切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 570阅读
    • 0回复

    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

    上一主题 下一主题
    离线小火龙果
     
    发帖
    932
    光币
    2171
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-22
    1.概述
    t& *K  
    9A-=T>|of  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR Light Detection And Ranging, LIDAR)  别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 ;:%*h2  
    ,f]GOH  
    qrK\f  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 pSzO )j  
    ';\v:dP  
    BwpSw\\?@  
    激光雷达的基本原理如下图: 6^'BhHP  
    uE}A-\G  
    2.1设计要求
    Jw b'5[R  
    S%sD#0l  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: N1vPY]8  
    T08SGB]  
    v{T%`WuPRf  
    FthrI  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um |@+/R .l  
    波长905+-5nm DC-tBbQkk  
    焦距15mm }C<<l5/ z  
    视场角 2w  =76  3 cb$g  
    FN  =1.4 RdirEH *H  
    后焦26mm [T<Z?  
    总长77mm bRhc8#kw)  
    相对照度全视场>0.7且均匀 k,kr7'Q  
    畸变<8% 1c%ee$Q  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    3om_Z/k  
    k\NwH?ppu  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 [\rnJ lE  
    ]8c%)%Vi  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 W{v{sQg  
    sb3k? q  
    \%! t2=J!  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: ?uBZ"^'  
    qTA,rr#p0  
    j mH=W)  
    基本参数 I=DvP;!  
    L  (#DVF  
    68 *~5]  
    初始结构的像质 icw (y(W  
    YWXY4*G  
    畸变 ,1!~@dhs  
    W~QH"Sq  
    P#ro;3S3y  
    MTF dHUcu@,  
     !=f$ [1  
    X S&oW  
    相对照度表格和图像 w9W0j  
    '20SoVp  
    "7. lsL5  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 4L`<xX;:{  
    /KCJ)0UU  
    xyvG+K&  
    固定光阑 ))<1"7D^^  
    z/Kjz$l!  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 5{esL4k  
    nB+UxU@  
    5J1q]^  
    添加真实材料 Ug1[pONk  
    8e:\T.)M  
    uh8+Y%V p  
    .R<Ke\y/  
    (0c L! N;;  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: =ll{M{0Q]!  
    ee7{5  
    OfAh? ^R  
    [Dv6z t>  
    最终结果像质 VY#:IE:T  
    S7A[HG;  
    畸变<8%,满足条件 OSDx  
    Jm5&6=  
    Tam\,j  
    -2`D(xC  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 /;K?Y#mf~j  
    eKT'd#o2R  
    UojHlTg#bT  
    -y+u0,=p.  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 i,h)  
    >@T(^=Q  
    pEn3:.l<  
    总结 JBCJVWUt  
    "\:ZH[j  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜 NETji:d  
    +~H mP Q  
     
    分享到