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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 q'awV5y  
    Kf7v_T /  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 B&)o:P7h  
    rn8t<=ptH3  
    r6eApKZ>f6  
     }7jg>3ng(  
    建模任务 %7bZnK`C  
    t{)J#8:g  
    Syj7K*,%bZ  
    概述 KZ)p\p<1  
    BAS3&fA  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 x,SzZ)l-9  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 L>EC^2\  
    ~'l.g^p bv  
     *6e 5T  
    \;s mH;m  
    光线追迹仿真 PXYo@^ 3  
    *aF<#m v  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 (GdL(H#IL  
    •单击go！ ;MR(Eaep  
    •获得了3D光线追迹结果。 M%8:  
    pP6pn~ }  
     c}>p"  
    _=eeZ4f  
    光线追迹仿真 F$Q@UVA  
    \WeGO.i-  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 l1qWl   
    •单击go！ M(2c{TT  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 i`1QR@11  
    j.@TPf*  
     %r*zd0*<n1  
    L>mv\D;o.  
    场追迹仿真 `n!<h,S'2  
    :!f1|h  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 "3i=kvdz  
    •单击go！ 5b9>a5j1;  
    &<P!o_+eb  
    xv{iWJcs  
     W%=b|6E  
    场追迹仿真（相机探测器） u&>o1!c*P  
    i }5 #n  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 Y`u.P(7#  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 `"E|  
    {]}}rx'|P  
     !.'@3-w]  
    r$*p  
    场追迹仿真（电磁场探测器） WBA0! g98  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 b:S#Sz$  
    DaW_-:@s  
    ;TK:D=p4  
     RJ%~=D  
    场追迹仿真（电磁场探测器） \DE`tkV8  
     Cp_YIcnEJ  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 (,E.1j]ji  
    QMzBx*g(  
     ^zv28Wq>  
     
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