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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-07-22
    1.概述
    PQ`~qM:3st  
    8j&LU,  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR Light Detection And Ranging, LIDAR)  别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 )|i]"8I  
    H7R6Ljd?&S  
    W*NK-F[  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 p |xMXoa`  
    OLgW .j:Ag  
    4l"oq"uc  
    激光雷达的基本原理如下图: %DF-;M"8  
     N'e3<  
    2.1设计要求
    $56Z/*  
    !&8HA   
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: 9~C$C  
    j= Ebk;6p  
    !S}4b   
    *[O)VkL\%i  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um |c5r&oM&m  
    波长905+-5nm uf&Ke k,  
    焦距15mm Z{J{6j  
    视场角 2w  =76 uS,XQy2  
    FN  =1.4 p$OkWSi~  
    后焦26mm )M(-EDL>Qk  
    总长77mm ]&RC<imq  
    相对照度全视场>0.7且均匀 O!#bM< *  
    畸变<8% mtg3}etA  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    %Ut7%obpi  
    2n8spLZYGY  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 ;p4|M  
    0h",.  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 bB`p-1  
    f)/5%W7n}  
    exQU  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: 1'>wrGr  
    b )mU9   
    r @ IyK%  
    基本参数 ct#3*]  
    :#=XT9  
    Pn[R.u(l  
    初始结构的像质 <; (pol|  
    ?$&iVN^UA  
    畸变 r.T!R6v}  
    [ym ynr3M  
    l;C00ZBOc  
    MTF bx&?EUx+b  
    .Q^8 _'ZG  
    {"x8 q  
    相对照度表格和图像 K_X10/#b&  
    }b5If7  
    Z} Ld!Byz  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 {x#I&ra  
    3Bk_4n  
    ya^zlj\`0e  
    固定光阑 HMymoh$Q  
    Fs,#d%4@%  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 p#eai  
    Anu`F%OzB  
    +jPs0?}s  
    添加真实材料 eJ3w}"?9s  
    ' *6S0zt  
    w`")^KXi  
    ~Kr_[X:d5  
    D[5Qd)PIL  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: nA#FGfZ{Ge  
    wNX2*   
    n%J {Tcn6  
    Ur/+nL{  
    最终结果像质 KkJK5dZo  
    `Z 3p( G  
    畸变<8%,满足条件 gISG<!+X^  
    Qg\{d)X[N  
    ; n)9  
    \<bar ~  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件  gh{Z=_  
    '%2q'LqSA  
    dfss_}R  
    [Pnk@jIk4  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 ?7Y6: zo$^  
    O~1vX9  
    B?c n5  
    总结 #@#/M)  
    2!u4nxZ.  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜 <oc"!c;T  
    M+akD  
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