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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-22
    1.概述
    ma}}Sn)Q  
    Ku3!*n_\  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR Light Detection And Ranging, LIDAR)  别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 w)S;J,Hv  
    Rlw9$/D!Z  
    ) YSh D  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 Mr6E/7g%  
    s!h5hwBY  
    L+Pc<U)T+  
    激光雷达的基本原理如下图: R!{7OkC  
    A9BxwQU#  
    2.1设计要求
    GqjO>v fy  
    Tkrx7C s(  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: #J+\DhDEPO  
    J1-):3A  
    X^in};&d  
    U5 rxt^  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um v+tO$QZ`  
    波长905+-5nm +)-d_K.(k  
    焦距15mm a!.!2a&t  
    视场角 2w  =76 o5#,\Y[ g  
    FN  =1.4 f-vK}'Z`,  
    后焦26mm }W "(c YN_  
    总长77mm *?Wtj  
    相对照度全视场>0.7且均匀 , ;'SVe%  
    畸变<8% EHWv3sR-  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    x_ySf!ih  
    A*Q[k 9B  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 -q(:%;  
    JfKg_&hM  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 5}SXYA}  
    -ddOh<U>  
    "4[<]pq  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: n49s3|#)G  
    6 ZHv,e`?  
    NhtEW0xCr  
    基本参数 w?;b7i  
    u.&|CF-  
    a&:>Ped"  
    初始结构的像质 (q k5f`O  
    14u^[M" U  
    畸变 y(a}IM3~  
    -t b;igv  
    'X ~Ab  
    MTF 3AP YO  
    </hR!Sb]  
    7`+UB>8  
    相对照度表格和图像 C!kbZTO[p"  
    HtS#_y%(  
    .6I%64m  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 8"pA9Mr  
    `NoCH[$!+  
    x[a'(5PwY  
    固定光阑 'w `d$c/p  
    0, "ZV}  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 jM;d>Gymx  
    OMxxI6h  
    ;>'SV~F  
    添加真实材料 s3y}Yg  
    @s?oJpo  
    SFOQM*H  
    tdb4?^.s  
    7Fc |  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: l85CJ+rg  
    @hBx, `H^  
    *ig5Q(b*N  
    ~EPjZ3 ?  
    最终结果像质 ;p.j  
    &,Uc>L%m  
    畸变<8%,满足条件 > d)|r  
    `oan,wq+  
    >0ssza  
    Zm5nLxM  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 g<;Nio  
    ir"* iL=  
    "%Lmgy:~  
    :hi$}xHa  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 )8\Z=uC  
    X^9t  
    jeyaT^F(   
    总结 Z|f^nH#-C  
    X{4xm,B/  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜 _GRv   
    WJP`0f3  
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