[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 >9 iv>  
LE;c+(CAU  
对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 ?g'l/xuRe  
5J,vH  
6[cMPp x  
2h=RNU|  
设计任务 L,i-T:Z~=  
SC#  
vQ;Z 0_  
=6Z1yw7s  
1级参数优化 8:f(PN  
%vW@_A~  
hYLu   
' {Q L`L  
结果-容差分析 s SDBl~g  
?IK[]=!  
K&/W cuP&  
y=t -
/*K  
结果-容差分析 k@?<Aw8_X  
L(.5:&Y=`  
|K]tJi4fz  
s^cHR1^  
VirtualLab Fusion一瞥 RW'QU`N[Y  
+:b|I'S  
|q?A8@\u  
@ Fu|et  
VirtualLab Fusion中的工作流程 *p"%cas  
37VSE@Z+  
构建光栅结构 Z',pQ{rD  
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] #soWX_>  
−倾斜光栅高级设定[用例] d2pVO]l YZ  
•光栅衍射效率分析 .mMM]*e[0  
−光栅阶序分析器[用例] #<{sP0v*  
•使用参数优化进行光栅参数优化 ,ecFHkT>  
•使用参数运行的容差分析 N*eZ4s'  
RJ`F2b sYN  
HM`;%0T0(  
'h$1vT  
VirtualLab Fusion技术 4g|}]K1s  
 0y?bwxkc  
>y
5~
:L