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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-22
    1.概述
    JB].ht  
    0 }qlZFB  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR Light Detection And Ranging, LIDAR)  别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 L@/IyQ[H1  
    AoOA.t6RVo  
    '2i !RT-  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 v*qbzW`  
    uSRhIKy  
    (xN1?qXB.  
    激光雷达的基本原理如下图:  .gmS1ju  
    0+$gR~^^  
    2.1设计要求
    Eyjsbj8  
    K0_gMi+bR  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: GF8wKx#J  
    [:#K_EI5%  
    -y$6gCRY  
    P_NF;v5 v  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um c`p '5qz  
    波长905+-5nm :>;F4gGVG  
    焦距15mm ;Su-Y!&%  
    视场角 2w  =76 ^iJyo&I  
    FN  =1.4 ^d{5GK'  
    后焦26mm wiZ  
    总长77mm pv sa?z;rP  
    相对照度全视场>0.7且均匀 prN+{N8YC  
    畸变<8% Vc;[0iB  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    =t)qy5  
    ,0,FzxX0!  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 ;*<R~HJt  
    [8IO0lul+  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 ^7gKs2M  
    (@5`beEd  
    r>FwJm!  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: >8k Xa.)84  
    E5)0YYjHZ  
    l#1#3F  
    基本参数 -yc YQ~R  
    uf#h~;B  
    kt)Et  
    初始结构的像质 `3i>e<m~  
    F c5t,P  
    畸变 0>7Ij7\[8  
     jK]1X8  
    )V2W:M  
    MTF 4xmJQ>/  
    `}#rcDK  
    C&H'?0Y@  
    相对照度表格和图像 reh{jMC  
    .cQO?UKK  
    %eg+ .  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 jBYv Oy*$Q  
    U?:P7YWy  
    zU ~ Ff"<  
    固定光阑 7GsKD=bl]  
     )^{}ov  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 'Tjvq%ks   
    Lo!hyQ)  
    M['O`^  
    添加真实材料 e !jy6 t  
    s{'Sl{-Eu  
    { sC Ni  
    G5/A {1sz&  
    /ki-Tha  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: u7hu8U=  
    "x=\mA#`  
    K9k!P8Rd  
    ~h3G}EH  
    最终结果像质 ErK1j  
    :,JaOn'  
    畸变<8%,满足条件 bKCE;Wu:G  
    PO"lY'W.U  
    YJ6~P   
    W"vLCHTh  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 49QsT5b)  
    z:#]P0  
    M<w.q|P  
    JK =A=  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 ]64}Xob87_  
    Mc@9ivwL#  
    z.cDbkf}  
    总结 O0qG 6a  
    x'`{#bKD  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜 Z2$_9.  
    ~o^|>]  
     
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