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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-22
    1.概述
    -`\n/"#X6i  
    ci+a jON  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR Light Detection And Ranging, LIDAR)  别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 yzl}!& E  
    QxbG-B^)=  
    toU<InN  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 M%$ITE  
    Myn51pczl  
    eC<?g  
    激光雷达的基本原理如下图: kZ6:= l  
    #y"LFoJn  
    2.1设计要求
    YuHXm3[  
    YIIc@ )  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: UHk)!P>  
    x1Z'_Qw  
    u^i3@JuX  
    a*&&6Fo  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um A"qDc  
    波长905+-5nm "E4CQL'U  
    焦距15mm NYKYj`K  
    视场角 2w  =76 BW3Q03SW6  
    FN  =1.4 e\-,e+  
    后焦26mm B>S>t5$  
    总长77mm e]dFNunFq0  
    相对照度全视场>0.7且均匀 +Y;hVc E9  
    畸变<8% &Cm]*$?  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    m;1/+qs0  
    GjN6Af~}  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 9; 9ge  
    dK8dC1@,X;  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 f;OB"p  
    3 _!MVT  
    =w:)AWZ  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: \"L0d1DK)  
    &U`ug"/k  
    |TQ4:P1T  
    基本参数 U 9Ea }aN  
    5G`fVsb  
    IAN={";p  
    初始结构的像质 _7qa~7?f  
    YdIZikF#  
    畸变 SXE@\Afj  
    ~4twI*f  
    G;[O~N3n.  
    MTF darbL_1  
    5:5d=7WX  
    Aeo=m}C;  
    相对照度表格和图像 >vYb'%02  
    3^$=XrD  
    $b7@S`5  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 f87XE";:A  
    bR:hu}YS  
    L8Z@Dk7Y  
    固定光阑 Y" rODk1  
    KDV.ZSF7  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 ^ZRZ0:rZ  
    jP2#w{xq  
    N>Uxq& )!  
    添加真实材料 Dbq/t^  
    X8R:9q_  
    7|_2@4-W6  
    [ gZR}E  
    Q7d@+C  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: G$QN_h,}  
    x%[NK[^&  
    FgrVXb_q  
    V\]j^$  
    最终结果像质 qHo H h  
    \1n (Jr.<  
    畸变<8%,满足条件 ]w$cqUhM  
    $<&_9T#&w  
    ]:']  
    +9pock  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 [kckE-y  
    ^Oeixi@f  
    '=\>n(%Q  
    PBFpV8P,  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 s16, *;Z  
    #Q-#7|0&  
    7sWe32  
    总结 "O|.e`C%^  
    :=5X)10  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜 !y>up+cRjl  
    Tr|PR t  
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