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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 /* O,T  
    aXJe"IT.u  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 (;j7 {(  
    UA8!?r-cR  
    =0)^![y]v  
     u=l(W(9=  
    建模任务 y^A $bTQq  
    L,D>E  
    i@J,u  
    概述 P&tK}Se^V  
    H\k5B_3OU  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 4AM*KI  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ``<1Lo@  
    c~'kW`sNV  
     J9 =gv0  
    @ tIB'|O  
    光线追迹仿真 E nvs[YZe  
    /)I9+s#q9o  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 0l=}v%D  
    •单击go！ W$JA4O>b  
    •获得了3D光线追迹结果。 fEjW7 c  
    kUUq9me&o  
     ~tLR  
    _5T7A><q<  
    光线追迹仿真 HIq1/)  
    *mQit/ k.  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 qj6`nbZ{va  
    •单击go！ xB(:d'1|  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 4B]61|A  
    5G<CDgl^!  
     ]1&9~TL  
    S0+zq<  
    场追迹仿真 `0^i #  
    Vi#im`@  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 YP<]f>SBt  
    •单击go！ cWc)sb  
    T,uIA]  
    D H !Br  
     V8yX7yx  
    场追迹仿真（相机探测器） JC"K{ V{  
    X6.O ;  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ElXe=5L\#  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 AuTplO0_rE  
    MI(i%$R-A  
     }BJ1#<  
    j>*SJtq7  
    场追迹仿真（电磁场探测器） GX)QIe~;qJ  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ge?-^s4M  
    @S7=6RKa[  
    HzV+g/8>A  
     #0u69  
    场追迹仿真（电磁场探测器） SSLs hY~d  
     d&bc>Vt  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 UWp8I)p!\O  
    z,|%? 1  
     uAs*{:4n  
     
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