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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 x' >Nz{B,P  
    4QC"|<9R  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 {; #u~e(W  
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     7r;7'X5  
    建模任务 s~ ||Vv!  
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    概述 PP)iw@9j  
    w^OV;gp  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 C))5,aX  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。  ,5!&}  
    _&V%idz!0  
     K.)ionb  
    f++MH]I;  
    光线追迹仿真 /kV3[Rw+  
    [Jv0^"]  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 JjA3G`m=  
    •单击go！ mApn[)?tv  
    •获得了3D光线追迹结果。 FvYgpbEZ  
    7k,pUC-w7c  
     aF*KY<w  
    PD #9Z=Hj  
    光线追迹仿真 i7$4i|  
    W>f q 9  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 !d nCrR  
    •单击go！ er@"4R0  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 tfB}U.  
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     kw)( "SQ  
    0lpkG ="&r  
    场追迹仿真 e&~vO| 3w%  
    ?,s]5   
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 pH&*5=t}  
    •单击go！ [|iWLPO1&k  
    y8*MNw  
    J)7\k$D  
     CD^C}MB  
    场追迹仿真（相机探测器） I=aoP}_  
    &T.d"i  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 bn 7"!6  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 f3yH4r?;w  
    /my5s\;s|z  
     rU6F$I=  
    Z9 z!YaOL  
    场追迹仿真（电磁场探测器） r]q;>\T'  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 G^r`)ND  
    @JW HG1qJ  
    Ibf~gr(j  
     ,LE15},  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 5D]3I=kj  
     1G}f83yR  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 0Q7teXRM  
    7eNLs  
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