[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 m/WDJ$d  
@"iNjqxh  
对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 PPh1y;D  
OkphbAX  
\5b<!Nl  
Q;@w\_OR  
设计任务 J?Rp  
9lX[rBZ  
<#~n+,  
y*8;T v|  
1级参数优化 \\/ !I   
{XW>3 "  
z.W1Za  
s%
?<:
9  
结果-容差分析 xG(:O@  
cSj(u%9}  
FYK}AR<=  
 XV!UeBq  
结果-容差分析 :0Fwaw9PH"  
aX~' gq>  
TSsx^h8/  
[ <Q{  
VirtualLab Fusion一瞥 vf`]  
~'):1}KN]  
bL5dCQxty  
&0mhO+g
 
VirtualLab Fusion中的工作流程 vw` '9~  
-Q!?=JNtQ  
构建光栅结构 =IIE]<z  
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] l_x>.'a  
−倾斜光栅高级设定[用例] qche7kg!a  
•光栅衍射效率分析 s3M#ua#mX  
−光栅阶序分析器[用例] :Czvwp{z  
•使用参数优化进行光栅参数优化 b;I!CyD  
•使用参数运行的容差分析 (7v`5|'0  
\g|;7&%l3  
vaZ?>94  
GF
Rd:e  
VirtualLab Fusion技术 9a.[>4}  
qxD<mZ@-R0  
>2)!w