[技术]白光迈克尔逊干涉仪 [复制链接]

1.摘要 O]1aez[  
wG-lR,glb  
白光干涉仪是一种非接触测量技术，用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性，结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 qhQeQ  
K|ZB!oq  
.@kjC4m  
$xK*TJ(k  
2. 建模任务 tDj/!L`  
9sId2py]W  
!5VT[w 1  
71I: P|.>  
3. 干涉条纹的变化 )wb&kug-  
B]lM69Hz  
2zlBrjk;  
J+:gIszsWT  
4. 走进VirtualLab Fusion !\hUjM+(}  
!zR1CM  
+\yQZ{4'@  
6E))4 lW  
5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 9l&4mt;+&<  
1(`UzC=R|  

• 输入场设置

• 基本光源模型[视频教程]

• 定义元件的位置和方向

• 光路图II：位置和方向[视频教程]

• 正确设置非序列追迹通道

• 非序列追迹的通道设置[使用案例]

• 使用“参数运行”检查影响/变化

• “参数运行文件”的使用[使用案例]

tYzpL  
H\^zp5/  
6. VirtualLab Fusion 技术 L Rn)  
6p)dO c3L