切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 Zemax光学设计从基础到实践 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 光学设计与光学元件 CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 386阅读
    • 0回复

    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    5937
    光币
    23838
    光券
    0
    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 9| ('*  
    S8_>Lw  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 S! Z2aFj  
    d<,'9/a>  
    o$4xinK  
     SAQ|1I#"/  
    建模任务 PjxZ3O  
    &-e@Et`Pg  
    Of@ LEEh6  
    概述 :_0"t-  
    &xgKHbg  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 .5s#JL  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 :b~5nftr  
    z\F#td{r  
     #uc9eh}CWO  
    d~hN`ff  
    光线追迹仿真 \H&8.<HJ  
    VnU/_# n  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 (gQr?K  
    •单击go！ o1k X`Eu  
    •获得了3D光线追迹结果。 Yvn*evO4  
    >@ :m#d  
     9!>Ks8'.d  
    .{8?eze[m  
    光线追迹仿真 T=W;k<P\k  
    mzGMYi*  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 3!*qB-d  
    •单击go！ .Xcf *$.;s  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 %s;=H)8  
    ;i>(r;ZM  
     ]fdxpqz  
    k>V~ iA  
    场追迹仿真 0Z&ua  
    G^W'mV$xl  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ']__V[  
    •单击go！ F`e o3z  
    'u84d=*l  
    i%3q*:A]2  
     xO0}A1t Wd  
    场追迹仿真（相机探测器） 1Pp2wpD4iC  
    JF6=0  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ]q":ta!f  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ,w|Or}h]7  
    wN2D{Jj  
     VC.zmCglo^  
    Q*W$!ZUT  
    场追迹仿真（电磁场探测器） R\Of ,  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Xwz'h;Ks_  
    r=cm(AHF  
    E(miQ   
     {osadXd C  
    场追迹仿真（电磁场探测器） =EQaZ8k  
     I2^@>/p8\(  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Z1N=tL  
    kj]m@mS[  
     D&|HS!  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表