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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-22
    1.概述
    x,IU]YW@  
    N}nU\e6 Y  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR Light Detection And Ranging, LIDAR)  别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 9=@j]g|  
    #9O *@  
    " jn@S-  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 EAxg>}'1j  
    ~6.AE/ow  
    8Fx~i#FT  
    激光雷达的基本原理如下图: pA3j@w  
    vi@a87w>  
    2.1设计要求
    w_@N T}  
    P~redX=t@  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: ]0by6hQ  
    WRZi^B8 @  
    }cgEC-  
    WqqrfzlM  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um MHVqRYz  
    波长905+-5nm cKh{ s  
    焦距15mm 'P32G?1C&p  
    视场角 2w  =76 l -_voOP  
    FN  =1.4 VF!?B>  
    后焦26mm ncb?iJ/b^  
    总长77mm . l RW  
    相对照度全视场>0.7且均匀 6g8{;6x  
    畸变<8% zCL/^^#  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    |4YDvDEJi  
    gC;y>YGP  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 !jMa%;/  
    m46Q%hwV  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 AR`X2m '  
    C/"fS#<  
    );}k@w fw)  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: L{bcmo\U  
    ~-GgVi*I  
    c 6}d{B[  
    基本参数 ?,%vndI  
    ~l}rYi>g%  
    15r,_Gp8  
    初始结构的像质 :g2?)Er-  
    ( Z\OqG  
    畸变 N6cf`xye  
    {#: js  
    9bl&\Ykt.  
    MTF '{\VO U  
    T2Z;)e$m_  
    i]Lt8DiRq  
    相对照度表格和图像 VxLq,$B76  
    I7 pxi$8f  
    :1q+[T/ @  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 :HYqm*v;W  
    h/5n+*x(  
    ,E3"Ai sI  
    固定光阑 .UakO,"z  
    SWD v\Vr  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 VmF?8Vi4  
    Ym(^i h  
    UA!h[+Z  
    添加真实材料 jRm:9`.Q  
    4wX{N   
    N $M#3Y;  
    /gL(40  
    a~Sf~ka  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: F}DdErd!f  
    bENfEOf,  
    BXO(B'1)]  
    v$K`C;  
    最终结果像质 pB@8b$8(Z  
    PYkcGtVa_  
    畸变<8%,满足条件 ; @ h{-@  
    5UVQ48aT  
    n }7DL8  
    SGZOfTcY  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 _ YWw7q  
    mAhtC*  
    3uwu}aw  
    miCt)Qd  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 WiH%URFB  
    ik+qx~+`Qv  
    n <6}  
    总结 X, <&#l  
    ZO2u[HSO>  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜 =%znY`0b56  
    ;o,t *  
     
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