摘要
oNH&VHjU sz4)xJgF ( 对于许多应用来说（例如背光、
光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的
衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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j o ozv:$>v@" 设计任务
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46^LPC"x _o'_ z ] 1级
参数优化
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H%2Y8} CDOqdBQ 结果-容差分析
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X$z@ *3= ,QW>M$g{ 结果-容差分析
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QQ*yQ \ ~ &) VirtualLab Fusion一瞥
g_{hB5N](7 DSiI%_[Ud 
RDX".'`(= _h;#\ )%~ VirtualLab Fusion中的工作流程
P5{|U"Y_ u`GzYG-L 构建光栅结构
haj\Dm −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
@k.j6LKbc −倾斜光栅高级设定[用例]
57:Wh= x •光栅衍射效率分析
j(JUOief −光栅阶序分析器[用例]
-?)` OHc^ •使用参数优化进行光栅参数优化
LZC) vF5 •使用参数运行的容差分析
r[ 2N;U ,":l >0P[ 
d 3
h^L eO<:X|9T VirtualLab Fusion技术
Gp6|0:2,L~ $'M: H_T 
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