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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-07-22
    1.概述
    |n &6z  
    ss2:8up 99  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR Light Detection And Ranging, LIDAR)  别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 Y|lMa?\E  
    %Bo Jt-v  
    P 2Eyqd8  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 dvj`%?=  
    O>>8%=5Q  
    A=3 U4L  
    激光雷达的基本原理如下图: W.CIyGK  
    9%dNktt  
    2.1设计要求
    . }1!MK5  
    )i>KYg w  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: eeX>SL5'i  
    ,#m\W8j  
    7:;V[/  
    O ,;SA  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um {M$8V~8D  
    波长905+-5nm oyd{}$71d  
    焦距15mm bIhL!Ty T.  
    视场角 2w  =76 lk'RWy"pw  
    FN  =1.4 & 3a+6!L[  
    后焦26mm SVHtv0Nx  
    总长77mm s6 ^JgdW  
    相对照度全视场>0.7且均匀 bC{~/ JP  
    畸变<8% u J$"2<O  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    z(=:J_N  
    8L@di  Y  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 Ylf4q/-  
    WV% KoM,%  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 Xgm7>=l  
    8 , =$>@u  
    )2A4vU-IR.  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: prWid3}  
    -/</7I  
    N$+"zJmw&  
    基本参数 t>[r88v  
    ibq@0CR  
     96BMJE'  
    初始结构的像质 /IC' R"V a  
    WAEKvM4*i0  
    畸变 o?3R HP47  
    q}!4b'z^  
    3,[2-obmi  
    MTF 7PMZt$n  
    PX'LN  
    U!5@$Fu  
    相对照度表格和图像 76m[o  
    :U 9R 1^}A  
    |); >wV"  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 = `^jz}  
    t'J fiGM  
    !2Orklzd1  
    固定光阑 QJ>>&`{ ,  
    piP8ObGjy  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 |}`5< a!6U  
     g{%';  
    )~/U+,  
    添加真实材料 lm|`Lh-  
    ]VvJ1Xn0  
    8syo_sC |  
    |(S W  
    R+K[/AA  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: I?K0bs+6  
    ZwMw g t  
    <}%ir,8  
    xeI{i{8  
    最终结果像质 ZYA(Bg^  
    "7HB3?2>W  
    畸变<8%,满足条件 }$-VI\96  
    {9Y'v  
    ng*%1;P  
    L,6Y=?  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 OL rD4 e  
    z'lNO| nU  
    >-P0wowL  
    zqh{=&Tjx  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 qj&)w9RLJE  
    G)&'8W F5o  
    W(aRO  
    总结 ZhsZy wM  
    g1~I*!p  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜 PlZ iTP  
    yr>bL"!CA  
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