-
UID：317649
-
- 注册时间2020-06-19
- 最后登录2025-11-17
- 在线时间1888小时
-
-
访问TA的空间加好友用道具
|
摘要 R?~h7 d ~x"79=!W 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ~!F 4JRf
PX 2k,%
 d J:x1j
A9Wqz"[ 建模任务 s@LNQ|'kO /2Lo{v=0[  %*c|[7Z~V 概述 y32++b! >Ryss@o •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 N"RYM~c7 •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 2^#UO=ct d5"EvT
 aiZo{j<6 NJf(,Mr*| 光线追迹仿真 <-:@} |br #S%Y; ilq •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 *X
l<aNNx •单击go！ p
<= % •获得了3D光线追迹结果。 !u { "] T: \41)0,sEy
 J.mewD!%z Z3So|M{v 光线追迹仿真 prEu9$:t N@ *wi"Q •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Tj21YK.mk •单击go！ 3U "') •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 .k,Jt+ #C1A5JE&
 B UQn+;be 3zTE4pHzu+ 场追迹仿真 Yuo1'gE+ CQ jZAv
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 :{b6M / •单击go！ afF+*\xXN PIEW \i  (#B^Hyz!
9;]wF8h 场追迹仿真（相机探测器）
}d~wDg<# P"9@8aLB •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 { w8
!K •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 7<1fKrN?GF ) '!ml
 y,v0-o~q 60,-\h 场追迹仿真（电磁场探测器） }-{ b$6] •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 e-i YJ? i6F:C
&.  IQw
%| ^
X vu) 场追迹仿真（电磁场探测器） <,@H;|mZ
<DXmZ1 •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 "VDk1YX_&l 1]>$5 1Q
 e MN+qkvH
|
