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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 '6zZ`Ll9  
    -#I]/7^  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 eX\v;~W*  
    LB@<Q.b,U  
    ]{=y8]7  
     g:uVl;>  
    建模任务 ]O;*Y{:Y  
    :[@rA;L  
    TqJ @l  
    概述 &_3#W.w~Z  
    Nd(3q]{  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 <^nS%hXEr  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 huqtk4u  
    IWYQ67Yj   
     |}{gE=]  
    Sk EI51]  
    光线追迹仿真 gI7*zR4D  
    ln_&Ux+l  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 emQc%wd{  
    •单击go！ v RD/67  
    •获得了3D光线追迹结果。 >!5RY8+  
    v[|-`e*  
     }S iR;2W  
    Zf>:h   
    光线追迹仿真 ] 6(%tU  
    <5L99<E  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ]$#bNt/p  
    •单击go！ wHbmK  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 [+FiD  
    1Z0Qkd(  
     gjsks(x  
    wMkHx3XD  
    场追迹仿真 1E$\&*(  
    sm"Rp~[i  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ,i6U*  
    •单击go！ , $!F,c  
    7x.j:{2  
    n-K/d I  
     4Kt0}W  
    场追迹仿真（相机探测器） H6Zo|n  
    "~ =O`5V  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 WS6Qp`c )e  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 XRV~yBIS  
    0++RxYFCL  
     Y*b$^C%2  
    LV ]10v6  
    场追迹仿真（电磁场探测器） q-^{2.ftcx  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 2v(Y'f.  
    }#tbK 2[  
    xj D$i'V+  
     '=G6$O2  
    场追迹仿真（电磁场探测器） cRs\()W  
     p%iZ6H>G  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 "%Ief4  
    B4HMs$>   
     Eve,*ATI  
     
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