摘要
1US4:6xX _ 2^$Ha | 对于许多应用来说（例如背光、
光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的
衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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'&hk? tjTnFP/= 设计任务
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wXnlu E VwrHD$ 1级
参数优化
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R9`37(c9+ R-V 4Ju[: 结果-容差分析
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J-wF2*0r< )UgLs|G~ VirtualLab Fusion一瞥
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c Y(2}Ay KJ;;825? VirtualLab Fusion中的工作流程
L|H:&|F q71 ~Y:7f 构建光栅结构
2=/,9ka ~ −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
l OuO~`,J −倾斜光栅高级设定[用例]
T z?0E"yx •光栅衍射效率分析
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<Y>Y −光栅阶序分析器[用例]
/l&$B •使用参数优化进行光栅参数优化
sOUQ d-!" •使用参数运行的容差分析
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(AI
4a+ }lP'bu VirtualLab Fusion技术
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