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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 )&[Zw{6P  
    Eyh(257  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 V;(Rg=5  
    50^CILKo7  
    asL!@YE  
     L"'L@ A|U  
    建模任务 =zRjb>  
    q9B5>Ye)  
    |k<5yj4?  
    概述 $%z M Z  
    2#Y5*r's\  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 X<uH [  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 X=[`+=  
    tg;AF<VI  
     rW[7 _4  
    I@uin|X  
    光线追迹仿真 Qy\K oo  
    Wl{wY,u  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 N#8$pE  
    •单击go！ l-q.VY2  
    •获得了3D光线追迹结果。 kYu"`_n}  
    I{7Hz{  
     t Z]b0T(e  
    _))--+cL  
    光线追迹仿真 bdyIt)tK+  
    eXQzCm  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 '_%`0p1  
    •单击go！ ^fhkWx4i  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 Y4)=D@JI  
    |c:xK{Ik  
     =~ ="#  
    to3D#9Ep  
    场追迹仿真 iYz!:TxP  
    YvPs   
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 R|K#nh  
    •单击go！ A{ Ejk|  
    i]IZ0.?Y  
    +$D~?sk  
     #6za  
    场追迹仿真（相机探测器） u =|A  
    T0lbMp  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ~ MW_=6U  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 r&D&xsbQ  
    c{cJ>d 0  
     <m+$@:cO  
    2w67 >w\  
    场追迹仿真（电磁场探测器） S<DS|qOo  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 QVQ?a&HYS  
    Hbi2amfBu  
    YJ~3eZQ  
     '>"-e'1m(  
    场追迹仿真（电磁场探测器） qY%{c-aMA  
     c!=^C/5Ee  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 i>L>3]SRr{  
    %yP*Vp,W  
     O)9{qU:[b  
     
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