切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 《杂散光抑制与评估技术》 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 光学设计与光学元件
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 现代光学设计及应用(Zemax) CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 879阅读
    • 0回复

    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    7180
    光币
    30041
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 G;msq=9|  
    ]\=M$:,RZ  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 Z+;670Z  
    OB+I.qlHP  
    JR/^Go$^  
     ^@q $c  
    建模任务 ;cZ]^kof  
    g5~1uU$O  
    '$CJZ`nt  
    概述 8+~|!)a  
    %lK]m`(  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 WB|SXto%4D  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 z:tu_5w!,  
    ZsDn`8  
     ~ @s$  
    ?37Kc,o  
    光线追迹仿真 8!dA1]2;  
    2fJ2o[v  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 -}<W|r  
    •单击go！ Z}6H529[  
    •获得了3D光线追迹结果。 \C E8S+Z%  
    N|WR^MQD  
     BB m;QOBU  
    Si%K|$?@  
    光线追迹仿真 I'RhA\`  
    9L xa?Y1  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 WAbt8{$D  
    •单击go！ ?IV3"\5  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 O!\\m0\ e  
    K1Wiiw  
     1=%\4\  
    HveOG$pT  
    场追迹仿真 DW~< 8  
    T#sKld  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 /7<l`RSr  
    •单击go！ 'Sjcm@ILm  
    Cy##+u,C  
    KC{ HX?  
     /\M3O  
    场追迹仿真（相机探测器） 9y"*H2$#  
    Rm!Iv&{  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 e|ngnkf(G  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 qS|t7*  
    sjV>&eb  
     'PrrP3lO_~  
    ,;yiV<AD  
    场追迹仿真（电磁场探测器） d^WEfH  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 q.>{d%?  
    0X3kVm <  
    J0M7f]  
     \{[Gdj`  
    场追迹仿真（电磁场探测器） aJ1<X8  
     N&t+*kF_  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 }l>0m  
    a:tCdnK/  
     (r?41?5K  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表