1.摘要
%W@IB8]Vr z*1K<w8 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
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i|'t!3I^m $4,6&dwg 2. 建模任务
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essW,2,rjC NWj@iyi< 3. 干涉条纹的变化
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$Bb/GXn{\ S45_-aE 4. 走进VirtualLab Fusion
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X:/t>0e t,nB`g? 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
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m,O!Mt M+:wa@Kl 6. VirtualLab Fusion 技术
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