1.摘要
jW}n6w5 xO`w|k 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
ja$ e) p^Kp= z
n6ETWjP HIcx "y 2. 建模任务
>&f .^p R|Z $aHQ
L~cswG'K pv~XZ(J.1 3. 干涉条纹的变化
NDm@\<MIzB SXSH9;j
Ro*$7j0!Hf yb2*K+Kv 4. 走进VirtualLab Fusion
xAMj 16ZF 5@" bx=
5r.\maW e!URj\* 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
L}ud+Wfox pM9Hav@iWU
C"PN3>x}j
S
U~vS 6. VirtualLab Fusion 技术
%f\ M61Z .^N+'g