摘要
1jPJw3"3h no] z1D 对于许多应用来说（例如背光、
光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的
衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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r8&^>4 < Ib[82PU 设计任务
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d&u ]WVU DUe& r,(4O 1级
参数优化
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$w0lrh[+ nJ"YIT1K]p 结果-容差分析
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!\#_Jw%y <[J[idY1he VirtualLab Fusion一瞥
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<ggtjw S 6uKMCQ=h VirtualLab Fusion中的工作流程
wwowez tER npyAJp 构建光栅结构
A@D2 +fS −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
E)-r+ <l −倾斜光栅高级设定[用例]
`#QG6/0 •光栅衍射效率分析
}%`~ T>/ −光栅阶序分析器[用例]
z rv#Xa!O\ •使用参数优化进行光栅参数优化
ww{_c]My •使用参数运行的容差分析
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|R@~-Ht *;U'[H3Q VirtualLab Fusion技术
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