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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 zb Z0BD7e  
    =ZjF5,@  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 Az[Yvu'<  
    vK)^;T ;  
    =Y>_b 2  
     ]N!382  
    建模任务 <SmXMruU  
    3{ i'8  
    #DpDmMP9R3  
    概述 B!H4 6w~  
    AB40WCu]*  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 K5No6dsD  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 |=2E?&%?  
    Xu $_%+46  
     <Hl.MS  
    Bh?K_{e  
    光线追迹仿真 _x_om#~n  
    }Wjb0V  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 cx M=#Go  
    •单击go！ jdiFb~5R  
    •获得了3D光线追迹结果。 E#X1P #$pW  
    Q-fi(UP  
     TWkuR]5  
    $EHAHNL?Lx  
    光线追迹仿真 VU`aH9g3(  
    p6u"$)wt  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 WgPpW!`  
    •单击go！ )3PQ|r'  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 <<!XWV*m  
    <&E3QeK  
     =qiX0JT  
    6=a($s!   
    场追迹仿真 ,\ zp&P"p  
    syhTOhOX  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 :{?8rA5  
    •单击go！ {^ 1s  
    +[M5x[[$  
    ujsJ;\c  
     E8#RG-ci  
    场追迹仿真（相机探测器） V}(snG,  
    3OTq  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 $ KQ7S>T  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Cp(,+ dD  
    GY 4?}T^s  
     W#!![JDc  
    \hv1"WaJ  
    场追迹仿真（电磁场探测器） F M:ax{  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 7bOL,S  
    S*~v9+  
    QWG?^T fi  
     f@Mm{3&.  
    场追迹仿真（电磁场探测器） @bU(z$eB  
     v`#T)5gl-  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 l&cYN2T b  
    e#]=-^  
     uSp=,2)  
     
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