切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 光学设计仿真实验指导 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 京东年货节，领红包！更优惠！
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 现代光学设计及应用(Zemax) CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 602阅读
    • 0回复

    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    6613
    光币
    27214
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 >p/`;Kq@  
    >7r!~+B"9'  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 #g=XUZ/"  
    /xQPTT  
    JRFtsio*  
     5;S.H#YOpO  
    建模任务 f)!Z~t &  
    "3hMq1NQ`g  
    ;=@0'xPEa-  
    概述 ddo#P%sH'  
    9l,o P?  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ]9X DS[<2`  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 } %z   
    1}37Q&2  
     G:JR7N$  
    i!cCMh8  
    光线追迹仿真 9kojLqCT  
    nm+s{  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 m,S{p<-h  
    •单击go！ kLY^!  
    •获得了3D光线追迹结果。 C>~TI,5a3  
    OTp]Xe/  
     Zov~B-Of:  
    b\ PgVBf9  
    光线追迹仿真 )i<j XZ:O  
    H[UlY?&+  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 2Hdu:"j  
    •单击go！ b2]Kx&!  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 Mlq.?-QgIL  
    e%6QTg5#  
     XM}hUJJW  
    <or2  
    场追迹仿真 L(o15  
     9a kH  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 m3ff;,  
    •单击go！ 8] ikygt"  
    ~v83pu1!2s  
    Th[dW<  
     66 Tpi![  
    场追迹仿真（相机探测器） )jC%a6G!  
    *qMY22X  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 Wvqhl 'J  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 d\Zng!Z'  
    +*^H#|!  
     tjnIN?YT  
    2-b6gc7  
    场追迹仿真（电磁场探测器） v LZoa-w:  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 <t,x RBk  
    XUw/2"D'?  
    T)}) pt!V  
     y==CT Y@  
    场追迹仿真（电磁场探测器） .~}1+\~5  
     j7c3(*Pl  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 i  LAscb  
    qCO/?kW  
     :Yks|VJ1  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表