-
UID：317649
-
- 注册时间2020-06-19
- 最后登录2025-11-17
- 在线时间1888小时
-
-
访问TA的空间加好友用道具
|
摘要 hRI?>an >$:_M*5 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 l
Zz%W8"
]j +J^g
 c \.7Z=D
.Fe VbZW 建模任务 7?p>v3 4A /=[hRn@)A  .L8g( F(=: 概述 ?BnX<dbi& fA"9eUu •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Xk9 8%gv •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 .!)i X<<FS%:+
 zrL +:/t y41~ 光线追迹仿真 gXvE^fE m9mkZ:r(kV •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 VJSkQ\KD •单击go！
x0||'0I0 •获得了3D光线追迹结果。 I\<) 9`O FyWrb+_0v
 TlC GP)VSj b6d}<b9# 光线追迹仿真 7_~_$I~g* z#GrwE,r •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 sf Zb$T
J •单击go！ Wg=q lux- •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 N gagzsJ= 5 89P$2e1X
 K6 c[ W%Va C#@-uo 2 场追迹仿真 o]aMhSol ]VoJ7LoCZ' •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 cuh Z_ l •单击go！ l9naqb:iP zs r; 37  'x u! t'l&
Huc|HL#C 场追迹仿真（相机探测器） jJV1 /]TJ d 0 mfqP= •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 tR<L9h •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 +R',$YzD #F#M<d3-2
 ;{1 ws F- {hXM 场追迹仿真（电磁场探测器） 4ah5 }9{g •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ut^6UdJ+` ;v5Jps2^]  =kb/4e Rg
Ga\kvMtr 场追迹仿真（电磁场探测器） 6o]j@o8V
'H (khS •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 `S|T&|ad0 w g ^'oy
 1IN^,A]r2h
|
