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摘要 HAa;hb A*\.NTM 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 h'{ C[d -Fe?R*-g
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sY($ & 'd9INz. 本用例展示了...... /V'A%2Cl=T •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: tVN - 矩形光栅界面 dl.p\t(1 - 过渡点列表界面 fumm<:<CLO - 锯齿光栅界面 fb e[@#: - 正弦光栅界面 J| w>a •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 Tw-;7Ae GBPo8L"9 光栅工具箱初始化 1G^`-ri6 •初始化 asppRL|| - 开始 Li4zTR|U 光栅 X aMJDa|M 通用光栅光路图 ;~m8;8) •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, k5'Vy8q 可直接选择特定的光路图。 w9EOC$|Y 0Qf,@^zL*
u0`S5? ?67Y-\} 光栅结构设置 !$gR{XH$] •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 wfLaRP
#Lh;CSS •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 9y"@( •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 -lY6|79bF +~ P2C6@G
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0s •例如,选择第一个界面上的堆栈。 rlOAo`hd B|C2lu 堆栈编辑器 _@
qjV~%Sy •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 OrY/`+Cog •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 52Z2]T
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n FHUy9q :(P9mt 矩形光栅界面 ,is3&9 6d<r= C= •一种可能的界面是矩形光栅界面。 #A JDWelD •此类界面适用于简单二元结构的配置。 f<d`B]$( •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 8Fz#A.%P •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 .ypL=~Rp •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 ^BikV
dy%;W%
z!ZtzD]cb -b9\=U[ 矩形光栅界面 )Q&(f/LT •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 |4;Fd9q^m •所选界面在视图中以红色突出显示。
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) j#`r/ •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 `ts$(u.w •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 k<CJ{u0< |6sp/38#p •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 >*
f-Wde •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 Tztu}t]N •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 U)]oO -P$PAg5"2 @zW]2 c N2^=E1|_
'T*&'RQr _7Ju 矩形光栅界面参数 dd %6t •矩形光栅界面由以下参数定义 e5ZX - 狭缝宽度(绝对或相对) z% ?+AM)P - 光栅周期 X:"i4i[}{9 - 调制深度 ?Jm^< •可以选择设置横向移位和旋转。 v!~fs)cdE| #4<SAgq
iy.p n EU/C@B2*Dl 高级选项和信息 ?=Z?6fw •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 HmGWht6R •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 Uiw2oi&_ •可以设置总级次数或衰逝波级次数 K<3A1'_ (evanescent orders)。 t\dN DS •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 @Md/Q~> •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 w3ResQ ~g]Vw4pv e'NJnPO T4Uev*A •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 _`j7clEz •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 {UI+$/v# •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 *w`sM%]Rq •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 sUO`u qZV |tH4:%Q' ?(1y 76{G'}B 过渡点列表界面 tCH!my_ •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 3qC}0CP* •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 ~Fcm[eoC •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 $t[FH&c( >1Ibc=}g l_d5oAh
过渡点列表参数 kS);xA8s] •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 K\Wkoi5 •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 "%w u2%i pz}.9 yI8 k1~&x$G 'rkdZ=x{ •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 CY5Z{qiX •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 =&]g "a' •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 ""G'rN_=Bi -uG+BraI
x|Bf-kc[#Q FDs>m
#e 高级选项及信息 sY&IquK^ •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 i-_mTY&M +7.',@8_V
83_h J Xl#ggub? 正弦光栅界面 +'HqgSPyb •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 AQvudx)@" •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 k="i;! Ge •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: F^;ez/Gl - 脊的材料:基板的材料 |u<7?)mp - 凹槽材料:光栅前面的材料 ^6V[=!& H ;*Et[}3 LU%E:i| Bj;'qB>3 正弦光栅界面参数 L#sMSVC+ - 正弦光栅界面也由以下参数定义: qo bc<- •光栅周期 1>h]{%I •调制深度 <\^8fn - 可以选择设置横向移位和旋转。 ]{@-HTt - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。 %P|/A+Mg" 3F2w-+L bWU'cw YN F k 高级选项和信息 !pX>!&sb •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。 on`3&0,. ^u ~Q/4
;HO= E ~<JC"] 高级选项及信息 &Ok):` •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。 8<Av@9 *} -FaJ^CN~ /*mI<[xb 锯齿光栅界面 E:nF$#<'N •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。 s.C_Zf~3 •此界面允许配置闪耀结构的光栅。 .aQ \jA •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: 8{sGNCvU - 脊的材料:基板的材料 t'ql[ - 凹槽材料:光栅前面的材料 @\#td5' %7+qnH*;r
cVF"!. (*iHf"=\ 锯齿光栅界面参数 `b$.%S8uj= •锯齿光栅界面也由以下参数定义: N<}5A% - 光栅周期 MQ8J<A Pf- - 调制深度 ud('0r',D •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。 S<Xf>-8w •可以选择设置横向移位和旋转。 }pkzH'$HJ •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。 ( a#BV}= &F~T-i>X $=4QO ^ [@, 高级选项和信息 zTU0HR3A •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。 <Q3c[ Y D*d]aC 探测器位置的注释 Q\Vgl(;lX 关于探测器位置的注释 oUlVI*~ND •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。 |yPu!pfl •如果光栅包含在复杂的光学装置中,则必须这样做。 sfl<qD+? •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。 xJ.M;SF4 •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估软件)。 S?2>Er •可以避免这些干涉效应的不良影响。 6Z"X}L,* ,z=LY5_z)
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