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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-07-22
    1.概述
    m)LI| v  
    Aix6O=K6  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR 或 Light Detection And Ranging, LIDAR)  区别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 S>>wf:\ c  
    qpMcVJL  
    hv?T}E  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。  '6})L  
    iE}] E  
    .k-6LR  
    激光雷达的基本原理如下图: `U b*rOMu  
    x=IZ0@p  
    2.1设计要求
    jf-XVk5q  
    @HiGc^ X(  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: 2Wu`Dp;&l  
    nu7 R  
    $8i`h}AM  
    h`n '{s  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um `^,E4Qy  
    波长905+-5nm j7MUA#6$  
    焦距15mm 8nu!5 3  
    视场角 2w  =76 H la?\  
    FN  =1.4 Zs{7km  
    后焦26mm K#N9N@WjR  
    总长77mm 6r`N\ :18  
    相对照度全视场>0.7且均匀 rAAx]nQ@  
    畸变<8% \O4s0*gw  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    {hJCn*m_   
    *;9H\%  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 6u#eLs  
    l"(PP3  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 YPGzI]\  
    k(pJVez  
    " acI:cl?,  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: bL`\l!qQx;  
    [uHU[ sG  
    ]Q ]y*  
    基本参数 gm2|`^Xq$  
    Jz>P[LcB  
    .%{B=_7  
    初始结构的像质 D4@?>ek6U  
    |" WL   
    畸变 0?8>{!I  
    l[IL~  
    0RtZTCGO  
    MTF T)sIV5bk  
    /KWdIP#  
    iAQ[;M 3p  
    相对照度表格和图像 vR:#g;mnk  
    2,q*8=?{6P  
    &"JC8  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 \fEG5/s}T  
    Zs79,*o+0M  
    nvf5a-C+q  
    固定光阑  mjP  
    5I2 h(Td  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 lAM)X&}0  
    hBX.GFnw  
    VD7-;  
    添加真实材料 8|{ZcW  
    I+;e#v,%U  
    8 <;.[l  
    `Wjq$*  
    ;"Qq/ knVL  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: QxLrpM"O  
    }wn|2K'  
    Zf}2c8Vc4  
    53:u6bb;  
    最终结果像质 F/lL1nTdK  
    USN'-Ah  
    畸变<8%,满足条件 jZqa+nG51  
    Qx E%C  
    9 c9$cnQ  
    @H$am  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 `Zo5!"'  
    #aC&!Rei{  
    c^1JSGv  
    ~s4JGV~R  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 eWm'eO  
    !gLJBp  
    /];N1  
    总结 j -o  
    ~h8k4eM  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜。 hr.mzQd  
    I:=!,4S;  
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