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摘要 e@F&/c 0imz}Z] 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 gb@!Co3 3&2,[G04
bF B;N+> QjZ}*p 本用例展示了...... +S3'ms •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: {P = {) - 矩形光栅界面 ]FFU,me2 - 过渡点列表界面 .h7b 4J - 锯齿光栅界面 CTPn'P=\C - 正弦光栅界面 y`(z_5ClT •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 6j`
waK 6^ /C+zuX 光栅工具箱初始化 ytAhhwN~ •初始化 t^h>~o'\ - 开始 9Ft)VX 光栅 kWoy%?|RRa 通用光栅光路图 \Dt0
}
?;k •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, ? 4.W
_ 可直接选择特定的光路图。 i]1[eGF 9k83wACry
OSSMIPr 5[Q44$a{ 光栅结构设置 ZS}2(t •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 [{Y$]3?}
O#k?c } •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 [n< U>up •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 j" YJ1R-5 ~xHr/:
x"N,oDs x#ouR+< •例如,选择第一个界面上的堆栈。 :$94y{ &"L3U 堆栈编辑器 bk>M4l61 •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 G1P m!CM= •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 moc_}( 1F$a
My?
:b.#h7Qt< wefQmRK 矩形光栅界面 K
IqF"5 bBDgyFSI< •一种可能的界面是矩形光栅界面。 uF<F4m; •此类界面适用于简单二元结构的配置。 xDVzHgbf •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 J 0s8vAs •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 >\@6i
s •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 ZNuyGo; ?j $z[_K
@c{Z?>dUc# QU417EV' 矩形光栅界面 y2<g96 •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 {&2$1p/9' •所选界面在视图中以红色突出显示。 52:oe1-8
3g5i5 G\ •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 lSbAZ6 •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 Qp-nr] t[^}/
S •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 bu$5gGWVf •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 uQ&xoDCB •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 S :oZ& GLk7#Y 0<o#;ZQ] H,\c"
nJLr]`_ o+q5:vJt 矩形光栅界面参数 hL8QA! •矩形光栅界面由以下参数定义 @YT=- - 狭缝宽度(绝对或相对) Oz n7C?\* - 光栅周期 ||/noUK - 调制深度 r]8B6iV •可以选择设置横向移位和旋转。 (zTr/ HPU7
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H]}-
U8}sp R?I(f(ib 高级选项和信息 JQ.ZAhv •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 pX!S*(Q{ •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 *D|6g|Hb •可以设置总级次数或衰逝波级次数 Oj<2_u (evanescent orders)。 /'">H-r •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 SIbQs8h]
•相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 B4J^ rzK ty7a&>G I5 [r-r SYl:X •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 }F@`A?k •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 g fO.Ky6 •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 <Q szmE •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 M,mj{OY~x bz<wihZj W_M]fjL. a2x2N_\=/D 过渡点列表界面 [*50Ng>P` •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 ZtB0:'o; •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 (/FPGYu3h •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 ko ~iDT La3f{;|u5M < |