[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 'Ipp1a Z_M  
VZ69s{/.B  
对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 .(D,CGtYb  
yL ?dC"c  
tv,Z>&OM  
)?L  
设计任务 ExJch\  
Vifh`BSP  
x^0MEsR  
sr|afqjXD  
1级参数优化
D\"F?>  
`dp]N0nz  
'aLTiF+  
3rRN~$  
结果-容差分析 Tj[=E  
$0(~ID  
KG8:F].u(  
}{3
XbvC  
结果-容差分析 Qv v~nGq$  
SuorCp
]  
!:zWhu,  
_s(izc  
VirtualLab Fusion一瞥 *=b#>//  
%d%$jF`  
iS/faXe5  
.|Ee,Un  
VirtualLab Fusion中的工作流程 `XmT)C  
klUW_d-  
构建光栅结构 L("zS%qr  
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例]
G\\0N^v  
−倾斜光栅高级设定[用例] ?WD JWp%  
•光栅衍射效率分析 f&ZFG>)6  
−光栅阶序分析器[用例] dc]D 8KX  
•使用参数优化进行光栅参数优化 xoT|fgb  
•使用参数运行的容差分析 szZ8
-
Y  
f>i" j  
bOvMXj/HV=  
?H30  
VirtualLab Fusion技术 -JMlk
:~  
v +$3Z5  
3M@!?=|U