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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 >k=@YLj  
    :AuKQ`c  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 [-e$4^+9  
    :c )R6=v  
    tN.BI1nB  
     TOSk+2P  
    建模任务 wu{%gtx/;^  
    Qch'C0u  
    _x!/40^G  
    概述 K@osD7-  
    vt(n: Xk  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 L-q)48+^k  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 6BQq|:U  
    Dp} $q`F[  
     [,~;n@jz  
    Y1qbu~!  
    光线追迹仿真 #q&N d2y  
    Z%3)w.  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Ln\Gv/)  
    •单击go！ s6 K~I  
    •获得了3D光线追迹结果。 8zJye6f;l  
    %t:13eM  
     kqC7^x  
    !|ic{1!_  
    光线追迹仿真 +f_3JL$  
    EW]8k@&g  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 w5Ucj*A\  
    •单击go！ biQ~q $E  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 #xhl@=W;  
    5g9K|-  
     iE{VmHp=  
    YsTF10  
    场追迹仿真 :FS~T[C;  
    brF) %x`  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 poi39B/Vt  
    •单击go！ "88<{xL  
    AX )dZdd  
    '0qKb*  
     r6 pz(rCs}  
    场追迹仿真（相机探测器） =}SC .E\  
    L N'})CI8m  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 Nlm3RxSn  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ( M3-S5   
    /9-kG  
     6WLq>Jo  
    nC9x N  
    场追迹仿真（电磁场探测器） jH9.N4L  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 f2Tz5slE  
    >+ Im:fD  
    x$bCbg  
     U owbk:  
    场追迹仿真（电磁场探测器） XJ7mvLM;  
     Rd1I$| Y  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 hBW,J$B  
    Bjb8#n04  
     nh"LdHqiDB  
     
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