摘要
=A$5~op% [v^T]L 对于许多应用来说（例如背光、
光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的
衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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QpBgG~h" =$X5O&E3' 设计任务
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g1@ zk $ dPc *!xrq 1级
参数优化
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ONH!ms(kb aqQ
YU5l4~ 结果-容差分析
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` .|JTm[ mKugb_d? VirtualLab Fusion一瞥
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'8 ] JVs/ 
'- oS=OrZ ,)TtI~6Q VirtualLab Fusion中的工作流程
lr 'h Se.\wkl#Y 构建光栅结构
k |k −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
V7[6jW gH −倾斜光栅高级设定[用例]
twv|,kM •光栅衍射效率分析
![h+ R@_( −光栅阶序分析器[用例]
[=7=zV;}4 •使用参数优化进行光栅参数优化
cKJf0S:cx- •使用参数运行的容差分析
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"(zvI>A ZJ}9g(X..g VirtualLab Fusion技术
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