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摘要 %~`8F\Hiu h2g|D(u) 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 C8qA+dri
Kh<xQ:eMy
 %n-: mSus
s`W\`w} 建模任务 =e'b*KTL, n82N@z<8]  1&A @Zo5| 概述 QAYhAOS|e M)t d%<_ •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 qdoJIP{ •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 mJT< @/i;/$\
 t_HS0rxG UEL ni,$ 光线追迹仿真 cI)T@Zg_o+ _"
0VM > •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ~|+! xh •单击go！ 1:]iV}OFqR •获得了3D光线追迹结果。 Jolr"F? Ws'OJ1
 RD_IGV |_V i8Ly 光线追迹仿真 x
;V7D5 q ]Igd< •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 }HB)%C50. •单击go！ V?U->0>Z4 •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 gJn|G#! `$j"nP F_
 b|F_]i T fpbb <Ro 场追迹仿真 4:\1S ~WW G0p|44_~t •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 v'Y)~Kv@! •单击go！ Bbuy
y '51DdT U  )rJ{}U:S
ax{+7 k 场追迹仿真（相机探测器） '@1o M1 %Od?(m"& •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 :G $f)NMK •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 O>e2MT|#k ]k~k6#),;
 2_lgy?OE` \Z0-o&;w 场追迹仿真（电磁场探测器） tRU+ 6D
<w •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 3=w$1.B d zbsdK  J6Uo+0S
d L%?k@R 场追迹仿真（电磁场探测器） UJ-IK|P.#
BS<5b*wG •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 J#DYZ>}Y Og a/
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