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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 :Ye !w$r  
    9{l}bu/u  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 RZLq]8pM  
    P:c w|Q  
    ^q5#ihM  
     K?;DMUSY\  
    建模任务 <~)P7~$d?p  
    6x`t{g]f,  
    @gblW*Zhk  
    概述 u`W2 +S  
    K- v#.e4  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 B\~}3!j  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 vh^VxS  
    ^#pEPVkY  
     y[;>#j$  
    Q ,g\  
    光线追迹仿真 r!v\"6:OM  
    z/-=%g >HA  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 aE8VZ8tvq  
    •单击go！ y29m/i:  
    •获得了3D光线追迹结果。 #a#F,ZT  
    w )f#V s  
     BmT!aue  
    sJZ iI}Xc  
    光线追迹仿真 6nn *]|7  
    K(4_a``05  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 =_CzH(=f#  
    •单击go！ &ZO0r ^  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 F?0Ykjh3  
    pa+hL,w{6  
     pglVR </  
    c<~H(k'+c  
    场追迹仿真 awRX1:T#;O  
    }e1ZbmW  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 "]*tLL:`  
    •单击go！ g)-te+?6  
    +A+)=/i;  
    kh<2BOV  
     I%):1\)  
    场追迹仿真（相机探测器） CpN>p.kM  
    gXU8hTd8  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 +`4A$#$+y  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 sO Y:e/_F  
    BT$_@%ea&  
     9r9NxKuAO  
    (7Qo  
    场追迹仿真（电磁场探测器） :RYTL'hes  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ZSw.U:ep$s  
    g(g& TO  
    crCJrN=  
     Ri'n  
    场追迹仿真（电磁场探测器） pg.%Pdr<$  
     qs6aB0ln  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 f$( e\+ +  
    4i bc  
     K3C<{#r  
     
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