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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 ]`MRH[{  
    AIE)q]'Q  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 eC1cE  
    ua0k)4|  
    O6`@'N>6P  
     .G^ .kg ,  
    建模任务 s~GO-v7  
    x>t:&Y M  
    _+UD>u{  
    概述 nI 6`/  
    F Hv|6zUX  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Tj>~#~  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 lVqvS/_k$  
    6Up,B=sX0  
     ~<|xS  
    2qN6{+]  
    光线追迹仿真  yXDf;`J  
    $ @^n3ZQ4  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 p<$z!|7m  
    •单击go！ N&=,)d~M  
    •获得了3D光线追迹结果。 #fa~^]EM]  
    wZ *m  
     A }dl@  
    I@[.W!w  
    光线追迹仿真 #j@Su )+  
    dLv\H&  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ; LTc4t  
    •单击go！ C[~b6 UP  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 W$,c]/u|  
    pO"V9[p]  
     5^tL#  
    27;*6/>,  
    场追迹仿真 S9mj/GpL3  
    5HmX-+XpK  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 TVKuvKH8U  
    •单击go！ a?@j`@]ZR~  
    8on2 BC2  
    c,e 0+  
     0e3 aWn  
    场追迹仿真（相机探测器） G:f]z;Xdp  
    aN.Phn:  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 Al 0zL  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 h4ZrD:D0\  
    aWW|.#L  
     A`IE8@&Z'  
    I,.>tC  
    场追迹仿真（电磁场探测器） C7,Ol0`v  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 n;4` IK|  
    AOeptv^k3}  
    7j{SCE;  
     'kPShZS$b  
    场追迹仿真（电磁场探测器） DaaLRMQ=  
     ^cd+W?  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 GtbI w  
    8{@#N:SY  
     OZ0q6"  
     
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