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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 5hN)y-4@  
    W;%$7&+0  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 mQ(6ahD U  
    xVYy`_|  
    \cJ?2^Eq  
     UF37|+"E  
    建模任务 V$wW?+V  
    |Z6M?n  
    LFvO[&  
    概述 N,kPR  
    n!Hj4~T0  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 9O(vh(C  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 aia`mO]  
    HK}br!?  
     >?3yVE  
    !@>_5p>q*  
    光线追迹仿真 GZ=7)eJ~<  
    ctg U  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ]k+XL*]'A  
    •单击go！ &.W,Hh  
    •获得了3D光线追迹结果。 v=m!$~  
    ]'IZbx:  
     /wAx#[c[  
    i28WgDG)5  
    光线追迹仿真 FR*CiaD1  
    hSAdD!  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 {L6@d1u  
    •单击go！ xA7>";sla[  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 /;5U-<qf  
    B'NtG84  
     JRgrg &#  
     6chcpP0  
    场追迹仿真 da[=d*I.  
    %<dvdIB  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 Zc!rL0T  
    •单击go！ "rl(%~Op  
    [|qV*3 |?  
    gWk?g^KJL  
     5& 2([  
    场追迹仿真（相机探测器） K UD.hK.  
    Ppton+?(  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 I3I1<}>]Z  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 gDN7ly]6M  
    1  b&<De  
     V><,.p8  
    gPE` mE  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 6y+_x'  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ?d!*[Ke8  
    ! V^wq]D2  
    2`'g 9R  
     z@<OR$/`L  
    场追迹仿真（电磁场探测器） a Fh9B\n  
     WWEZTFL:j  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 bmzY^ %a  
    @D[tljc^  
     C ^IPddw>  
     
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