1.摘要
ZM<UiN sG[qlzR=8 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
vv<\LN0 a|#pl!
~Fl\c- ,j\uvi(Y 2. 建模任务
* LWihal !?Y71:_!
Gm=&[?} _bg Zl 3. 干涉条纹的变化
:`"-Jf !dcvG9JZ
,# .12Q! rg]b$tL~ 4. 走进VirtualLab Fusion
b`^?nD7 Cw kQhj?
qe(C>qjMbG $= 2[Q 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
]n<Ba7Y A&%7Z^Pp
HU4h.Lm 4gdXO 6. VirtualLab Fusion 技术
l[m*csDk" t}pYSSTz