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摘要 o(SPT ?ao~ =;0-t\w! 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 y <FC7
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toPbFU' 建模任务 hE {";/}J RD:G 9[  MWv@]P_0p! 概述 %jjPs . u4~+Bc_GL •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 >XgJo7u •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ?A|JKOst] 00 x -
 }?,?2U,8 : Ih:Q}V#6 光线追迹仿真 4C 3_ gm IrL%0&*h S •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 6NX#= A •单击go！ (BLxK) 0<" •获得了3D光线追迹结果。 ^_ch%3}Im Wm6qy6HR
 AE7 7i,Xa ^yPZ$Q 光线追迹仿真 -r sbSt ?_ dHIk3j-! •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 T<0 r , •单击go！ &'> m;W •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 $,~Ily7w xZ`z+)
 b~vV++ou_ _A C N 场追迹仿真 .3C::~: 4tCM 2it% •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 } 8 z :L< •单击go！ 5=C?,1F$A 9s"st\u
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m*]`/:/X [ 场追迹仿真（相机探测器） ^ 4< D%\ T>as H •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 :u,. (INB •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 9PKXQp ^Ye(b7Gd
 U}jGr=tu 9\.0v{&v 场追迹仿真（电磁场探测器） T ]w I) •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 gF p3=s0~ Yc]V+NxxQ  V #w$|2
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_;6 场追迹仿真（电磁场探测器） *gwaW!=
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