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摘要 l JP1XzN_ <WXzh5D2 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 Ll4bdz, :f5s4N
I-]>d;4. Q(d9n8 本用例展示了...... !J*,)kRN •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: kL7#W9 - 矩形光栅界面 { wF&+kH3 - 过渡点列表界面 6<,dRn - 锯齿光栅界面 aKUS5jDu - 正弦光栅界面 6J~12TU, •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 CSbI8 5F X.K<4N0A9J 光栅工具箱初始化 ?.c;oS| •初始化 WD;Y~| - 开始 ._wkj 光栅 c(co\A.]:6 通用光栅光路图 Sx:Ur>?hd5 •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, kY,U8a3! 可直接选择特定的光路图。 }7G8|54t p2J|Hl|
#zrTY9m7 Z34Wbun4 光栅结构设置 M'`;{^< •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 ;n=. {[,
IvpcSam' •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 %;D+k •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 !/ y!QXj 7:]Pl=:X
{ng"=3+n 133I.XBU •例如,选择第一个界面上的堆栈。 FLoNE>q %xlqF< 堆栈编辑器 ~.PO[hC •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 n\I#CH0V •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 r[.>P$U
1[*UYcD
wdzOFDA Kx"<J@ 矩形光栅界面 #QvMVy a"/#+=[ •一种可能的界面是矩形光栅界面。 :RSz4 •此类界面适用于简单二元结构的配置。 *F>v]8 •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。
I~,G •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 _ 46X%k •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 H7+Xs% 7z\m;
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Ae^X35 @
P@c.*}s 矩形光栅界面 c[}(OH •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 jUj<~:Q}3o •所选界面在视图中以红色突出显示。 D3Jr3
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GN#<yv$av •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 xE}VTHFo' •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 x\?;=@AW ej&<GM| •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 VZ>On$hp •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 5`~mmAUk;` •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 1\RGM<q$f MyJ4><oG rQ4*k'lA: sUl6hX4
f:zFFpP.j@ {)- .xG 矩形光栅界面参数 g#NZ ,~ •矩形光栅界面由以下参数定义 53 QfTP - 狭缝宽度(绝对或相对) sGY_{CZ: - 光栅周期 %I!:ITa - 调制深度 ;E~4)^ •可以选择设置横向移位和旋转。 NRnRMY- [=uo1%
)oo~m\` {qKxz9.y 高级选项和信息 SgMrce<; •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 e]ig!G] •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 qo+N,x9o •可以设置总级次数或衰逝波级次数 k)S.]!u&G (evanescent orders)。 D+ V7hpH- •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 @vgG1w •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 BhpOXqg @/J[t [#" =yzR<3 C8@TZ[w •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 r%wA&FQ8U •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 AJt!!crs •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 ^\ ?O4,L •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 B bhfG64 ,!G{5FF8: puSLqouTM |1Dc!V'?" 过渡点列表界面 fBBa4"OK= •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 aRj>iQaddx •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 e"-X U@`k1 •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 +y[@T6_ IC/(R! Crj LCXO>MXN 过渡点列表参数 )g|
BMmB •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 ~:;3uLs,8 •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 di9!lS$ .=9s1~] >YW\~T !=Y;h[J.p •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 RnVtZ#SCh •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 y#ON|c
/ •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 3HG;!D~m; B UUf;Vv
,Y_{L|:w fi PIAT} 高级选项及信息 W!$zXwY}( •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 k0?ZYeHC [}nK"4T"Ri
hRaf# ,lYaA5&I 正弦光栅界面 qOCJT Og7 •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 |YJCWFbs8 •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 ~+D*:7Y_ •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: bTmL5}n - 脊的材料:基板的材料 @b&84Gn2
r - 凹槽材料:光栅前面的材料 !}TMiCK ~ <0Z>qr oR+-+-??$ {B$2"q/~ 正弦光栅界面参数
R)Q4 - 正弦光栅界面也由以下参数定义: PsjbR •光栅周期 Df07y<>7Q •调制深度 ClW'W#*(Y - 可以选择设置横向移位和旋转。 6@;ha=[+ - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。 F
SMj ZU'!iU|8 4C_c\;d 7D" %%|:
h 高级选项和信息 db=$zIB[: •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。 hp!d/X=J_ n/e
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v vu<:16 `linG1mF 高级选项及信息 wjU.W5IR •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。 H(u+#PIIw *}b]rjsj ?v]-^X=& 锯齿光栅界面 ^z1IN-Tm/ •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。 3&&+YX •此界面允许配置闪耀结构的光栅。 mxTk+j= •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: 6o3T;h - 脊的材料:基板的材料 I d8wS!W`7 - 凹槽材料:光栅前面的材料 #~Q=h`9 X'sEE
d{+(Lpj^ oT+(W,G 锯齿光栅界面参数 8m=Z|"H@ •锯齿光栅界面也由以下参数定义: H>7dND2; - 光栅周期 AMlV%U# - 调制深度 sLh0&R7 •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。 =iz,S:[ •可以选择设置横向移位和旋转。 9G+f/k,P •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。 Evu=M-? M8W# io B+VuUt{S "X1vZwK8N 高级选项和信息 60B-ay0e$b •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。 mMw;0/n V2znU 探测器位置的注释 +H'\3^C- 关于探测器位置的注释 a<Uqyilm •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。 QX0Y>&$) •如果光栅包含在复杂的光学装置中,则必须这样做。 W? ,$!]0 •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。 z_SagU,\ •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估软件)。 OD9 yxN>P •可以避免这些干涉效应的不良影响。 /0==pLa4 zhEo(kU!
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