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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-22
    1.概述
    "IFg RaP=  
    "^Rv#  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR Light Detection And Ranging, LIDAR)  别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 m Ni2b*k  
    $a(`ve|  
    8lP6-VA  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 M0w/wt|  
    xu\eXx6H  
    pRi<cO  
    激光雷达的基本原理如下图: @i LIU}+  
    e2w&&B-  
    2.1设计要求
    Lm6**v  
    aG{$Ic  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: =&vFVIhWcf  
    .H~YI  
    "2{%JFE  
    .L EY=j!-s  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um O{]9hm(tN  
    波长905+-5nm x({C(Q'O  
    焦距15mm <9eu1^g  
    视场角 2w  =76 41V e}%  
    FN  =1.4 2SG$LIV 9Y  
    后焦26mm +Qj(B@ i  
    总长77mm )9L/sKz  
    相对照度全视场>0.7且均匀 O!&,5Dy  
    畸变<8% )T|L,Lp  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    rv7{Ow_Y  
    uQ/h'v  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 :50b8  
    yI3kvh  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 GF$`BGW  
    FN^FvQ  
    ynwG\V  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: :iUF7P1I  
    #07!-)Gv  
    d~9!,6XM  
    基本参数 Vba.uKNjk  
    UE"GJt`I  
    ae+*=,  
    初始结构的像质 $}o b,i^W  
    -{jdn%Y7CK  
    畸变 F]+~x/!  
    y2|R.EU\m<  
    R 9 4^4I  
    MTF ?cy4&]s  
    ~nY]o"8D  
    z rfUQO  
    相对照度表格和图像 mUoIJ3fv_,  
    s60 TxB  
    Y.6SOu5$]  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 ~bK9R 0|<  
    |> enp>  
    g(4bBa9y  
    固定光阑 7'lZg<z{~j  
    r@G#[.*A>  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 [1yq{n=  
    8|^CK|m6*  
    ]9 w76Z  
    添加真实材料 \cJa;WM>  
    Rl~T$ Ey  
    3'`dFY,  
    *%5{'  
    |CFRJN-J"  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: F7*wQ{~  
    Kg\R+i@#<  
    7:E!b=o#  
    <%?#AVU[  
    最终结果像质 yV_wDeAz  
    TFQ!7'xk)  
    畸变<8%,满足条件 j]rz] k  
    IH *s8tPc  
    Cfu=u *u  
    V^s0fWa  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 qQ]]~F  
    }f}}A=  
    V9NTs8LKc  
    i5}4(sV  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件  t+uE  
    8+Llx  
    ,F6=b/eZ  
    总结 !^c@shLN4  
    !~i' -4]  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜 Wi. 5Y{  
    bC!`@/  
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