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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-07-22
    1.概述
    9W7H",wR  
    |^@TA=_  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR Light Detection And Ranging, LIDAR)  别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 Kc\0-3 Z  
    $y >J=  
    R16" lG  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 e:.Xs  
    p<6pmW3  
    }qXi;u))  
    激光雷达的基本原理如下图: 4//Ww6W:  
    0:nQGX!N  
    2.1设计要求
    v1zJr6ra9  
    {N;XjV1x  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: ?P`]^#  
    ZWVcCa 3  
    +Mv0X%(N  
    n|L.d BAs]  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um f.'o4HSj  
    波长905+-5nm $X-,6*  
    焦距15mm G#CWl),=  
    视场角 2w  =76 W~Mj6c~S"  
    FN  =1.4 qx53,^2  
    后焦26mm nS'0i&<{1  
    总长77mm -i @!{ ?  
    相对照度全视场>0.7且均匀 mrd(\&EhA  
    畸变<8% ( {zp$P}  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    $K8ZxH1z@  
    y)#Ib*?  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 })bTQj7  
    +|( eP_  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 )kgy L,9  
    it>FG9hVo  
    C `knFGb  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: 1/w['d4l!  
    } "y{d@  
    6z=:x+m  
    基本参数 I%*o7"  
    l= !KZaH  
    w},k~5U^s  
    初始结构的像质 D@d/O  
    %qfEFhRC  
    畸变 |n~,$  
    G*Z4~-E4*  
    {n%F^ky+7  
    MTF ]rHdG^0uss  
    cKK 1$x  
    pU`Q[HOs  
    相对照度表格和图像 )+mbR_@,O6  
    UTmX"Li  
    uj;-HN)6  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 o $p*C  
    "o}3i!2Qr  
    (D{9~^EO>a  
    固定光阑 YJXh|@LT  
    `Nu3s<O7CF  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 ,uE WnZ"4  
    0ltq~K  
    -Vt*(L  
    添加真实材料 ,p>=WX  
    9)T;.O  
    A^ t[PKM"  
    R^fVw Dl\  
    (+bk +0  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: 0j4bu}@  
    hq$:62NYg  
    [ZOo%"M_Y  
    Ry[VEn>C1  
    最终结果像质 JyYg)f  
    RP z0WP  
    畸变<8%,满足条件 !}Cd_tj6  
    K )1K ]  
    KS1Z&~4  
    [|xHXcW  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 0b~5i-zM/  
    6 }qNH29  
    Nx;U]O6A  
    xhj A!\DS  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 6#KRI%adw`  
    $ ;~G  
    qA#!3<  
    总结 4U~[ 8U}g  
    *>9#a0cp  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜 =MRg  
    Pc`d@q  
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