1.摘要
Ob+c*@KiW ~epkRO=" 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
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f& *E;l0 %"V,V3kw4 2. 建模任务
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d|lzkY~ |zlwPi. 3. 干涉条纹的变化
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?~8V;Qn W;W\L? r 4. 走进VirtualLab Fusion
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::w%rv 35et+9 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
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WX9BS$}0 *}=W wG 6. VirtualLab Fusion 技术
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