1.摘要
]{^'{ z$i ^hiIMqY_{` 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
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W T~UEK' Lz6b9W 2. 建模任务
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[ICFPY6 QP>tu1B| 3. 干涉条纹的变化
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x$hhH= Z uFk}R"x 4. 走进VirtualLab Fusion
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!$n@- ] MP*5U>; 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
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3-~* aQ.QkMZ 6. VirtualLab Fusion 技术
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