[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 rU/-Wq`B  
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对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 zv$=*  
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设计任务 aRFi0h \  
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1级参数优化 r< d?  
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结果-容差分析 7)ES!C  
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VirtualLab Fusion一瞥 #R"9)vHp  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 ;iwD/=Y  
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构建光栅结构 tA;ZW2$#  
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] (o6A?37i  
−倾斜光栅高级设定[用例] .{-iq(3  
•光栅衍射效率分析 Gc3PN  
−光栅阶序分析器[用例] hs -}:^S`  
•使用参数优化进行光栅参数优化 LiHXWi{s  
•使用参数运行的容差分析 r&j+;JM5  
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VirtualLab Fusion技术 .q|xMS}4  
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