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摘要 Go-wAJ> 4}+xeGA$ 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 O>nK,. /tG 5!l
*Yj~]E0`1 1]_?$)$T 本用例展示了...... /3OC7!~;fM •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: yI3Q |731) - 矩形光栅界面 5?Uo&e - 过渡点列表界面 7U&5^s
)J - 锯齿光栅界面 &$<(D0 - 正弦光栅界面 U~oBNsU" •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 YR?3 61FK 6 #-6Bh)>4 光栅工具箱初始化 O~$ {&( •初始化 :a#F - 开始 *~"zV`*Q 光栅 c!tvG*{ 通用光栅光路图 \m(ymp<c` •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, i/5y^
可直接选择特定的光路图。 ay=KfY5 VV?]U$
7fap* /_$~rW 光栅结构设置 6e-#XCR{ •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 <sgZ3*,A
9BqQ^`bu •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 "}0)YRz% •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 \Y51KB\ <P|`7wfxE
;[FW! [u/zrpTk •例如,选择第一个界面上的堆栈。 t9?R/:B% =$^Wkau 堆栈编辑器 CWE Ejl •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 Aqa6R+c •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 A)hq0FPp C$$"{FfgU"
,:v.L}+Z 0$n8b/%. 矩形光栅界面 ATKYjhc _ 9=Y,["br$_ •一种可能的界面是矩形光栅界面。 (:_%kmu •此类界面适用于简单二元结构的配置。 jHs<s`#h •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 B.]qrS| •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 Py|H?
, 6= •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 Q
mb[ e> UiJ^~rn
2>!_B\%) H ExNj|* 矩形光栅界面 l84h%, •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 hg%@ W •所选界面在视图中以红色突出显示。 E9yFREvQc
EO4"Z@ji •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 Z_iAn TT •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 :SpG&\+ *]{9K •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 d%}crM-KTL •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 DePV,. •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 JIyBhFI !Z#_X@NFc P`\m9"7 qR [}EX&3
fOqS|1rC %k/
k]:s 矩形光栅界面参数 O, bfdc[g4 •矩形光栅界面由以下参数定义 1$='`@8I - 狭缝宽度(绝对或相对) j[$B\H - 光栅周期 Z:\;R{D - 调制深度 ^>,<*p •可以选择设置横向移位和旋转。 Nb^zkg F|]o9&/<]
#,f}lV,&
o9U0kI=W 高级选项和信息 naec"Kut •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 JLy)}8I •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 "C$!mdr7 •可以设置总级次数或衰逝波级次数 1R5\GKF6o (evanescent orders)。 &+E'1h10 •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 f_i"/xC-/ •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 BiHiVhD_ 4
|:Q1 "!%w9 4i+PiD:H •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 }@ O|RkY •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 0[Xt,~ •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 L|]w3}ZT@ •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 |d/x~t= ,?0-=o V e$5w}a4 }}sRTW 过渡点列表界面 Dyouk+08x •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 ,6EZb[;g^ •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 E< zT •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 3PvZ_!G e'/ 5UrXVdP 过渡点列表参数 C>w9
{h •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 X] JpS •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 +!L_E6pyXE ADLa.{ ;+r) j"W p0[,$$pM •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 )}k?r5g •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 =M/UHOY •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 =BqaGXr !OuTXa,IH
lJ2|jFY9 eZR8<Z% 高级选项及信息 fcE/ •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 68'-1} we:5gK&
#czyr@ UALg!M# 正弦光栅界面 fncwe ';? •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 T}w*K[z
$ •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 CD8JY iJ •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: JL.ydH79 - 脊的材料:基板的材料 "x:)$@ - 凹槽材料:光栅前面的材料 -KIVnV=&m j^aQ>(t(9 U>L=.\\| 48~m=mI 正弦光栅界面参数 L6rs9su=7 - 正弦光栅界面也由以下参数定义: k[r./xEv+t •光栅周期 ^O$[Y9~*
•调制深度 ~P]HG;$?n - 可以选择设置横向移位和旋转。 shDt&_n - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。 I7G\X#,iz ohc/.5Kl wCq)w=, d5sGkR`( 高级选项和信息 !0. 5 •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。 ?(,5eg $@u^Jt, ?
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