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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-22
    1.概述
    WTC/mcS  
    z-kB!~r  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR Light Detection And Ranging, LIDAR)  别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 UO>S2u  
    GYri\<[  
    )-LS n  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 *3y:Wv T>  
    be&,V_F  
    L?hWH0^3  
    激光雷达的基本原理如下图: ARid   
    !2=eau^p  
    2.1设计要求
    F[oTc^dr  
    #_fL[j&  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: 8.D9OpU  
    n{.SNipU  
    X>rv{@KbL  
    ^/Frg<>'p  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um Y/n],(t)  
    波长905+-5nm \;Q:a /ur9  
    焦距15mm  f(*^zga,  
    视场角 2w  =76 ->U9u lTC  
    FN  =1.4 2NqO,B|R  
    后焦26mm iED gcg7  
    总长77mm 8>V)SAI'  
    相对照度全视场>0.7且均匀 oOy_2fwZPp  
    畸变<8% @EB2I+[  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    8|\?imOp\[  
    25jgM!QBXF  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 Ceak8#|4  
    =xsTVT;sj  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 x-=qlg&EI  
    +,ojlTVlt  
    EEO)b_(  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: S9S%7pE  
    RE75TqYW  
    *z\L  
    基本参数 si3@R?WR6*  
    #R3|nL  
    AtW<e;!0te  
    初始结构的像质 SpX6PwM  
    ygfUy  
    畸变 $n@B:kv5p  
    a/H|/CB 3  
    dgM@|&9*m  
    MTF :Z5Twb3h  
    O0 ,=@nw8.  
     q<Zza  
    相对照度表格和图像 ;B !u=_'  
    n|f Huv  
    *.F4?i2D  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 :f5"w+  
    I9;,qd%<T  
    &S+o oj  
    固定光阑 V`XtGTx  
    2io~pk>  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 %6@->c{  
    ,$<="kJk  
    (S1Co&SX  
    添加真实材料 6E@qZvQ  
    2VyJ  
    2h5L#\H"  
    YPNG9^Y  
    &pZn cm  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: ~V6wcXd  
    }MXC0Z~si  
    >crFIkOJ  
    j0+l-]F-  
    最终结果像质 - HiRXB  
    ==)q{e5  
    畸变<8%,满足条件 (N :vDq'  
    u</LgOP`-  
    _[t:Vme}v  
    tzV^.QWm  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 Ty;P`Uv]r  
    @UCr`>  
    pDV8B/{  
    |g,99YIv>  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 GP{$w_'!J0  
    pa8R;A70Dl  
    ^'ac |+  
    总结 0l+[[ZTV  
    ^^Te  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜 !$L~/<&0g  
    y0_z_S#gO  
     
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