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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-07-22
    1.概述
     E0!d c  
    ,sitOy}ks  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR Light Detection And Ranging, LIDAR)  别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 3)WfBvG  
    Ph yIea  
    T\9[PX<  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 N**)8(  
    LDQ,SS,  
     26p[x'W  
    激光雷达的基本原理如下图: YZ>L_$:q  
    UOb` @#  
    2.1设计要求
    #G#gc`S-,  
    8&U Mmbgy  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: ?z>J7 }w*=  
    lJ;Wi  
    sJZ2e6?n  
    rfk{$g  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um t*hy"e{*a  
    波长905+-5nm !=eNr<:V.  
    焦距15mm ]In7%Qb  
    视场角 2w  =76 'Q=;I  
    FN  =1.4 - VJx)g  
    后焦26mm 3O,nNt;L{  
    总长77mm {wC*61@1  
    相对照度全视场>0.7且均匀 opH!sa@U  
    畸变<8% @ eJ8wf]  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    ?9t4>xKn  
    ;qaPK2 a8  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 m\qeYI6,Z  
    F `7 v  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 8xENzTR  
    <\O+  
    >e {1e  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: Bf*>q*%B{  
    fHd[8{;P:  
    0Fb ];:a  
    基本参数 OTF/Pu$  
    '4uu@?!dVk  
    u9~5U9]O%6  
    初始结构的像质 \96\!7$@O  
    US$$ADq  
    畸变 y@!M<#SEzG  
    _Z(t**Zh6y  
    Wh i#Ii~  
    MTF k\[(;9sf.  
    !p+54w\ 2  
    u{DEOhtI4  
    相对照度表格和图像 k&ooV4#f6  
     U${W3Ra  
    y.A3hV%6b  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 7 0?iZIK _  
    e ymv/  
    Kn:Ml4[;  
    固定光阑 3q73L<f  
    J'Pyn  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 l L;5*@  
    |^l_F1+w  
    mcQL>7ts  
    添加真实材料 l(NQk> w  
    ^:-GPr  
    3tZIL  
    iv>MIdIm  
    3`cA!ZVQ  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: I6 ?(@,  
    k^Qf |  
    %]Z4b;W[Y  
    gl+d0<R zw  
    最终结果像质 K\2{SjL:B  
    rD=D.1_   
    畸变<8%,满足条件 14 & KE3`  
    GS>[A b+  
    Jx5`0?  
    jn5xYKv  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 yIL=jzm`7  
    upuN$4m&{  
    0 cycnOd  
    &MSU<S?1  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 hiS|&5#  
    WrGA7&!+  
    5VV}wR  
    总结 0:v !'  
    Oin9lg-jR  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜 es*$/A  
    |@AXW   
     
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