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摘要 C$K?4$ xv Xci W 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 @I|kY5' c ?*$uj(
n|? sNM<J3 H;NAS/OhS 本用例展示了...... X.>~DT%0Lm •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: %z.V$2 - 矩形光栅界面 y`8U0TE3R - 过渡点列表界面 *z6A ~U - 锯齿光栅界面 $[b}r#P - 正弦光栅界面 Z2@e~&L •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 L~e0^X? n 7B2rRJH 光栅工具箱初始化 8RuW[T? •初始化 'v^shGI%Ht - 开始 >r
C*. 光栅 ~8UMwpl- 通用光栅光路图 aCH;l~+U •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, 3QKBuo 可直接选择特定的光路图。 ]@cI _n FeS
,TQ4j
=w;-4 N.+A-[7,W 光栅结构设置 Ct?xTFb •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 j@#RfVx
cUP1Uolvn •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 \!jz1`]&{ •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 -hfkF+=U' !-n*]C
<+r~?X_ A@?-"=h} •例如,选择第一个界面上的堆栈。 rN7JJHV
<&`Rf6 堆栈编辑器 2Mq@5n •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 k<j]b^jbz •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 2"|7 YI }@jJv||
J E5qR2VA }+MA*v[06 矩形光栅界面 O(-6Zqk8Q b@=H$" •一种可能的界面是矩形光栅界面。 z79oj\&[ •此类界面适用于简单二元结构的配置。 tUZfQ •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 pO fw *lD •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 +:jv )4^O •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 +A1*e+/b\ K$GQc"
/qwY/^ [>_zV.X 矩形光栅界面 7&HcrkP] •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 iD%a;] •所选界面在视图中以红色突出显示。 nL[OwfPj
9ghUiBPiL: •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 jA2%kX\6// •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 ge%QbU1J "".a(ZGg •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 q^6#.} •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 G(shZ=fq •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 .waj.9&[l R=48:XG3/K m+7%]$ xT* 3QwK
&}C-W*
f,Z lb*;Z7fx<' 矩形光栅界面参数 0|K<$e6IH •矩形光栅界面由以下参数定义 \kY:|T - 狭缝宽度(绝对或相对) b{ A/M#= - 光栅周期 ?li/mc.XG - 调制深度 *wX[zO+o •可以选择设置横向移位和旋转。 z[Q e86L O[L#|_BnEO
;o;ak.dTt 0 |?N 高级选项和信息 }M"])B I
•在传播菜单中,有几个高级选项可用。 l O* •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 %qE"A6j •可以设置总级次数或衰逝波级次数 W?!rqo2SP (evanescent orders)。 9C Ki$L •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 wL]#]DiE •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 ~Al3Dv9x 5 A5t 8yDsl H d7Vp:KM •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 T%Cj#J&L •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 ?UIW&*h} •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 8'qlg|{!~ •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 9&Y|,&W N7}3?wS =;Co0Q` UA]T7r@ 过渡点列表界面 Pf?&ys6 •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 (|<+yQ,@> •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 ypemp=+(r •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 xX{Zh;M&[ +eKLwM qkp0' f*} 过渡点列表参数 =(P$P •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 umAO&S.+M •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 {]0T ySDo(EI4 p15dbr1 <}c7E3Uc •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 Ly2!(,FB. •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 WD[jEWMV7D •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 m MWhUr }y J,&N'p
SdMLO6- -ULgVGYKK 高级选项及信息 z?kE((Ey •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 Qgf|obrEi6 t,0}}9%?
''! j:49 >zw@!1{1 正弦光栅界面 KjF8T7% •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 iyUnxqP •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 Z0'LD< •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: v^p* l0r6: - 脊的材料:基板的材料 eOXu^M>:F - 凹槽材料:光栅前面的材料 i$hWX4L u WdKG({][ []yIz1P=j KIWHn_ : 正弦光栅界面参数 C{G=Y[?oc - 正弦光栅界面也由以下参数定义: Ad3TD L? •光栅周期 E&Lml?@ •调制深度 k.)YFKi - 可以选择设置横向移位和旋转。 $$Ibr]$5 - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。 0a@tPskV tO1k2<Z"Y& RX^8`}N 8NE[L#k 高级选项和信息 Yb[)ETf^ •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。 #hu`X6s" K)Z~ iBRM
Ro<5c_k i*&b@.7N 高级选项及信息 FLkZZ\ •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。 3|)cT1ej 0lOan )u]=^ 锯齿光栅界面 ~]<VEji •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。 e85E+S% •此界面允许配置闪耀结构的光栅。 )7P>Hj •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: ]y$/~(OW - 脊的材料:基板的材料 Q4S:/"*v8 - 凹槽材料:光栅前面的材料 )/OIzbA3# 2pSp(@N3
vJ 28A Z$('MQ|Ur 锯齿光栅界面参数 =dQF}-{! •锯齿光栅界面也由以下参数定义: d:cOdm>, - 光栅周期 YT)1_>*\ - 调制深度 E\9HZ;}G •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。 LRS,bl3}/ •可以选择设置横向移位和旋转。 el<[Ng[ •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。 )S#?'gt* )`gxaT>&l ajkpU.6E: +I*a=qjq 高级选项和信息 t)O]0)
s •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。 @cx#' W!=ur,F+ 探测器位置的注释 v=&xiw |