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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 wLOS , =  
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    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 WeE1 \  
    /6yH ,{(a  
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    建模任务 ZP;WXB`  
    gQ=l\/ H  
    3Q~zli:  
    概述 W $EAo+V  
    Mv7=ZAm  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 >%i]p  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 H#FH '@J  
    K} TSwY  
     }e0>Uk`[  
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    光线追迹仿真 *!&,)''  
    #Pe|}!)u  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 "d c- !  
    •单击go！ I6RF;m:Jw  
    •获得了3D光线追迹结果。 )F65sV{  
    )A=&3Ui)ab  
     KAR **Mp+  
    {^_K  
    光线追迹仿真 [[' (,,r  
    NNn sq@?6  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 6<{XwmM  
    •单击go！ !X ={a{<,T  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 z\+Ug9Of  
    f/UIpswrZ'  
     QM4O|x[   
    [VY265)g  
    场追迹仿真 /nzJ`d  
    EN;4EC7tE  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 %{ +>\0x  
    •单击go！ {I]>!V0j!  
    B(,j*,f  
    !T RU  
     :@K~>^+U  
    场追迹仿真（相机探测器） VJOB+CKE  
    rB}2F*eT  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 }Wz[ox9b  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 t 4>\ ;  
    n7(/ml+Q_  
     =.2)wA"e'  
    +r$M 9  
    场追迹仿真（电磁场探测器） bD<hzOa  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 h4N&Yb fo  
    7[It  
    `[F[0fY-  
     DQ hstXX  
    场追迹仿真（电磁场探测器） X{tfF!+iy  
     "P8( R  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 y_{fc$_&  
    3h**y %^  
     v{oHC4  
     
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