切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 616阅读
    • 0回复

    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

    上一主题 下一主题
    离线小火龙果
     
    发帖
    932
    光币
    2171
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-22
    1.概述
    L{c q, jk  
    n..g~ $k  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR Light Detection And Ranging, LIDAR)  别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 !*OJ.W&  
    C$5[X7'  
    z0do;_x]E  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 !Xph_SQ!B=  
    l(Q?rwI8Y  
    ~^cMys |'  
    激光雷达的基本原理如下图: ki)#d' }  
    =xS+5(  
    2.1设计要求
    y  TDNNK  
    ERN>don2  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: +k>.Q0n%m  
    aT`%;i^  
    OiP!vn}k  
    k%G1i-] 4  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um Ggb5K8D*  
    波长905+-5nm NhYLt w^u  
    焦距15mm s@7H1)U  
    视场角 2w  =76 [#sz WNfU  
    FN  =1.4 nt@aYXK4|  
    后焦26mm 9tqF8pb7v  
    总长77mm Gmz6$^D   
    相对照度全视场>0.7且均匀 =*LS%WI  
    畸变<8% f@c`8L@g  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    "T- `$'9  
    s S7c!  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 VZl6t;cn  
    :*2ud(  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 9*(aU z9j  
    E)fglYWs2  
    v 7x:dcV  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: x UD-iSY  
    mOlI#5H  
    ~Onoe $A[<  
    基本参数 ziCHjqT  
    }O4^Cc6  
    TG5XSy  
    初始结构的像质 .>IhN 5  
    aUtnR<6  
    畸变 ,kn"> k9  
    @$+ecaVW  
    (#E.`e1#6  
    MTF SE~[bT  
    bAm(8nT7w  
    }B.H|*uO  
    相对照度表格和图像 x3"#POp  
    Bb"Bg\le,^  
    n .RhxgC<  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 8zR~d%pK  
    i?F >+  
    ^:Gie  
    固定光阑 fOMW"myQ  
    AlIpsJ[UU  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 M%0C_=zg  
    ~7zGI\= P@  
    Sh8"F@P8  
    添加真实材料 d $Pab*  
    '4#}e[e  
    hBX!iukT|{  
    lh;:M -b9  
    <"r#:Wr  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: N D2L_!g:(  
    #: [<iSk  
    Q{lpKe0  
    HI11Jl}{  
    最终结果像质 `p;I}  
    m-*hygkcDu  
    畸变<8%,满足条件 wGP;Vbk  
    8 {X"h#  
    !GNBDRr  
    ] A+?EE2/  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 PJL=$gBgKk  
    { >)#HD  
    } =]M2}  
    jm Fz51  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 x-?Sn' m  
    ^*Yh@4\{JH  
    1jF`5k  
    总结 VQS~\:1  
    Q{5kxw1ZF  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜 ~"kb7Fxp  
    h9G RI  
     
    分享到