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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 l5=ih9u  
     ^|zag  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 |c8\alw  
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    建模任务 h,B4Tg'  
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    ]Jm\k'u[  
    概述 R) :Xs .  
    @k)J i!7  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ybsw{[X>M  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 9xj }<WM  
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     aem gGw<  
    />}zB![(K  
    光线追迹仿真 DZ\ '7%c  
    i/n ee_  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 'I+M*Iy  
    •单击go！ A?lR[`'u\  
    •获得了3D光线追迹结果。 [ dVBsi  
    X<.l(9$  
     ~XP|dn}  
     !QvmzuK  
    光线追迹仿真 .tGz,z}  
    7g]mrI@  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Iox)-  
    •单击go！ 6nE/8m  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 spm)X-[1  
    ?!jJxhK<h  
     eGg6wd  
    p`A2^FS)  
    场追迹仿真 n.a2%,|v  
    %i/|}K  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ;` Xm?N  
    •单击go！ jQ'g'c!  
    z8'zH>  
    m:`M&Xs&  
     jUNt4  
    场追迹仿真（相机探测器） %L]sQq,  
    Kw;gQk~R!  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 #_S]\=N(  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 E9I08AODS  
    9O-~Ws ;  
     J^7M0A4K  
    60{DR >S  
    场追迹仿真（电磁场探测器） f42F@M(:  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 r ~UDK]?V  
    pO7OP"q1  
    'Ca;gi !U  
     CUG"2K9  
    场追迹仿真（电磁场探测器） !*~QB4\2b  
     elhP!"G  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 jlF3LK)9q  
    g9JZ#BgZ  
     9M7P|Q  
     
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