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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-07-22
    1.概述
    6?<lS.s  
    Jk&!(YK&  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR Light Detection And Ranging, LIDAR)  别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 rnhLv$  
    : q%1Vi  
    u_9c>  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 uZrp ^  
    >L4F'#I  
    Y8v[kuo7  
    激光雷达的基本原理如下图: _!DH/?aU  
    i) X~L4gn  
    2.1设计要求
    Il&7n_ H  
    ^$lZ  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: M`'DD-Q  
    M3@qhEf?vk  
    ]7W!f 2@  
    {O y|c  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um sZ&|omN  
    波长905+-5nm V^[&4  
    焦距15mm l_:P |  
    视场角 2w  =76 mKO~`Wq%@  
    FN  =1.4 r.#r!.6 q  
    后焦26mm *.>@  
    总长77mm <af# C2`B  
    相对照度全视场>0.7且均匀 -sJD:G,%  
    畸变<8% s a o&  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    7JQ4*RM  
    K\U`gTGc  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 9Q s5e  
    *,lDo9  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 *m<[ sS  
    ]9w)0iH  
    _p0Yhju?  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: \z!lw  
    e3CFW_p  
    L$OZ]  
    基本参数 N^[ F+y  
    Bv@p9 ] n  
    )Wq1 af   
    初始结构的像质 ~"`e9Im  
    c{y'&3\  
    畸变 %pjeA[-m#  
    F=e;[uK\  
    j`.&4.7+  
    MTF g*oX`K.  
    0$Rn|yqf%  
    &57~i=A 3  
    相对照度表格和图像 GZrN,M  
    A)n_ST0  
    A ~vx,|I  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 "]]LQb$  
    i&6U5Va,G  
    TM#L.xPMf  
    固定光阑 |Ol29C$@|  
    1 PdG1'  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 :~"m yn,  
    >^g2 Tg:  
    J{\Uw].|0  
    添加真实材料 GV1Ol^  
    Iga +8k  
    56s%Qlgx  
    RA<ky*^dr  
    =L#&`s@)_  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: oA-,>:}g{  
    $)ka1L"N  
    |-S!)iG1V  
    _w?!Mu  
    最终结果像质 )HE{`yiLL  
    Sq,>^|v4&e  
    畸变<8%,满足条件 s1cu5eCt  
    7M~/ q.  
    }W 5ks-L6  
    DQW)^j h  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 Qm3F=*)d  
    Iv  
    -( p%+`  
    3^ UoK  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 tTTHQ7o*BD  
    e'$[PF  
    dcmf~+T  
    总结 zL+t&P[\  
    'q:7PkN!p  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜 &UnhYG{A  
    v+{{j|x=  
     
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