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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要  L"aeG  
    ee=D1qNu;  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 s#GLJl\E_P  
    7|H$ /]  
    G+m }MOQP7  
     hqdDm  
    建模任务 nr3==21Om4  
    ~>XxGjxe  
    GtHivC  
    概述 X wtqi@zlE  
    [-x7_=E#  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 (-co.  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 oL<St$1  
    qJw_  
     Yr|4Fl~U  
    D43z9z-:L  
    光线追迹仿真  AOx[  
    v-Sd*( 6  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 8b=_Y;  
    •单击go！ TsZ@  
    •获得了3D光线追迹结果。 Q59W#e)  
    LIrb6g&xj_  
     >R=|Wo`Ri  
    UCWBYC+  
    光线追迹仿真 #A.@i+Zv  
    ?@89lLD  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 {GUF;V ^  
    •单击go！ Y9|!+,  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 #LCb  
    ,u!sjx  
     :Tq~8!s  
    %XTI-B/K  
    场追迹仿真 :@&/kyGH  
    Q@HV- (A  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 g,Y/M3>(  
    •单击go！ B erwI 7!=  
    u=yOu^={  
    .|=\z9_7S8  
     1 {)Q[#l  
    场追迹仿真（相机探测器） \j.:3X r  
    P|> ~_$W  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 O H7FkR  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 g `4<9RMun  
    QCJM&  
     )}ROLe  
    YbLW/E\T  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 3M=  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 B1Oq!k  
    <\FH fE  
    <6=c,y  
     Vz[C=_m  
    场追迹仿真（电磁场探测器） O9p|a%o  
     "I TIhnE  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 nF/OPd  
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