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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-07-22
    1.概述
    [bVP2j  
    T.dO0$,Q@$  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR Light Detection And Ranging, LIDAR)  别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 5j 01Mx A  
    M#2U'jy  
    g]Ny?61  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 Sf:lN4  
    _1%^ ibn  
    =YsTF T  
    激光雷达的基本原理如下图: d~$t{46  
    5|t&qUV  
    2.1设计要求
    z2zp c^i  
    qr;" K?NX  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: *,*5sV  
    xEWa<P#.u  
    e|9Bzli{  
    /VZU3p<~  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um sgsMlZ3/  
    波长905+-5nm U}Fk%Jj  
    焦距15mm <Y6>L};  
    视场角 2w  =76 'Em($A (  
    FN  =1.4 },ZL8l{  
    后焦26mm NVPYv#uK  
    总长77mm 5X-{|r3q  
    相对照度全视场>0.7且均匀 V1qHl5"  
    畸变<8% Jev.o]|_,  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    t\0JNi$2  
    o>%W7@Pr  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 LEa:{s<:  
    m&8_i`%<  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 2*FZ@?X@r  
    '|r !yAO6  
    *~X\c Z  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: 46`{mPd{aO  
    Wd<}|?R  
    (<-0UR]%q;  
    基本参数 `-2`UGB-  
    K)Ka"H  
    mL+ps x+  
    初始结构的像质 3Mt6iZW  
    |u=57II#xK  
    畸变 dGN*K}5  
    A;PV,2|X  
    h2K  
    MTF $]86w8?-N  
    ]~,'[gWb  
    dksnW!  
    相对照度表格和图像 tzPe*|m<  
    07&S^ X^/  
    S8t9Ms: k  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 J{I?t~u  
    _uacpN/<|  
    3]A'C&  
    固定光阑 <jjaqDSmz  
    W'yICt(#G  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 ZN/")  
    nMqU6X>P!  
    ~C3-E %h@Z  
    添加真实材料 elQ44)TrQ  
    B{<6 &bQ  
    QBg'VV  
    cA,xf@itp  
    gUl Z cb  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: Pc-HQU  
    JM0)x}] +  
    r\?*?sL  
    eyOAG4QTV  
    最终结果像质 yuWrU<Kw  
    Gl(,%~F9i  
    畸变<8%,满足条件 iZF{9@  
    7UfyOOFa  
    &0myA_So  
    5NK:94&JE  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 =Vfj#WL  
    H.e@w3+h  
    [iz  
    D!CGbP(  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 BL7%MvDQ  
    wlJ_, wA  
    <=lP6B  
    总结 v~SN2,h  
    :Li)]qN.I  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜 i?]!8Ji  
    1'iRx,  
     
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