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摘要 Uy;e5<< 586lN22xM 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 %"=qdBuk
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7 P/1'f3 建模任务 3x3 =ke! rZkl0Y;n\  b U{lV<R, 概述 2E_d$nsJ -esq] c%3 •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 " ,>,t_J •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 MgrJ ;?L h$_5)d~
 _ d* QA{ T@gm0igW/; 光线追迹仿真 y%@C-: ^/:G` ' •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 OqlP_^Zz7p •单击go！ V}p o •获得了3D光线追迹结果。 ;Vlt4,s) y#?AW`|
 _ eg& j dW} m44X 光线追迹仿真 }e8u p*#me % P HYJc •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 3.@ I\p} •单击go！ y25L`b •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ~ "stI p$!Q?&AV/
 8%#pv} V 2/?1 场追迹仿真 x/,(G~ I*OJPFZ^4 •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 < Nl L, •单击go！ O0=}: HM rlP?Uh  Lf0Wc '9{
U "kD)\
场追迹仿真（相机探测器） Rt3 /dw(p ^7,` 6g •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 jQ& 82X%m •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 qg9VK'3o 1b`WzoJgH
 ,); -v4$ ^rssZQK Y[ 场追迹仿真（电磁场探测器） dH_g:ocA •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 -YJ4-]Z ?CO..l  ; wKsi_``@
# "KaRh 场追迹仿真（电磁场探测器） ,; k`N` #'
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