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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-07-22
    1.概述
    bJ6C7-w:wa  
    y|0/;SjV  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR Light Detection And Ranging, LIDAR)  别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 P&[&Dj  
    8sI$  
    0/!0W%f[}  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 jyyig%  
    ^PJN$BJx  
    d9jD?HgM(  
    激光雷达的基本原理如下图: 5efN5Kt  
    `0_ Y| 4KB  
    2.1设计要求
    %yfl-c(u  
    K/}x'*=  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: # &5.   
    LLzxCMc9*  
    3'A0{(b  
    H{9P=l  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um 6;!)^b  
    波长905+-5nm -U9C{q?h  
    焦距15mm ~FXq%-J  
    视场角 2w  =76 R/E6n &R  
    FN  =1.4 d, ?GW  
    后焦26mm _"t>72 `  
    总长77mm L+@X]O W8  
    相对照度全视场>0.7且均匀  nsV=  
    畸变<8% eFA,xzp  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    p__N6a  
    <*u^8lCA  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 Kf$(7FT'`  
    (LXYx<  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 N6+^}2' *)  
    6<5:m:KE  
    4 540Lw'A  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: 6 A#xFPYY{  
    1Q9Hs(s  
    +NvpYz  
    基本参数 xA-?pLt "G  
    7D'D7=Z.  
    k w   
    初始结构的像质 ` ` Yk  
    Ar?ZUASJ  
    畸变 cQBc6eAi  
    O%F*i2I:+k  
    ~MYE8xrId  
    MTF sD{Wc%5  
    ,D<U PtPQ  
    0mmHN`<  
    相对照度表格和图像 NNE(jJ`/  
    UH\{:@GjNO  
    Pq(LW(  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 ^~bd AO81  
    Lg#(?tMp,'  
    7 &%#bMnw  
    固定光阑 vW?/:  
    R1%J6wZq  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 \"Z\Af<  
    V3a6QcG  
    !g=b=YK  
    添加真实材料 V+l7W  
    mV4gw'.;7  
    &0%B3  
    Vw`Q:qo0:b  
    OP-{76vE&b  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: W_3BL]^=  
    Odhr=Hs  
    a+a6P5kJ  
    b+hN\/*]  
    最终结果像质 UK,sMKbl1  
    nvNF~)mu  
    畸变<8%,满足条件 HPt\ BK  
    e#3RT8u#  
    1cRF0MI  
    7-u'x[=m  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 Eelv i5  
    n'JS-  
    W@'*G*f  
    -:J<JX)o  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 3=} P l,  
    T,vh=UF%]  
    FCKyKn  
    总结 KHJ wCv  
    [/ertB  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜 tXZMr   
    3MKu!  
     
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