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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 #Q3PzDfj  
    ?4ILl>*  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 bV`C;RPn  
    *kQCW#y0  
    A$~xG(  
     <s8? Z1  
    建模任务 5$oewjLO  
    <{/;1Dru  
    ]&:b<]K3  
    概述 FxfL+}?Q  
    v (ka,Dk3  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 /u)Rppu  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 7"q+"0G  
    VkpHzr[k  
     i7nL_N  
    y?#9>S >:\  
    光线追迹仿真 rer|k<k;]G  
    -+}5ma  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 i u1KRuaF[  
    •单击go！ Cqgk  
    •获得了3D光线追迹结果。 %l} Q?Z  
    =4zNo3IvL+  
     \2Og>{"U  
    A)hhnb0o  
    光线追迹仿真 3Q"F(uE v^  
    w< 65S  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 L)F1NuR  
    •单击go！ +2DE/wE]e+  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 j1YH9T#|D  
    M XZq  
     QqtC`H\  
    > z=Ou<,  
    场追迹仿真 l"J*)P  
    5vTv$2@  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 $n= O  
    •单击go！ p jKt:R}  
    -Z%F mv8  
    n%/i:Whs  
     1^C|k(t  
    场追迹仿真（相机探测器） ?7 #7:  
    k-"<{V  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 s^w\zzYb  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 #{!O,`qD  
    (I4y[jnD  
     qZaO&"q  
    &hayR_F9  
    场追迹仿真（电磁场探测器） S5N@\ x  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 8xgJSk  
    pOMgEEhfS  
    k oM]S+1  
     R<_?W#$j  
    场追迹仿真（电磁场探测器） -vV'Lw(  
     uPkb, :6~Z  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 CtM'L   
    gN?0m4[$i  
     c3] C:t+  
     
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