[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 qSEB}1  
~>#LOT `  
对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 H_?;h-Y]  
ka2F!  
_8[UtZYG  
N<aB)</  
设计任务 G-\<5]k]  
'bB>$E  
YKP=0 j3,  
S}.\v<  
1级参数优化 tLS<0  
:%/\1$3P  
_kn]#^ucCe  
R=\v
3m  
结果-容差分析 ^273l(CZ1  
t/JOERw  
n 5~=qQK2  
j:HH#U  
结果-容差分析 9U2Px$E  
CV!;oB&  
x1Nme%%&  
*he7BUO  
VirtualLab Fusion一瞥 EkRdpiLB  
#"Fg%36Zd  
Hs[}l_gYn  
[#7y[<.P  
VirtualLab Fusion中的工作流程 i^je.,Bi  
[urH a  
构建光栅结构 3AvVU]@&Z@  
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] L3B8IDq  
−倾斜光栅高级设定[用例] d@-wi%,^  
•光栅衍射效率分析 4JGE2ArR  
−光栅阶序分析器[用例] m9#}X_&x  
•使用参数优化进行光栅参数优化 nHSTeFI?  
•使用参数运行的容差分析 5{')GTdX>  
*Jb_=
j*)  
oz%h)#;  
7 ,$axvLw  
VirtualLab Fusion技术 ;US83%*  
,q8(]n4  
]|,vCKju