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摘要 =y!$/(H ?[lV- 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 L'kmNVvYN H/37)&$E(
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>=-(UA 本用例展示了...... J7g8D{4 •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: - RU=z!{ - 矩形光栅界面 ;-qO'V:; - 过渡点列表界面 $\U4hHOo - 锯齿光栅界面 ~5oPpTAe - 正弦光栅界面 IqoR7ajA •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 Sb82}$sO ?)ONf#4Y 光栅工具箱初始化 &*aIEa^ •初始化 EU+S^SyZi - 开始 qO|R^De 光栅 VB*oGG 通用光栅光路图 3z c U%* •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, W*I(f]8:y` 可直接选择特定的光路图。 :Nz2z[W$ ZNvEW
ys kO OD!& .% 光栅结构设置 mrF58Uq;A •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 TtTj28k7
7x%R:^*4 •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 '?p<lu^^B •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 ~XmLX)vO/ B e0ND2oo
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ElW~48 •例如,选择第一个界面上的堆栈。 |}di&y@-JI 85Otss/mM 堆栈编辑器 ) iN/ua •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 /~$WUAh •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 ?b>,9A.Z yj.7'{mA
hJpxf,?'K Eu@huN*/ 矩形光栅界面 }%{LJ}\Px DrY:9[LP •一种可能的界面是矩形光栅界面。 F7EKoDt •此类界面适用于简单二元结构的配置。 _)>_{Pm •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 ^<a
t'jk6 •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 lHPd"3HDK •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 Ni-xx9)= st:`y=F_
UMm!B `M (jRm[7H 矩形光栅界面 ic#`N0s? •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 {CGUL|y •所选界面在视图中以红色突出显示。 '6cWS'9"
V8C:"UZ; •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 S79;^X •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 O
@j} K4 zkuU5O •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 SBfT20z[ •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 DN-+osPi •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 ?IqQ-C)6D R\G0'?h
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N5p/@ qzKdQ&vO
1AM!8VR2 !h23cj+V 矩形光栅界面参数 0uOkMuy< •矩形光栅界面由以下参数定义 "!ug_'VW - 狭缝宽度(绝对或相对) :~tAUy":_* - 光栅周期
H Y&DmE - 调制深度 9.gXzPH •可以选择设置横向移位和旋转。 zuJ@E=7 #*K}IBz
/_AnP `(ue63AZ 高级选项和信息 t\~P:" •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 ORHp$Un~) •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 |Mup8(gCk •可以设置总级次数或衰逝波级次数 =hC,@R>; (evanescent orders)。 Vt %bI0# •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 bYpntV •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 Dwr)0nk K/j3a[. *`ua'"="k [q)8N •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 pfA|I*`XV •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 &5fJPv & •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 eTI%^d| •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 )wam8k5 PV'x+bN5 f33 2J #~}nFY. 过渡点列表界面 p*4':TFuD; •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 D[aCsaR •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 B(LWdap~ •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 ^84G%)`& ?I_s0k I sJ;g$TB 过渡点列表参数 TN!j13, •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 z&#SPH* •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 ;4R$g5-4X l&OKBUG p
Dx1z|@z c}Ft^Il •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 `<``8 •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 E4`N-3 •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 X@+{5% &S{RGXj_
#%a;"w ]i&6c 高级选项及信息 3}TaF~ •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 7E r23Q
dA@]!
lGPUIoUo c]x1HvPE 正弦光栅界面 nt 81Bk= •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 B:b5UD •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 iV5yJF{ZH •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: ?i7%x,g(Z - 脊的材料:基板的材料 6}gls}[0{e - 凹槽材料:光栅前面的材料 *xx'@e|<; {C 6=[ 8{wwd:6 C]O(T2l{l 正弦光栅界面参数 _X^1IaL - 正弦光栅界面也由以下参数定义: -[*,^Ti` •光栅周期 @K\~O__ •调制深度 3EV;LH L - 可以选择设置横向移位和旋转。 yh Yb'GK - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。 y6ECdVF )IP,;< 7]U"Z* Ye"o6_U" 高级选项和信息 9=vMgW •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。 $*^kY; (yu/l6[
e}D3d=6` iqC|G/ 高级选项及信息 oz,np@f)J •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。 I?h)OvWd 14Xqn8uOW a=1NED' 锯齿光栅界面 TTeH` •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。 @)UZ@ ~R •此界面允许配置闪耀结构的光栅。 X\]L=>]C •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: \kp8S'qVo - 脊的材料:基板的材料 <Y*+|T+&d - 凹槽材料:光栅前面的材料 ]mo-rhDsM ]9YJ,d@J
w,.+IV$Kk sT !~J4 锯齿光栅界面参数 =!kk|_0%E •锯齿光栅界面也由以下参数定义: bV(Y`g - 光栅周期 %z/hf - 调制深度 yWg@v+ •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。 RTvqCp •可以选择设置横向移位和旋转。 6TQoqH8@U •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。 I!^;8Pg gwOa$f%O 8e*,jH3
%=n!Em( 高级选项和信息 vL|SY_:4 •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。 Of-Rx/ bt"W(m&f 探测器位置的注释 x^HGVWw_ 关于探测器位置的注释 tR}MrM •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。 8J=?5 •如果光栅包含在复杂的光学装置中,则必须这样做。 MC?,UDNd% •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。 :9O#ObFR •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估软件)。 T?:Rdo!:u •可以避免这些干涉效应的不良影响。 {J{+FFsr( 6 )Hwt_b
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