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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-22
    1.概述
    {} Bf   
    TM8 =U-A  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR 或 Light Detection And Ranging, LIDAR)  区别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 `+#G+Vu5  
    f,z P*  
    O,<IGO  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 ~O 3D[PNW~  
    +f0~D(d!_  
    ]hud4i~  
    激光雷达的基本原理如下图: ?k[p<Uo  
    F/1#l@qN  
    2.1设计要求
    eh*6cQ.0  
    _al|'obomy  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: rtQHWRUn  
    Kd3?I5t  
    :y2p@#l#  
    1ZJQs6  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um =TP( UJ  
    波长905+-5nm (]*H[)F/  
    焦距15mm q@hp.(V  
    视场角 2w  =76 0lM{l?  
    FN  =1.4 ?4G|+yby  
    后焦26mm L5IbExjV  
    总长77mm g`k?AM\  
    相对照度全视场>0.7且均匀 m6 s7F/  
    畸变<8% : t$l.+B  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    ~Cc.cce5  
    ]=73-ywn]  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 ?@6/Alk  
    ~^)^q8  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 RQW6N??C  
    ?yXAu0  
    +~nzii3  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: RE3Z%;'  
    G+*cpn  
    K:y^OAZfV  
    基本参数 $!A:5jech  
    DZ ^1s~  
    m+$ @'TbP  
    初始结构的像质 jY!ZkQsVe  
    Uf*EJ1Ei  
    畸变 T:asm1BC[  
    1U\$iy8}  
    Aw!gSf)  
    MTF UFn8kBk  
    N?4q  
    ]r]k-GZ$  
    相对照度表格和图像 [LM^), J?  
    smAC,-6 ]~  
    FdOFE.l  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 ^b?2N/m@  
    S(eQ{rSs  
    IF k  
    固定光阑 B`#h{)[  
     ZC^C  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 \[wCp*;1}  
    cX2^wu  
    MN;/*t  
    添加真实材料 7_KhV  
    ~bA,GfSn0  
    \Mx JH[  
    {GqXP0'  
    s0LA^2U  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: D>T],3U(H  
    YwT-T,oD  
    }3/~x  
    &b C}3D  
    最终结果像质 ]Nk!4"  
    17UK1Jx,  
    畸变<8%,满足条件 )xl6,bq3  
    L0h G  
    Db03Nk>#  
    E%k7wM {  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 o#i ]"  
    Ns~&sE:  
    +/'<z  
    KHj6Tg;)  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 ML!9:vz  
    nTnRGf\T  
    \gKdD S  
    总结 _3^y|_!  
    pz}mF D&[  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜。 XdIah<F2  
    b 6W#SpCF  
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