切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 Zemax光学设计从基础到实践 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 光学设计与光学元件 CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 459阅读
    • 0回复

    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    6243
    光币
    25360
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 77@N79lqO  
    1Z}5ykM3  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 *DPX4 P  
    BTkx}KK  
    b)I-do+  
     '0D$C},^|8  
    建模任务 E%`J =C}  
    Bz ;r<Kn  
    W'@ |ob  
    概述 r"dIB@  
    ZIx-mC5  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 gyvrQ, u  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ,R[$S"]!SH  
    V.*TOU{{xh  
     -$Z1X_~;)<  
    t neTOj  
    光线追迹仿真 L0wT:x*  
    &!8 WRJ  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 J9mK9{#q  
    •单击go！ L0g+RohW  
    •获得了3D光线追迹结果。 Bg~]u+c*  
    uE's&H  
     ^ j\LB23  
    x?wvS]EBg  
    光线追迹仿真 z By%=)`  
    1q7&WG  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 cdMSC7l!  
    •单击go！ aRMlE*yW  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。  \(\a=  
    LE8<JMB  
     p1KhI;^  
    L )JB^cxf  
    场追迹仿真 G WIsT\J  
    fB$a )~  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。  ~71U s  
    •单击go！ e S8(HI6{^  
    _N`.1Dl%Q  
    4zMvHe  
     m# {'9 |  
    场追迹仿真（相机探测器） U?0|2hR~  
    sq'm)g  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 MRLiiIrq,5  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 cI2Ps3~"Q  
    +KTfGwKt  
     *$eH3nn6g  
    <Q|\mUS6  
    场追迹仿真（电磁场探测器） cu/"=]D  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 DsHF9Mn  
    s%D%c;.|  
    P =X]'m_B  
     tRoSq;VrS  
    场追迹仿真（电磁场探测器） d {!P c<  
     KR?;7*qF  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 eGEwXza 4  
    W3.[d->X  
     =!\Nh,\eQ  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表