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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-22
    1.概述
    Ol h{<~Fv  
     \G)F*  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR Light Detection And Ranging, LIDAR)  别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 %QGw`E   
    Q(q&(/  
    _/%,cYVc8!  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 -r3 s{HO  
    djw\%00&#  
    %yjD<2J;  
    激光雷达的基本原理如下图: L@zhbWY  
    dkDPze9l  
    2.1设计要求
    D `V.gV]  
    U1lqg?KO  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: ;b1B*B  
    Z_S{$D  
    ,=[% #gS  
    Ks6\lpr  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um aH @-"Wi  
    波长905+-5nm H|wP8uQC  
    焦距15mm H=f| X<8  
    视场角 2w  =76 `=,emP&(H&  
    FN  =1.4 vlEW{B;)Z  
    后焦26mm Fzt?M  
    总长77mm <m1v+cnqo  
    相对照度全视场>0.7且均匀 W-&V:S{<  
    畸变<8% 0x]?rd+q8Q  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    ).(y#zJ7P  
    ]cmX f  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 bJD$!*r\%!  
     |Nj6RB7  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 3/Z>W|w#w  
    'x"(OdM:[  
    fG$LqzyqlK  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: Qs59IZ  
    6j6;lNUc  
    m9i/rK_  
    基本参数 Pgy[\t2K  
    yrfV&C%=n  
    2E!~RjxSY  
    初始结构的像质 '/@wk#,  
    fHH  
    畸变 6(4d3}F  
    ,J!$Q0e  
    HDZl;=  
    MTF { $yju_[  
    2xX:Q'\2  
    u{\'/c7G  
    相对照度表格和图像 ,#&7+e!]>P  
    GbL1<P$V  
    ) =29Hm"  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 A( vdlj  
    }b&S3?ONt  
    X~JP 1  
    固定光阑 hdrsa}{g  
    }58MDpOF1  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 [x>Ju&))$  
    |llJ%JhF  
    )rG4Nga5}  
    添加真实材料 KAFR.h:p9  
    d,JDfG)  
    xHJkzI  
    DyGls8<\!  
    ` K {k0_{  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: tZKw(<am  
    /YF:WKr2  
    N~mr@rXC  
    {o)pwM"@(  
    最终结果像质 Q^rR}Ws  
    TxP +?1t  
    畸变<8%,满足条件 % |D)%|Z  
    8iJB'#''*  
    <TRhnz  
    p .=9[`  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 'Uf?-t*LT@  
    &gY) x{  
    sEdz`F  
    $%cc[[/U  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 qVE0[ve  
    <d H@e  
    `/P/2{,~  
    总结 ^1bslCe   
    p#ar`-vQ  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜 gK[;"R)4o@  
    ~&73f7  
     
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