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摘要 M9_
y>N[0 c;&m}ImLe. 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 bDeHU$
zKx?cEpE
]~U4; Ss@\'K3e 本用例展示了...... IwZn%>1N •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: ^IjKT - 矩形光栅界面 o`+6E
q0w - 过渡点列表界面 d?oupW}uu - 锯齿光栅界面 mK%!9F
V - 正弦光栅界面 5H6m{ng •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 gLsl/G N~;=*)_VH 光栅工具箱初始化 lV?rC z •初始化 T8Gx oNm - 开始 SJ6lI66OX 光栅 |<\o%89AM 通用光栅光路图 sw[1T_S> •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, )r~$N0\D 可直接选择特定的光路图。 `ihlKFX W|NzdxCY
f` 2W}|(jA _SY<(2s]B 光栅结构设置 6^H64jM •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 8+k\0fmy
lf4-Ci*X •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 vd|PTHV_ •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 nC$f0r"z we4e>)
<*V%!pwIG 'VS!< •例如,选择第一个界面上的堆栈。 7m~+HM\ ax[-907 堆栈编辑器 :UoZ`O~ •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 94=Wy- •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 %C" wUAY :@y!5[88!
awB1ryrOF [c+[t3dz 矩形光栅界面 Y/2@PzA| :7KcD\fCj •一种可能的界面是矩形光栅界面。 :XxsD D •此类界面适用于简单二元结构的配置。 jmxjiJKP •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 #Q.A)5_ •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 "^fcXV9Wp •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 ^GQ+,0Yy s]#D;i8
hD/bgquT iOkRB[hi 矩形光栅界面 \rn:/ •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 [w'Y3U\i •所选界面在视图中以红色突出显示。 Obgn?TAVX
( n;# Z, •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 #K.OJJaG •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 @Hw#O33/' _Jx.?8 •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 _<yGen- •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 mHrt)0\_ •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 L9M0vkgri +)k%jIi! [G>8N5@* L:nZ_O;
FloCR=^H 3jZPv;9OC 矩形光栅界面参数 -`sK?*[{J •矩形光栅界面由以下参数定义 Eyv%"+> - 狭缝宽度(绝对或相对) ;9PJ K5>~ - 光栅周期 HJ?p,V q5_ - 调制深度 w[}5qAI5*f •可以选择设置横向移位和旋转。 15U]/?jv8 L'B=
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BF{v0Z0/}k HR]*75}e 高级选项和信息 ~,3+]ts='\ •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 3qwi)nm •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 7TD%vhbiwi •可以设置总级次数或衰逝波级次数 Y>
ElE- (evanescent orders)。 '=C)Hj[D •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 8;K'77h •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 |(G^3+5Uwm LlOUK2tZ *WdnP.'Y {_T?0L •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 )F*;7]f •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 d+[GMIxg •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 gg
$/ •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 +NWhvs vncLB&@7 "I+71Ce 8 :B(}Y4K 过渡点列表界面 &v9*D`7L •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 uvC ![j^~ •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 kEiWE| •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 _]zm02| +PT/pybA
j`tBki: 过渡点列表参数 h[HFZv~{ •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 _voU^- •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 f/+UD-@%m zv/owK o^HzE;L} ${ fJ] •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 |hGi8 •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 #$k6OlK-r" •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 >wx1M1 )2vkaR
MoAZ!cF8 yvN;|R
高级选项及信息 e+416
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v •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 $7\Al$W\ NABVU0}
U4PnQ
K, oMdqg4HUF 正弦光栅界面 QxUsdF?p •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 * F[;D7sZ~ •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 L{)*evBL •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: leY fF - 脊的材料:基板的材料 ;(0<5LQ - 凹槽材料:光栅前面的材料 R|tf}~u !x &4]~s:F /D@(o`a M$L ;-T 正弦光栅界面参数 AE?G+:B - 正弦光栅界面也由以下参数定义: cow]qe6K •光栅周期 ..u2IdEu •调制深度 (c3%rM m] - 可以选择设置横向移位和旋转。 EGD&/%aC - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。 [*i6?5}- 'UW]~ 6,J:sm\ 6KpG,%2L# 高级选项和信息 Pgdv)i3 •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。 |-vc/t2k>T Fqr}zR)
ItLP&S= -XcX1_ 高级选项及信息 B`I9 •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。 vJ `'x A]x'!qa@= XMJ EIG 锯齿光栅界面 |~V`Es +j •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。 WJXQM[ •此界面允许配置闪耀结构的光栅。 I[td:9+hK@ •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: (=de#wh2] - 脊的材料:基板的材料 /C: rr_4= - 凹槽材料:光栅前面的材料 0/Q"~H?% E]opA$JQ
6e%|.}U $d[ -feU 锯齿光栅界面参数 =5zx]N1r •锯齿光栅界面也由以下参数定义: PNn-@=% - 光栅周期 <;T$?J9 - 调制深度 ~C;1}P%9x •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。 F~qiNV •可以选择设置横向移位和旋转。 cag9f?w@V •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。 O7KR~d gJn_Z7Mg J JE[+ $hCPmiI 高级选项和信息 71$MhPvd< •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。 jT6zpi~]E HJV8P2f8` 探测器位置的注释 x?|C-v 关于探测器位置的注释 +ISXyGu •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。 -4}I02 •如果光栅包含在复杂的光学装置中,则必须这样做。 %uV bI'n) •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。 @C}Hx;f6 •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估软件)。 a%h'utF{[ •可以避免这些干涉效应的不良影响。 A\6Q*VhK p]7Gj&a
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