切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 964阅读
    • 0回复

    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

    上一主题 下一主题
    离线小火龙果
     
    发帖
    932
    光币
    2176
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-22
    1.概述
    s?=f,I  
    "<3PyW?zt  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR Light Detection And Ranging, LIDAR)  别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 %,a.431gi  
    !-x^b.${B  
    \`{ YqOT  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 +F&w~UT  
    :Ff1Js(Z  
    itX<!  
    激光雷达的基本原理如下图: o?$D09j;;  
    V5K`TC^  
    2.1设计要求
    mY(~94{d  
    *`ji2+4Sjw  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: (8@._  
    |w6:mtaS  
    r4Pm i  
    wi:]oo#  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um D?qA aq&4  
    波长905+-5nm [>;U1Wt  
    焦距15mm M ,e_=aq  
    视场角 2w  =76 b,D+1'  
    FN  =1.4 JmWN/mx  
    后焦26mm .2!'6;K  
    总长77mm ff?:_q+.N  
    相对照度全视场>0.7且均匀 B Gh%3"q  
    畸变<8% vhTte |(  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    1`5d~>fV  
    "^zxq5u  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 YX18!OhQ  
    \W( C=e  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 a5?Rj~h!<  
    w80g) 4V+  
    |6"zIHvtc  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: 0#G&8*FMN  
    o { \cCZ"  
    ;,JCA# N  
    基本参数 477jS6^e&  
    o9<jj>R;  
    N02N w(pi  
    初始结构的像质 dW,$yH_  
    t{Q9Kv  
    畸变 ;?yd;GOt)  
    My:wA;#  
    fE|([ ` !  
    MTF G7M:LcX  
    mj%Iow.  
    .^l;3*X@  
    相对照度表格和图像 'S)}mG_  
    Q^DKKp  
    U"aFi  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 /"~CWNa  
    n$ axqvG  
    "DjD"?/b  
    固定光阑 Tr(w~et  
    * "~^k^_b}  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 %=]~5a9  
    <S6|$7{1  
     *9`@  
    添加真实材料 'X<R)E  
    X@\rg}kP  
    DKF`uRvGN:  
    qI) Yzc/  
    UKZsq5Q  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: wX<)Fj'  
    QApil  
    8qrE<RHU@  
    !n}"D:L(  
    最终结果像质 2Af1-z^^K  
    ](aXZ<,  
    畸变<8%,满足条件 5WP)na6"  
    WDP$w( M  
    wZ0$ylEX  
    54-sb~]  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 SYw>P1  
    |/Ggsfmby  
    A]WU*GL2H  
    2pQ zT  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 ';^VdR]fk  
    7Fh%jRHZ`  
    TXv3@/>ZlG  
    总结 O< v0{z09*  
    #B88w9 b`D  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜 jri=UGf  
    cE$<6&0  
    本主题包含附件,请 登录 后查看, 或者 注册 成为会员
     
    分享到