摘要
@<vDR"> /<:9NP' ^ 对于许多应用来说（例如背光、
光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的
衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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sbK 0OA q 4 Ye 设计任务
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W\eB @1n0<V / 1级
参数优化
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bSz6O/A/ QQ2xNNF[ 结果-容差分析
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!&Q,]\j Ix :aHl 结果-容差分析
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f VirtualLab Fusion一瞥
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&<_s XHg<x VirtualLab Fusion中的工作流程
Z?nM t "#4PU5. 构建光栅结构
O')Ivm,E −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
}1R k]$XC −倾斜光栅高级设定[用例]
QJ"B d`wc •光栅衍射效率分析
T$}<S o| −光栅阶序分析器[用例]
f[|xp?ef •使用参数优化进行光栅参数优化
K03a@: •使用参数运行的容差分析
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%J|EDf ,M &q":o 'q VirtualLab Fusion技术
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