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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 38gEto#q  
    t Ai?Bjo  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 bKP@-<:]  
    uPBtR  
    m$bDWxm#e  
     ]5j1p6;(`  
    建模任务 ^F`\B'8MF  
    tY6QhhuS:  
    :, Ad1(  
    概述 -{s9PZ3~_  
    ^<QF* !  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 .V?>Jhok  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 %n:ymc $}  
    uE:`Fo=y  
     jK-usn  
    H5?H{  
    光线追迹仿真 ]ppws3*Pa  
    V.Qy4u7m  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 z)XI A)i6  
    •单击go！ fGMuml?[ e  
    •获得了3D光线追迹结果。 /^9yncG;>  
    2)47$eu  
     /H<tv5mX J  
    [eO6 H2@=z  
    光线追迹仿真 RL~]mI!U  
    &1,{.:@e  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 XCQPVSh  
    •单击go！ e? n8S  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 _Q6` Wp6m  
    "|W``&pM  
     Xe>   
    jv'q :uA^  
    场追迹仿真 ` beU2N  
    F@u>5e^6  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 |g8Q.*"l[  
    •单击go！ vN3uLz'<  
    #JW~&;  
    f,QBj{M,  
     j<C p&}X  
    场追迹仿真（相机探测器） 40R7@Vaf  
    %6HJM| {H  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 =Z}=nS?4  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ,G!mO,DX  
    u[?M{E/HU  
     fT  
    RoeLf Ow  
    场追迹仿真（电磁场探测器） pQ yH`  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 e.? ;mD  
    B{\qYL/~  
    Y<9]7R(\;  
     _"c:Z!L  
    场追迹仿真（电磁场探测器） +o^sm'$  
     YB3?Ftgw  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 El4SL'E@  
    .[8g6:>  
     P* .0kR1n  
     
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