[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 $*)(8Cl  

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对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 >5vl{{,$K  
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设计任务 <QW1fE  
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1级参数优化 ?O>JtEz~lQ  
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结果-容差分析 k+GK1Yl  
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结果-容差分析
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VirtualLab Fusion一瞥 \C2P{q/m  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 QZa#iL  

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构建光栅结构 w|FVqX  
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] Jas|P}{=fT  
−倾斜光栅高级设定[用例] z,x"vK(  
•光栅衍射效率分析 QpTNU.v5f  
−光栅阶序分析器[用例] Y^m=_*1g5  
•使用参数优化进行光栅参数优化 gsm^{jB  
•使用参数运行的容差分析 B|$13dHfa  
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VirtualLab Fusion技术 ~ 2oP,  
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