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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 s"sX# l[J  
    b LxV  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 *qq%)7  
    KUly"B  
    ^U`[P@T  
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    建模任务 mBnC]$<R  
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    f|b|\/.=  
    概述 Ke\?;1+  
    @<w$QD  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 wuh$=fya  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 2&=;$2?}  
    +$v$P!),  
     6aj)Fe'2  
    N>gv!z[E  
    光线追迹仿真 }>p)|Y T"/  
    TuX#;!p6  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 6*]Kow?  
    •单击go！ [F6=JZ  
    •获得了3D光线追迹结果。 i#Wl?(-i  
    v#nFPB=z  
     ff{ESFtD  
    -gC=%0sp\  
    光线追迹仿真 55yP.@i9J  
    3S.rIai+  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 1`h`-dqr#  
    •单击go！ xXHz)w  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 CBO8^M<K  
    !'PPj_Hp]  
     ,a?em'=  
    s+ 0$_&xR  
    场追迹仿真 S&]JY  
    r]8B6iV  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 !H.&"~w@  
    •单击go！ |7f}icXKur  
    qOk4qbl[  
    E8?Q>%_  
     VF 6@;5p  
    场追迹仿真（相机探测器） .$?s :t  
    43 |zjE  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 /n:s9eq  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 W'6*$Ron  
    o 'yR^`  
     D0-C:gz  
    Que)kjp  
    场追迹仿真（电磁场探测器） we{*%8I;  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 wV U(Du  
    2-{8+*_'  
    =D3Y q?  
     D./e|i?  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 5 bMVDw/  
     "qwRcuHY  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 C~6aX/:  
    6!+"7r6  
     hgsE"H<V  
     
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