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摘要 gn)>(MG AR3v,eOs 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 2 F#DJN#
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 X[J ?
0 HPqoen$ 建模任务 D]'/5]~z< U#g ,XJ  \'.|7{Xu 概述 }s@vN8C QE4 TvnhK •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 P-?R\(QYtR •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Btyp=wfN[ $SfYO!n7Q
 dM)x|b3z BI6]{ ZC" 光线追迹仿真 ^SWV!rrg Lq]t6o ] •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 f ^|r*@o •单击go！ Wxa</n8S[n •获得了3D光线追迹结果。 a/TeBx#yG ^*'fDP*
 cceh`s=cU @&f~#Xe 光线追迹仿真 H8V@KB bj ,cU)t0 •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 i;fU],aK! •单击go！ @_H
L{q%h •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 k]=lo'bF4 #tN!^LLi
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8P8h%%Z l?O%yf`s 场追迹仿真 SYA0Hiw7P TpRI +*\ •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 a[ yyEgm2 •单击go！ "R ^0eNv$ qCy
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W%@0Y m `7 场追迹仿真（相机探测器） irF+(&q]jh f0 "_ {\ •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 +wGFJLHJ •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 5
51p*
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 b8&z~'ieR _18Aek 场追迹仿真（电磁场探测器） [sZ ,nB/ •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 A`nzqe#(1 -=GmI1:=$4  hH_\C.bL
*T2kxN, Ik 场追迹仿真（电磁场探测器） i|!W;2KL5
/)<Xoa •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 B3W2?5p 2 #X>^LH
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