1.摘要
'|}A/` J}|X 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
wMa8HeBE\ Q_mphW:[
*^>"
h@J g_>&R58 2. 建模任务
Kda'N$|` 6<&~R3dQ
*V>?m6y/ qs4jUm 3. 干涉条纹的变化
^WA7X9ed *ug~LK5Y.
O&!R7T CmEqo;Is 4. 走进VirtualLab Fusion
J[/WBVFDf I~,.@{4
@K;b7@4y eORXyh\K 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
Pnytox IjI'Hx
y-<.l=6A M/ S~"iD 6. VirtualLab Fusion 技术
9A|A@E# `_/bg(E