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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 q[`]D7W "  
    o-{[|/)Tk  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 Y*>#T  
    Vq5k+3W+  
    5eoska#y   
     Z&4&-RCi  
    建模任务 9XyYHi  
    iZNts%Y]  
    @}OL9Ch  
    概述 &7b|4a8B%  
    i2YuOV!  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 RIXMJ7e7  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 E4W -hq~  
    SHbtWq}T  
     Nq` C.&  
    u7[ykyV  
    光线追迹仿真 #PanfYR  
    X1Ac*oLN  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 AW_(T\P:u  
    •单击go！ S\5bmvqP"  
    •获得了3D光线追迹结果。 04'~ta(t  
    {u\Mj  
     " '6;/N  
    O QT;zqup  
    光线追迹仿真 J(%0z:exs  
    }L3oR  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 '0uh D.|G  
    •单击go！ +~roU{& o  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 C] 9 p5Hs  
    2?,EzBeal  
     M^iU;vo  
    5ish\"  
    场追迹仿真 pN9A{v(  
    }!/$M\w  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 Bj}^\Pc;}  
    •单击go！ }_;!hdY q  
    *l;B\=KR  
    t{FlB!jv  
     (v|} \?L  
    场追迹仿真（相机探测器） F;[T#N:~  
    wUQw!%?>  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ?a8(a zn  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ,^WJm?R  
    'XofD}dm  
     .YnFH$;$  
    Z]WnG'3N  
    场追迹仿真（电磁场探测器） \eb|eN0i  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 RE=+ Dz{  
    ivz>dJ?T  
    \, &co  
     C2xL1`  
    场追迹仿真（电磁场探测器） FwY&/\J7V  
     QgD g}\P  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 T?1Du"d8  
    0zCw>wBPW  
     MJCzo |w  
     
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