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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 H1L)9oa  
    ;\6@s3  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 \13Q>iAu  
    S=.%aB  
    :zq Un&k&  
     `(`-S md  
    建模任务 |K;9b-\  
    "I:*  
    Bg[yn<) ]  
    概述 aG#d41O  
    e$WAf`*  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 !8T04988j  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 J/E''*  
    3$q#^UvD  
     Ge=^q.  
    J~4mp\4b  
    光线追迹仿真 `LLmdm 6i  
    2+DK:T[  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 >)='.aR<  
    •单击go！ m. p'LF  
    •获得了3D光线追迹结果。 CTKw2`5u  
    7SH3k=x  
     2boyBz}=S  
    Z 4i5,f  
    光线追迹仿真 FG+pR8aA$  
    %&VI-7+K  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 8~t8^eBg  
    •单击go！ l2YClK  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 1?^ P=^8   
    je2"D7D  
     Eu~1t& 4  
    bZ:+q1 D  
    场追迹仿真 P0(LdZH6u  
    Y?7GFkIP$  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 K(PSGlI f  
    •单击go！ m;hp1VO)  
    4X7J~  
    V|B4lGS&  
     +se OoTKR  
    场追迹仿真（相机探测器） MUv#8{+F'/  
    tP*GYWI48  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 VF";p^  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 !.q99DB  
    `''y,{Fs  
     ti6X=@ P:  
    [>pBz3fn,  
    场追迹仿真（电磁场探测器） mD ZA\P_  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 hY%} x5ntU  
    (~{Y}n]s  
    k'N``.  
     J?X{NARt  
    场追迹仿真（电磁场探测器） febn?|@  
     2gkN\w6zQ  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 j$XaO%y)  
    <%% )C>l  
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