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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 2@%$;.  
    ?q; Fp  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 <xgTS[k  
    #m{UrTC  
    z#]Jv!~EPE  
     (fCXxyZrr  
    建模任务 W!6qqi{  
    1Dv R[Lx%  
    2Fq<*pxAY  
    概述 'J6 M*vO  
    \hM|(*DL  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Z(Bp 0a  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 20Z8HwQi  
    3>R#zJf  
     '+$EhFwD  
    ~wJFa'2  
    光线追迹仿真 L7V G`h;  
    Mi/&f   
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 r9 !Tug*>m  
    •单击go！ ad:&$  
    •获得了3D光线追迹结果。 /Rg*~Ers *  
    4)U.5FBk )  
     +=.W<b  
    2U; t(,dn'  
    光线追迹仿真 Zxbo^W[[  
    R +WP0&d'  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 _ B 5gR  
    •单击go！ *{y K 8  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 Up,vD)tG  
    p~9vP)74u  
     C\di7z:  
    x}Aw)QCh+r  
    场追迹仿真 aEWWFN  
    hrhb!0  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 H<}^'#"p  
    •单击go！ DBCK2PlJ  
    >&p0d0  
    vh*U]3@  
     {WPobP"  
    场追迹仿真（相机探测器） RW}"2  
    Fm # w2o  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 tWoh''@#  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 /l<<_uk$  
    9M1d%jT  
     OBP1B@|l$+  
    W~p/,HcM  
    场追迹仿真（电磁场探测器） H)>;/#!r-  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 yZ7,QsEsN  
    /Ne<V2AX  
    CJXg@\\/  
     %o:2^5\W  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 5GPo*Qpl  
     Ko/ I#)  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ?zsB6B?;  
    =?s 3iP  
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