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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 Uw("+[5O0  
    QEs$9a5TE  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 G1 "QX  
    ByY2KJ7  
    H ni^S  
     :EV.nD7  
    建模任务 9,'m,2%W  
    $\BYN=#  
    $(9QnH1KY  
    概述 [Kwj 7q`  
    G1z*e.+y  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。  pX_#Y)5  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 "tCTkog3]  
    gsyOf*Q$  
     syR"p,3EC  
    T#Z&*  
    光线追迹仿真 DEZww9T2Qs  
    =IC.FT}  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 lD,2])>  
    •单击go！ - Z,Qj"V  
    •获得了3D光线追迹结果。 'GJB9i+a^  
    |Mq+QDTTw~  
     Ljd`)+`D  
    5!F;|*vC8  
    光线追迹仿真 I_<VGU k  
    +X/a+y-  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 '3b\d:hN  
    •单击go！ ">bhxXeiN  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ln82pQD2Y~  
    LU:xmDv  
     oN1D&*  
    +yP!7]  
    场追迹仿真 BD C DQ  
    f)*"X[)o  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 jA{5)-g  
    •单击go！ jo:Z  
    efQ8jO  
    bCw{9El!K4  
     j*DPW)RkKX  
    场追迹仿真（相机探测器） BmX'%5ho  
    XGSFG ~d  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ^ j\LB23  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 x?wvS]EBg  
    AY/.vyS  
     1q7&WG  
    cdMSC7l!  
    场追迹仿真（电磁场探测器） aRMlE*yW  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 a4,V(Hlm  
    .==D?#bn  
    u<S`"MR:J  
     -8n1y[  
    场追迹仿真（电磁场探测器）  _<S!tW  
     dOeM0_o  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 cLZ D\1Mt  
    |o5eG><  
     =d{6=2Pt  
     
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