切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 光学系统设计：理论、仿真与系统检测 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 光学设计与光学元件 CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 519阅读
    • 0回复

    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    6441
    光币
    26350
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 fc^d3wH0L  
    "2 qivJ  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 E`q)vk   
    d?[8VfAnh  
    o|1_I?_  
     9!Bz)dJ 3  
    建模任务 :W[d&e  
    %bB:I1V\  
    *5" )3\/  
    概述 qc/)l~]?g{  
    <xD6}h/  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 <OGXKv@  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 97^)B4  
    \~:_ h#bW  
     VBg M7d  
    Gr|102  
    光线追迹仿真 j'LO '&sQ(  
    zRA,Yi4;+  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 6M6r&,yRu  
    •单击go！ 6 $5SS#  
    •获得了3D光线追迹结果。 %xN91j["  
    o+T, O+i  
     0PJ7o#}_{@  
    jY $3   
    光线追迹仿真 K]>X31Ho  
    n{z!L-x^b  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 K;~I ;G  
    •单击go！  tZN'OoZ  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 9y*pn|A[F  
    ?[hkh8|  
     Y'x+! &H  
    6V @ [< d  
    场追迹仿真 +`~kt4W  
    l\t<_p/I)^  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 iR{*X E   
    •单击go！ 6iJ\7  
    w*IDL0#  
    B&z~}lL  
     lm(k[]@  
    场追迹仿真（相机探测器） 9Z.W R-}  
    z 5IdYF?  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 w7Vl,pN,  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 u\}"l2 r  
    j%Z%_{6Ds*  
     !WQS.&  
    aF:|MTC(~  
    场追迹仿真（电磁场探测器） u|M_O5^  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 S0p[Kt  
    p7]V1w:  
     z-;{pPZ  
     4 JDk ()  
    场追迹仿真（电磁场探测器） *ta?7uSiT  
     P~OD d(  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 f]]UNS$AYQ  
    @LR:^>&*  
     +jGSD@32>  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表