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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-22
    1.概述
    hm0A%Js  
    ; 2V$`k  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR Light Detection And Ranging, LIDAR)  别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 `jTB9A"  
    !dh:jPpKq  
    |r)QkxdU,  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 pBv,,d`  
    T9]0/>  
    afD {w*[8  
    激光雷达的基本原理如下图: jAy2C&aP  
    (pP.*`JRv  
    2.1设计要求
    K[/L!.Ag  
    )uR_d=B&  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: K `<HZK  
    :Mh\;e  
    kw gLK@@%1  
    LayK&RwL  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um j&a\ K}U !  
    波长905+-5nm 5VQ-D`kE+  
    焦距15mm S+- $Ih`[  
    视场角 2w  =76 WQiRbbX  
    FN  =1.4 L+ XAbL)  
    后焦26mm cjO %X  
    总长77mm yJ0 %6],^g  
    相对照度全视场>0.7且均匀 ^ACrWk~UY  
    畸变<8% IO=$+c  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    Kr1Y3[iNv  
    t?PqfVSq  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 :&'jh/vRN  
    UQ7]hX9  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 U/cj_}uX  
    R4JfH  
    +TaxH;  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: )rAJ>;  
    Wq5}LO)  
    v'Ehr**]+  
    基本参数 74:~F)BP  
    ZnzO]  
    g)TZ/,NQ{  
    初始结构的像质 o~\.jQQxa  
    ='4)E6ea?  
    畸变 Z[] 8X@IPe  
    &IzNoB  
    |K{ d5\_  
    MTF 4cPZGZ{U  
    f8N* [by  
    42 lw>gzr!  
    相对照度表格和图像 2fu<s^9dh  
    V.qH&FJ=l  
    A?}[rM Z  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 C#yRop_d]o  
    bolG3Tf|  
    ;s3\Z^h4kd  
    固定光阑 I=<Qpd4  
    8Yf*vp>T/x  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 jn(!6\n"  
     8 zlvzp  
    iDl#foXa`  
    添加真实材料 'bSWJ/;p)  
    .s,04xW\  
    "-X8  
    MMpId Uhr  
    p}pd&ut1  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: _E'}8.#{  
    Q3&D A1b`  
    %g@\SR.  
    "JLE  
    最终结果像质 n^l*oEl  
    "a~r'+'<  
    畸变<8%,满足条件  4uMMf  
     ,Zb  
    Ay 4P_>^  
    z[<Na3]  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 2YY4 XHQS  
    4:a ~Wlp[  
    h%W,O,K/  
    kBrA ?   
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 fmQif]J;;  
    {6RA~  
    UF-'(  
    总结 >bQOpGy}l  
    9@q!~ur  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜 &I8DK).M+  
    D86F5HT}}  
     
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