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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 b/+u4'"  
    WlOmJtt4)  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 03$mYS_?  
    )1?y 8_B  
    &GpRI(OB/+  
     rD*jp6Cl  
    建模任务 h0g8*HY+}  
    Wf+cDpK  
    .]8ZwAs=&  
    概述 zfJT,h-{  
    zO-z%y  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 /CrSu  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 5AFJC?   
    x[ SDl(<@;  
     W: z6Koc0  
    Zu*F#s!tUI  
    光线追迹仿真 j*|VctM  
    yuh *  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 owVX*&b{  
    •单击go！ tH!]Z4}u  
    •获得了3D光线追迹结果。 2=*H 8'k  
    1KU! tL  
     ;YaQB#GK%  
    ahusta  
    光线追迹仿真 Ki;*u_4{  
    Akq2 d;  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 j * %  
    •单击go！ `}p0VmD{NE  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 !Jo_"#5  
    VF+KR*  
     * ` JYC  
    '+@=ILj>  
    场追迹仿真 wo3d#=   
    D(~U6SR  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 4S7v:1~xe  
    •单击go！ z}.e]|b^H  
    dn& s*  
    !Lu2  
     'lH|eU&-  
    场追迹仿真（相机探测器） ` ./$&'  
    atj(eg  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 XgZD%7  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 N:^n('U&j  
    AzPu)  
     y#`tgJ:  
    &eJfGt5  
    场追迹仿真（电磁场探测器） @ JGP,445  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 F|`Hm  
    R8K&R\  
    R7%#U`Q^A  
     Jx:Y-$  
    场追迹仿真（电磁场探测器） \P[Y`LYL  
     C2!|OQ9A2  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Z*F3G#A  
    Lw1Yvtn  
     G0Iw-vf  
     
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