1.摘要
M`gr*p K!onV3mR 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
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HA::(cXL \<4Hp_2? 2. 建模任务
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X/-u$c BuIly&qbm< 3. 干涉条纹的变化
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*w_f-YoXp (&ABfm/t 4. 走进VirtualLab Fusion
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- |j4u#z 2[Q/|D}}| 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
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_/%,ZoZ2 'q9='TOk 6. VirtualLab Fusion 技术
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