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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 fDSv?crv  
    }\C-} Q  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 = 9 T$Gr  
    =JmT:enV  
    f7}*X|_Y  
     D+>1]ij  
    建模任务 mx=BD'  
    jVq(?Gc  
    x#:| }pR  
    概述 "Iix )Ue  
    H*r>Y  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 7VP32Eh[  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 VH:]@x//{  
    9+pmS#>_  
     0x!2ihf  
    P67o{EdK  
    光线追迹仿真 :<|<|qJWo  
    0Zg%+)iy@  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 9H%X2#:fH  
    •单击go！ a`0=AQ  
    •获得了3D光线追迹结果。 :Lz\yARpk  
    I"`M@ %  
     Sf r&p>{,  
    ?^N3&ukkyo  
    光线追迹仿真 3g6j?yYqb  
    y8DhOlewQ  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 y\x+  
    •单击go！ c ;'[W60  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 !*OJ.W&  
    Y5j]Z^^v  
     % $DI^yS  
    GDuMY\1  
    场追迹仿真 F,'exuZ  
    wKsT7c'  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 $r3i2N-I  
    •单击go！ 7>~5jYP  
    &e8s65`  
    :Q@&5!]>d  
     /g4f`$a  
    场追迹仿真（相机探测器） c?@T1h4  
    ~ _!F01s  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 gatB QwJb9  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 'f?$"U JF  
    S1?-I_t+]  
     H8On<C=  
    /7YF mI/0  
    场追迹仿真（电磁场探测器） B9J&=6`)  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 +="e]Yh;  
    Gmz6$^D   
    W='> :H  
     lMbAs.!  
    场追迹仿真（电磁场探测器） &kpwo )  
     nxl[d\ap+n  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 _ :VB}>  
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