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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 fx = %e  
    {z7kW@c  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 `lN Z|U  
    E9:p A5H-j  
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     bC%}1wwh  
    建模任务 GE |P)VO  
    4L)Ox;6>  
    *sq+ Vc(  
    概述 5g4xhYl70n  
    +3k#M[Bn}  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 KAm$^N5  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Nj`Miv o  
    <77v8=as5  
     }BLT2]y0  
    Oy~X@A  
    光线追迹仿真 lBfG#\rdW~  
    tk'3Q1L  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 $iOkn|~<@W  
    •单击go！ ~+Ows  
    •获得了3D光线追迹结果。 CUa`#  
    ?Fj >7  
     @-Ln* 3n  
    DK }1T  
    光线追迹仿真 21.N+H'  
    7G9o%!D5  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 % !p/r`  
    •单击go！ HD9+4~8  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 r_e]sOCb  
    p$bR M`R&s  
     }ygxmb^@Z  
    H&=3rkX  
    场追迹仿真 ?\Lf=[  
    'EsdYx5C  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 iM{UB=C  
    •单击go！ !-Md+I_  
    `#>JRQ=  
    +B-;.]L T  
     7;H P_oAu  
    场追迹仿真（相机探测器） il >XV>  
    #;9n_)  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 1[H1l;  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 A_<1}8{L  
    =%$BFg1a(  
     \z)` pno  
    7="I;  
    场追迹仿真（电磁场探测器） \[;Qqn0  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 %<Kw  
    !Zma\Ip  
    e6igx  
     zHW}A `Rz  
    场追迹仿真（电磁场探测器） :} 9Lb)Yp  
     WbDD9ZS  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 PvB-Cqc  
    ;mLbgiqQ J  
     ZsepTtY  
     
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