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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-07-22
    1.概述
    L8h3kT  
    'z"vk  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR Light Detection And Ranging, LIDAR)  别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 ]!{S2x&"  
    0 MK}  
    u?`{s88_mF  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 :1*E5pX0n  
    l{dsm1#W~  
    Ljm`KE\Q;t  
    激光雷达的基本原理如下图: T-a>k.}y  
    xA Ez1  
    2.1设计要求
    ~x,_A>a  
     b M1\z  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: F9o7=5WAb  
    C~pas~  
    dB_0B .  
    Q[#}Oh6$  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um cOV9g)7^O  
    波长905+-5nm X+]>pA  
    焦距15mm wmGcXBHt$  
    视场角 2w  =76 */M`KPW  
    FN  =1.4 e El)wZ,A  
    后焦26mm MMFg{8  
    总长77mm 0beP7}$  
    相对照度全视场>0.7且均匀 X=#us7W}  
    畸变<8% |)!f".`  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    N5*Q nb8  
    yIKpyyC9H  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 33DP?nI}  
    9s"st\u 4  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 T9V=#+8#"  
    ! eZls  
    ni2#20L  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: /8e}c`  
     "M5  
    o`c+eMwr(  
    基本参数 ~g=& wT11  
    Br9j)1;  
    =T9h7c R  
    初始结构的像质 #sc!H4  
    kaCN^yQ  
    畸变 '* y(F*7+  
    l }/_(*  
    `*vO8v  
    MTF P#hRqETw  
    "6'",  
    @6G)(NGD  
    相对照度表格和图像 M v (Pp  
    {KHI(*r;  
    i-wRwl4aEF  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 veq3t$sj  
    7=Muq]j2  
    -E|"?  
    固定光阑 O z0-cM8t  
    /#Pm'i>B  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 89:nF#  
    `'s_5Ek  
    vSnVq>-q&  
    添加真实材料 A.r7 ks  
    68z#9}  
    }3: mn  
    /=;,lC  
    `$ f`55e  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: anW['!T9{s  
    hOB<6Tm[  
    |/K| Vwa  
    fsjLD|?|:  
    最终结果像质 +1T>Ob;hk  
    )(G<(eiD  
    畸变<8%,满足条件 @]n8*n  
    L!xFhVA<  
    #k9&OS?  
    :'bZ:J>f  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 7310'wc  
    >;Hx<FKxP  
    bWA_a]G  
    A>gZl)c  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 (5jKUQ8Q>  
    x,^-a  
     s;bGg  
    总结 UUfM 7gq  
    bji#ID2]%  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜 /rZk^/'  
    u;9iuc` *  
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