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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 &C}*w2]0S  
    "oyo#-5z  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 )0`C@um  
    ,1`z"7\W  
    10&8-p1/mc  
     $xsd~L &  
    建模任务 VbYdZCC  
     mh%VrA q  
    6tZI["\   
    概述 &=[WIG+rk  
    UMi~14& ;  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Gv&V|7-f0  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 WJi]t93  
    7V>M]  
     HS$r8`S?)  
    C!gZN9-  
    光线追迹仿真 i8p6Xht  
    gXU8hTd8  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 +`4A$#$+y  
    •单击go！ sO Y:e/_F  
    •获得了3D光线追迹结果。 BT$_@%ea&  
    @Qe0! (_=  
     (7Qo  
    DU^loB+  
    光线追迹仿真 }V>T M{  
    [g,}gyeS(  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 YSMAd-Ef-  
    •单击go！ cQ|NJ_F{1  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 !D6]JPX  
    lZ0 =;I  
     $G>.\t  
    4i bc  
    场追迹仿真 K3C<{#r  
    Cx"sw }  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 !>tL6+yj  
    •单击go！ ICCc./l|  
    ~&O%N  
    G}*hM$F  
     ~[: 2I  
    场追迹仿真（相机探测器） /reX{Y  
    sLFl!jX  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 Ac6=(B  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 & kIFcd@  
    1M-pr 8:6s  
     Rcv9mj]l  
    $>gFf}#C  
    场追迹仿真（电磁场探测器） rNM;ZPF#  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 a.'*G6~Qgw  
    QJNFA}*>  
    B!yr!DWv  
     9L9sqZUB  
    场追迹仿真（电磁场探测器） `/g UV  
     t) +310w  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 K,]=6 Rj  
    n%-0V>  
     =;k|*Ny  
     
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