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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-07-22
    1.概述
    4e|(= W`  
    zhACNz4tJ  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR 或 Light Detection And Ranging, LIDAR)  区别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 G4f%=Z  
    =I)Ex)  
    *C^`+*}OE$  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 iM{aRFL  
    -s6;IoG/  
    uo^tND4a;j  
    激光雷达的基本原理如下图: x#tP)5n?s*  
    [PU0!W;  
    2.1设计要求
    G^w:c]  
    `S/;S<';  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: x):h|/B  
    }{)>aJ  
    H:L<gv(rG  
    6\/(TW&  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um (wEaw|Zx  
    波长905+-5nm  f(*^zga,  
    焦距15mm f.u+({"ql  
    视场角 2w  =76 ;jT@eBJ  
    FN  =1.4 E#+|.0*!s  
    后焦26mm gA DF  
    总长77mm Lc13PTz>>g  
    相对照度全视场>0.7且均匀 Nc[u?-  
    畸变<8% ns !Mqcm  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    d} ]jw4  
    l=t$ XWh!  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 M!b"c4|<  
    8u#2M8.5E  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 !qVnziE,,  
    R9lb<`  
    ;_= +h,n  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: 7 a_99? J  
    I> z0)pB  
    5Qgh\4  
    基本参数 W%^;:YQ9i  
    0:4w@"Q  
    Oi4tG&q  
    初始结构的像质 "~/O>.p  
    :B]yreg  
    畸变 'z3I*[!  
    Eh&HN-&  
     q<Zza  
    MTF O4fl$egQU  
    xnD"LK  
    whvvc2  
    相对照度表格和图像 "Z*u2_ H  
    $^j#z^7  
    X[KHI1@w  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 Ov PTgiI!N  
    ae|j#!~oi  
    %T'<vw0  
    固定光阑 Rk@xv;t;  
    79O'S du@  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 8xN+LL'T{  
    e.jbFSnA  
    TQg~I/  
    添加真实材料 TdWatvY5p  
    D>efr8Qd@  
    k]9v${Ke  
    !omf>CW;ud  
    #:LI,t  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: "8sB,$  
    C6{\^kG^j2  
    r`GA5 }M  
    M=Cl|  
    最终结果像质 ,37\8y?o\  
    KoKd.%  
    畸变<8%,满足条件 G  Ps//  
    '$\O*e'  
    /@QPJ~%8Ud  
    ni`uO<\U  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 f*46,` x  
    J_rb3  
    @\s*f7  
    @K=C`N_22  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 FH7h?!|t  
    ,Vr-E  
    C 5 xsh  
    总结 mfCp@1;26  
    'K*. ?M  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜。 hxe X6  
    *9O@DF&*6  
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