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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 &*iar+vr  
    n_vopDMm  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 289teU  
    HV ab14}E  
    j*aN_UTr3  
     GY 4?}T^s  
    建模任务 W#!![JDc  
    \hv1"WaJ  
    F M:ax{  
    概述 7bOL,S  
    _UKH1qUd4  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ?<VahDBS+A  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 SFAh(+t  
    ]etLobV  
     aGvD  
    <kIg>+  
    光线追迹仿真 xo/[,rR  
    } XVz?6  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 8 St`,Tq)  
    •单击go！ ~jMdM~}  
    •获得了3D光线追迹结果。 %tiFx:F+  
    j4RM'_*G  
     Q| > \{M  
    B]oIFLED  
    光线追迹仿真 Jx[Z[RO2  
     4KF 1vw  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 E8#r<=(m  
    •单击go！ Q?rb(u(  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 j.OPDe{LU  
    %toxZ}OP  
     HT7V} UiaO  
    4jEPh{q  
    场追迹仿真 d[;=X.fZ2  
    Fn0Rq9/@  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 >Z ZX]#=I  
    •单击go！ 6'd=% V  
    ?h4-D:!$L  
    Rg~ ~[6G>  
     =B O} hk  
    场追迹仿真（相机探测器） I;kKY  
    k6-.XW  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 x gP/BK2"  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 #UGm/4C  
    Q- 78B'!=  
     =\H.C@r  
    ,W"Q)cL  
    场追迹仿真（电磁场探测器） X?5M)MP+I  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 %IGcn48J  
    @4dB$QF`&  
    @A6 P[r  
     PEZ~og:w  
    场追迹仿真（电磁场探测器） n)$T zND  
     ^Z]1Z  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 >(+g:p  
    _ Js & _d  
     HVG9 C$  
     
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