 开始 7vw;Egd@@- 光栅 E!uJ6\ 通用光栅光路图 /\d(c/, 4 •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, [M`=HhJ4 可直接选择特定的光路图。 $_wo6/J5+D MBlBMUJk
|4Qx=x> fSbS(a 光栅结构设置 ,'u *ZB; •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 v_.HGGS
"3wv:BL •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 Zd$JW=KR]l •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 z4bN)W )p eIsT!V"7
Y|_O8[ X
PA0m •例如,选择第一个界面上的堆栈。 B@"J]S 02(h={ 堆栈编辑器 )y`i@S}J •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 z"EWj73 •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 9j0o&Xn =PZWS&(L
z{=v)F5y ##v`(#fu 矩形光栅界面 vTHq)C.7G Yh$fQ:yi\& •一种可能的界面是矩形光栅界面。 ';Nu&D#Ph •此类界面适用于简单二元结构的配置。 IytDvz*| •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 nZxSMN0] •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 8TW5(fl •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 b4)k &*dfR 6Kp}_^|z
[ZD[a6(94 <<sE`>) 矩形光栅界面 IkQe~;Y •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 }3J=DCtS •所选界面在视图中以红色突出显示。 NJm-%K
/kRAt^4! •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 F\-Si!~oOz •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 rI>LjHP NV6G.x •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 6}#"qqnx •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 o0l74 •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 AuXs B 2T?TM! \Q Im+7<3Z Zw#<E
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:v)6gz(p [S0mY[" 矩形光栅界面参数 'g hys1H •矩形光栅界面由以下参数定义 M*(H)i;s:w - 狭缝宽度(绝对或相对) XXm'6xD- - 光栅周期 5z Kqb - 调制深度 '%&z.{ •可以选择设置横向移位和旋转。 -=mwy O1'K>teF%
WqQU@sA (v^Z BM_ 高级选项和信息 iD714+N( •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 V&iS~V0. •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 |IN[uQ •可以设置总级次数或衰逝波级次数 8kH<$9 (evanescent orders)。 ~b6GrY"vB •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 %Kl(>{N •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 e2wvc/gG6 GW/WUzK 95LyYg ;MPKJS68@ •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 RG1\=J$:E •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 o(fy d)t •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 3[VNsX •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 V:Mk)8Gf| d}+W"j; 5\'AD^{ l9J*um- 过渡点列表界面 F 7LiG9H6` •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 (f>M &.. •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 kceyuD$3G •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 s[X
B#)H4 r6
}_H?j 6|#g+&[ 过渡点列表参数 U&W"Ea=R/ •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 lDN?|YG •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 zJCEA T5e^J" YtYy zX5u7 K<RqBecB •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 ag;dc •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 8,*3zVk- •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 6bL~6-h%) (a#pvEY
Nw pS)6<- !_x*m@/ 高级选项及信息 J\A8qh8 •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 FYl3c mb{q(WEPP
@GeHWv <5IQc[3]aP 正弦光栅界面 Uk'U?9O •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 a+
GJVJ •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 ir&.Z5= •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: [r9d<Zi}{ - 脊的材料:基板的材料 y6%<zhs - 凹槽材料:光栅前面的材料 zy>}L # wS$46M< u)~s4tP4 vYnftJK& 正弦光栅界面参数 8zmv
5trt - 正弦光栅界面也由以下参数定义: 4ZI_pf •光栅周期 nk/vGa4 •调制深度 Uw <{i - 可以选择设置横向移位和旋转。 2f..sNz - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。 2w4MJ,Uw 9o_-=>( c;!9 \1sr fj+O'X 高级选项和信息 LNiS`o\ •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。 ZqK]jT6V/X AP w6
`{}@@] l RND 高级选项及信息 (oYW]c}G, •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。 \_U*t! *Hunp Y Pfan7fq+ 锯齿光栅界面 1JeJxzv>C •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。 &HL{LnLP@/ •此界面允许配置闪耀结构的光栅。 p+<}YDMb •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: <'2u
a - 脊的材料:基板的材料 jVYH;B%%z - 凹槽材料:光栅前面的材料 .$wLLE^* @a(oB.i
j@ v-| D9o*8h2$ 锯齿光栅界面参数 |M E{gy`5 •锯齿光栅界面也由以下参数定义: o](.368+4 - 光栅周期 *P xf#X - 调制深度
~6d5zI4\ •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。 :hP58 }Q$ •可以选择设置横向移位和旋转。 } yq •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。 T 2|:nC)@ fl)zQcA ,sI35I J ) b:4uK
A 高级选项和信息 x6e +7"#~ •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。 =]b9X7} >EIrw$V$ 探测器位置的注释 ) 4ncutb 关于探测器位置的注释 wd+O5Lr.R •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。 <25ccE9^c •如果光栅包含在复杂的光学装置中,则必须这样做。 w-FHhf •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。 / O)6iJ •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估软件)。 voh^|(:(TH •可以避免这些干涉效应的不良影响。 SRWg[H uV77E*+7\
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