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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 5.m&93P  
    z"#iG&>a,  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 JjA3G`m=  
    mApn[)?tv  
    Y-!~x0-H  
     I><B6pIR  
    建模任务 Hdvtgss!  
    t/55tL  
    e_RLKFv7  
    概述 8(-V pU  
    DJ_[{WAV  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ,LI$=lJ@  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 %Ms"LoK  
    5Ku=Xzvq  
     Y-2IAJHS8  
     N>ncv  
    光线追迹仿真 r-^FM~Jp  
    mJ+M|#Ox  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 n/W@H Im#  
    •单击go！ gu?e%]X3  
    •获得了3D光线追迹结果。 7LEB ,bU  
    5k:SD7^b  
     zT<fTFJ1  
    CFE  ubEb  
    光线追迹仿真 LR:PSgy  
    {!RDb'Zp  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 @*?)S{8  
    •单击go！ Fl0(n #L  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 s;brs}  
    \c ')9g@  
     ~[8n+p+&X  
    F}1h  
    场追迹仿真 Sg%h}]~   
    ;R5@]Hg6q  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 B":9C'tip  
    •单击go！ DWv(|gO  
    ;X_bDiG$  
    m^k$Z0  
     } 6 ,m2u  
    场追迹仿真（相机探测器） T`?7z+2A  
    }K .Rv(m  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 .7 K)'  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 {c  : 7:  
    kM6i{{Q  
     Ky0}phGRu  
    1Kjqs)p^  
    场追迹仿真（电磁场探测器） (@DqKB  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 e{Q;,jsh  
    2LfiaHO  
    U g:  
     Bd'X~Vj<  
    场追迹仿真（电磁场探测器） @V?T'@W7D  
     L@5sY0 M  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 @4t_cxmD  
    V` T l$EF  
     -F. c<@*E  
     
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