摘要
<2O7R}j7v R G0S 对于许多应用来说（例如背光、
光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的
衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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#CA%]*l*F a=* ALd_&0 设计任务
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K@pFeH 1级
参数优化
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u-QO>3oY6 !A SoXQRz 结果-容差分析
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vS$oT]-hKE B)r r7B VirtualLab Fusion一瞥
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6h2x~@ ,2,SG/BB VirtualLab Fusion中的工作流程
@P_C%}(< 4 `8IFK 构建光栅结构
* H5PT −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
Q+b.-iWR −倾斜光栅高级设定[用例]
|^Ew< •光栅衍射效率分析
,@Fgr(?'`> −光栅阶序分析器[用例]
E kBae= •使用参数优化进行光栅参数优化
`RL,ZoYuu •使用参数运行的容差分析
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g\ o{}Q%X ls" b#eFC# VirtualLab Fusion技术
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