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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 e'$[PF  
    Rf`_q7fm  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 7/hn%obC  
    em,1Yn?  
    80Hi v  
     u4 es8"  
    建模任务 Yn [ F:Z  
    3\P*"65  
    e6_8f*o|s  
    概述 s/hWhaS<  
    7:LEf"vRZ  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 9kWI2cLzQt  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 b6k_u9m^E  
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     FD E?O]^  
    `!N}u  
    光线追迹仿真 Q.Nw#r+m  
    /# Jvt  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 %.`u2'^  
    •单击go！ ,_YI:xie|c  
    •获得了3D光线追迹结果。 sdO8;v>  
    <S7SH-{_\  
     WynTU?  
    ?F]P=S:x  
    光线追迹仿真 D1-w>Y#  
    0|-}>>qb\  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 c"kB@P  
    •单击go！ NX%1L! #  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 BQWg L  
    &D[M<7T  
     y>t:flD*  
    E)m \KSwh  
    场追迹仿真 )!rD&l$tE  
    tx[;& ;  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 C TG^lms  
    •单击go！ Ww8U{f  
    U1/I( w  
    6P >Y2xV:  
     W^^0Rh_  
    场追迹仿真（相机探测器） S[9b I&C  
    ` ~m/  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 @BnK C&{  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 {ST8'hY  
    Gev\bQa  
     j}Svb1A  
    Jgr;'U$  
    场追迹仿真（电磁场探测器） }*9F`=%F  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 rU9")4sQ  
    Wx3DWY;  
    N)H+N g[  
     <`Fl Igo  
    场追迹仿真（电磁场探测器） r0k :RJP  
     ~DxuLk6 s  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 R&t2   
    3)>re&  
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