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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-22
    1.概述
    veE8 N~0N.  
    8@Km@o]?  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR Light Detection And Ranging, LIDAR)  别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 \S2'3SD d/  
    >"nk}@  
    ;NPb  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 4Y/!V[  
    {k]VT4/  
    ,!py n<_  
    激光雷达的基本原理如下图: O 1X !  
    ta 4<d)nB  
    2.1设计要求
    *AN#D?X_  
    u})JQ<|  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: WK^qYfq|  
    Ua3ERBX{  
    " 7 4L  
    XF$C)id2p  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um u1kbWbHu(  
    波长905+-5nm  JuI,wA  
    焦距15mm ";. 3+z  
    视场角 2w  =76 Fu><lN7  
    FN  =1.4 wLbns qa  
    后焦26mm WL~`L!_. A  
    总长77mm 6a!X`%N=  
    相对照度全视场>0.7且均匀 d16 PY_  
    畸变<8% Te/)[I'Tn  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    s`2o\]  
    Z n!SHj  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 ljCgIfZ_4  
    n(+:l'#HJ  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 [6tQv<}^  
    #,;k>2j0  
    i xyjl[G  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: ;Os3 !  
    w {q YP  
    !14z4]b  
    基本参数 5-QXvw(TH  
    tpctz~ .  
    !1_:nD  
    初始结构的像质 G#*;3X$  
    ;vx9xs?6  
    畸变 _ Owz%  
    >JMKEHl.q  
    &Hqu`A/^  
    MTF Sq'z<}o  
    l]Sui_+ZU  
    hg~fFj3ST  
    相对照度表格和图像 gs3}rW  
    $} Myj'`r  
    \4[Ta,;t  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 HKwGaCj`  
    FRW.  
    $9~1s/('  
    固定光阑 Y4O L 82Y  
    ;a`X|N9  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 :KLD~k7yA(  
    @6SSk=9_S  
    BTyVfq sx  
    添加真实材料 YB|9k)Z2[  
    L9@jmh*E  
    Ah`dt8t  
    ccSSa u5N  
    DvCt^O*  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: g]#Wve  
    7w*&Yg]  
    kR ]SxG9  
    \YS?}! 0  
    最终结果像质 1c!},O  
    +q$|6?  
    畸变<8%,满足条件 O)R0,OPb  
    `^kST><  
    ULjzhy+(8  
    $EIkk= z  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 $5r,Q{;$  
    fna>>  
    jxaoQeac  
    ;>9pJ72r  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 eZi<C}z  
    : 4WbDeR  
    Tt|6N*b'  
    总结 ]w>fnew  
    ,be?GAq  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜 @ `D6F;R  
    8A.7=C' z  
     
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