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摘要 8;P2A\ X 2RtHg_d_l 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 V ~MiO.B
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 . \3`2
-cF'2Sfr 建模任务 ?8@>6 IXn 5A Bhj* 7  \t4tiCw 概述 8iQ [ 9 4E P<tV •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 1$lh"fHU •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 5~
' Ie<Y_ /?-7Fg+,
 \,UZX&ip KU9Z"9# 光线追迹仿真 Xk mQBV" NmIHYN3 •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ,1{Ep` •单击go！ h&@R| N •获得了3D光线追迹结果。 ybdd;t}&1 >-< 8N-@"n
 gIEl . ~}ml*<z@ 光线追迹仿真 2GmpCy`L" <3X7T6_:@ •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 &fP XU*l4 •单击go！ qk(P>q8[ •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ?NNn:t iD ~:Uw g+]j
 (Wl IwKP ,SlN zR 场追迹仿真 /(C~~XP) 4JIYbb-a' •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 7EhN u@5- •单击go！ 'BMy 8 cTZ.}eLh  xvLn'8H.
m(OvD! 场追迹仿真（相机探测器） >?W[PQ5 yx lb' Cl 3H •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 _A_ A$N~9 •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 BfTcI) [| `U6
8}u
 &:*q_$]Oz wRNroQ 场追迹仿真（电磁场探测器） 8t"~Om5sG •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 [t]X/O3< vm23U^VJ  *DI)?
\g)Xt?w0Wo 场追迹仿真（电磁场探测器） !7B\Xl'S
?|;yVew •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 "v*8_El _+f+`]iM
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