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摘要 fzio8m KVX B+B v(p 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 oa XD^ H\
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#62ww-E~ 建模任务 dk]ro~ [ T6,lk1S'=  = N0cz% 概述 , X R8qi~ K*}j1A •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 v Vf!XZF •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 R 1 b`( H WU{521
 .R"L$V$RU. [*<&]^ 光线追迹仿真 j w462h ;7A, 'y4f •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 P3|<K-dFAK •单击go！ [eN{Ft0x •获得了3D光线追迹结果。 )K6{_~Kc\ m{y ON&y
 !58JK f O:x%!-w 光线追迹仿真 -XyuA:pxx N{yZk"fq:6 •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 U
Oo(7 •单击go！ `qgJE_GC •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 Fo=6A[J ;Vy'y
 {XC rjO| TExlGAHo+O 场追迹仿真 &40]sxm "8]17 0 •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 J)->
7h = •单击go！ Jp#cFUa t A%O#S<sa  q Q'@yTVN
bW|y - GM 场追迹仿真（相机探测器） c%!wKoD 1hWz%c| •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 9 JtG&^* •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 *2 MTx 7KIQ)E'kG|
 Uy :.m ` ahXn 场追迹仿真（电磁场探测器） t} M3F-NZ •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ~dLZ[6Z +bn w,B><  ||HIp9(3
zJ`(LnV 场追迹仿真（电磁场探测器） [
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Hv\*F51p= •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 k]iS3+nD Gp+XM
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