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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 "q$M\jK#V  
    DxlX-  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 !duR7a  
    b7-a0zaN  
    6XP>p$-  
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    建模任务 J ?&9ofj&  
    4:.M*Dz  
    {T.VB~C  
    概述 `JR dOe  
    WCH>9Z>cj  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 G.Q+"+* ^  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 4Xz|HU?  
    7% h Mf$KQ  
     y.zW>Mfl  
    &b_duWs  
    光线追迹仿真 x RfX:3  
    rZLMY M  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 E~B LY{3:  
    •单击go！ 8L:0Wp  
    •获得了3D光线追迹结果。 [K5afnq`  
    }5K\ l  
     S7bSR?~L[  
    .FeEK(  
    光线追迹仿真 wegBMRQVp  
    ?1YK-T@  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 % :NI@59  
    •单击go！ FX{Sb"  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 j0J6ySlY  
    /#tOi[0[  
     `!i>fo~  
    ~%]+5^Ka]  
    场追迹仿真 k20tn ew  
    O?@AnkOhn  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 j9%=^ZoQj  
    •单击go！ 139_\=5|U/  
    "zugnim  
    r;-\z(h  
     }q^CR(h (R  
    场追迹仿真（相机探测器） IMj{n.y4  
    ='(:fHhhX  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 \n}cx~j  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Qk((H~I}  
    1c]GS&(RP  
     Ra/S46$  
    hUqIjcuL4  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 4XRVluD%W.  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 z;T?2~g!  
    G3q\Z`|3h  
    ,+ WDa%R  
     "bJWyUb  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ig6F!p  
     WHL@]^E@m  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 *t63c.S  
    jVr:O `  
     OF}vY0oiw?  
     
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