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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 #AncOo  
    VG#Q;Xd}  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ?~)Ak`=  
    B| Q6!  
    .3g&9WvN!Z  
     @)z*BmP  
    建模任务 WEVl9]b'e+  
    $,P\)</ VR  
    WF)s*$'uz;  
    概述 0P9Wy!f7  
    U_*3>Q  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 5bBCpNa  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 %O/d4  
    73pC  
     yiO31uQt  
    Ma_=-cD  
    光线追迹仿真 f+^c@0que  
    O0zi@2m?B  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 HPTHF  
    •单击go！ UKYupLu5  
    •获得了3D光线追迹结果。 u#VweXyU  
    Hir(6Bt  
     e/P4mc)  
    P#F_>GB  
    光线追迹仿真 1<ehV VP   
    9,KVBO  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Zx9.pFc"  
    •单击go！ 9;pzzZ  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 (NM6micc  
    vo H4  
     EaCZx  
    @LHtt/&  
    场追迹仿真 FSVS4mtiX\  
    >&[3  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ?d#Lr*m  
    •单击go！ .&L^J&V  
    9kUV1?  
    F;X"3F.!  
     rQ &S<  
    场追迹仿真（相机探测器） pB[%:w/@l:  
    =;g=GcVK  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 rEg+i@~  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 y 'mlee  
    $u&|[vcP0  
     "zXGp7Q'#  
    5UPPk$8 `  
    场追迹仿真（电磁场探测器） FBcm;cjH  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Plb}dID"  
    vB=;_=^i 1  
    $e>/?Ss  
     v?FhG b~1  
    场追迹仿真（电磁场探测器） #i@ACAgn;6  
     +tPx0>p;  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 R9bhC9NP  
    F ZM2   
     O{Dm;@J-aM  
     
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