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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 )%p.v P'p  
    mlCw(i,  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 3f9J! B`n  
    zRtaO'G(  
    b%>vhj&F  
     V~ -<VM6  
    建模任务 JzH\_,,  
    9u<4Q_I`  
    WHxq-&=  
    概述 Ro :/J  
    Q: ?]:i/*  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 t{t*.{w  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 R?3^Kx  
    sxM0c  
     c]jK Y<  
    n,sl|hv2U  
    光线追迹仿真 +P,hT  
    h,B ]5Of  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Z\8TpwD2  
    •单击go！ +jD?h-]  
    •获得了3D光线追迹结果。 _U)BOE0o  
    m}w~ d /  
     J^[>F{8!n  
    Gy0zh|me  
    光线追迹仿真 vwQY_J8  
    Rb=T'x'  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 g[fCvWm#d  
    •单击go！ J =o,: 3"  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 g/ONr,l`-  
    n1K"VjZk  
     X8l[B{|  
    4L#q?]$  
    场追迹仿真 [?u iM^&  
    %lPAq  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 $h1`-=\7  
    •单击go！ 1zNH[   
    Unev[!  
    }.O,P'k  
     4$9WJ ~V{  
    场追迹仿真（相机探测器） H@0i}!U64  
    JmB7tRM8  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 n%PHHu  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 A-<\?13uW  
    xe}d&  
     i/;Ql, gm  
    ],ioY*4G  
    场追迹仿真（电磁场探测器） jSVIO v:  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 |@KW~YlE  
    I3uS?c  
    82#7TX4  
     mk?&`_X1  
    场追迹仿真（电磁场探测器） B3[;}8u>  
     ju#/ {V;D  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ~oO>6  
    8Z{&b,Y4L  
     ` MIZqHM @  
     
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