[技术]白光迈克尔逊干涉仪 [复制链接]

1.摘要 F@]9oF  
Q9yIQ{>H[  
白光干涉仪是一种非接触测量技术，用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性，结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 %Z8'h\|  
R]h3a:ic  
%O69A$Q[m  
z4qc)- {L  
2. 建模任务 ~WjK'N4n5  
bu?4$O  
2;wpD2
 
7C&J88|\  
3. 干涉条纹的变化 &KYPi'C9!z  
S-f .NC}:i  
h-f`as"d  
g@O H,h/  
4. 走进VirtualLab Fusion Cqs+ o^q  
;!+-fn4C  
"5!T-Z+F  
/szwVA  
5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 ;*G';VuT  
9+iz+  

• 输入场设置

• 基本光源模型[视频教程]

• 定义元件的位置和方向

• 光路图II：位置和方向[视频教程]

• 正确设置非序列追迹通道

• 非序列追迹的通道设置[使用案例]

• 使用“参数运行”检查影响/变化

• “参数运行文件”的使用[使用案例]

UhKd o  
'ln o#  
6. VirtualLab Fusion 技术 4;bc!> sfC  
j"A<qI