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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 jI7 x<=  
    PL{lYexJ  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 t!Cz;ajNi  
    3 0[Xkz  
    9 d a=q  
     9dNkKMc@  
    建模任务 EQ,`6UT>  
    0*b8?e  
    A{ T9-f@X  
    概述 @I?,!3`jS  
    zPp22  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 s_/@`kd{  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 xOKJOl  
    iv_3R}IbX  
     `WOoC   
    X-(( [A  
    光线追迹仿真 @y7KP$t  
    ygnZ9ikh<-  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 \O"H#gt  
    •单击go！ n'^`;-  
    •获得了3D光线追迹结果。 Z,2?TT|p  
    pLCj"D).M  
     H!]&"V77  
    lwX9:[Z  
    光线追迹仿真 J{dO0!7y  
    _lkVT']  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 .:}<4;Qz94  
    •单击go！ &?bsBqpN  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 E/oLE^yL  
    iXo; e  
     pP":,8Q{  
    i /[{xRXiR  
    场追迹仿真 i*N2@Z[  
    'uL$j=vB  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 i4D]>  
    •单击go！ {U_ ,y(V  
    gPB=Z!  
    e8 ]CB  
     m<3. X"-  
    场追迹仿真（相机探测器） 13/,^?  
    "r@#3T$  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 wsB-( 0-  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 \A\  
    6jc5B#  
     elGBX h  
    6O{QmB0KK  
    场追迹仿真（电磁场探测器） /]z #V'  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 .jqil0#)Y"  
    Q" h]p  
    A,EG0yb  
     }w35fG^  
    场追迹仿真（电磁场探测器） jm<^WQ%Cc  
     i=n;rT  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 PU.j(0  
    R P~67L  
     3l~7  
     
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