1.摘要
*rmC3'}s ;.uYWP|9 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
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gLX<>|)* (M$0'BV0 2. 建模任务
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&N^~=y^`C' FuiR\"Ww 3. 干涉条纹的变化
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xRD+!3 bFX{|&tHU 4. 走进VirtualLab Fusion
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^wolY0p FB[b]+t`D{ 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
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ML_VD*t9 $XhMI;h 6. VirtualLab Fusion 技术
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