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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-22
    1.概述
     }q$6^y  
    m2{DLw".  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR Light Detection And Ranging, LIDAR)  别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 `/e EdqT  
    B,x ohT  
    >$/<~j]  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 5YV3pFz$)  
    Bd++G'FZ  
    "e-RV  
    激光雷达的基本原理如下图: og?>Q i Tr  
    *ku}.n  
    2.1设计要求
    tz^2?wO  
    :cE6-Fv  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: T A9Kg=_  
    $~;h}I  
    ~dtS  
    Xn%ty@8  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um ;h"St0   
    波长905+-5nm )%zOq:{\5  
    焦距15mm  fOUW{s  
    视场角 2w  =76 4Ou5Vp&y  
    FN  =1.4 Y[R;UJE`5  
    后焦26mm .%"s| D  
    总长77mm <i$ud&D  
    相对照度全视场>0.7且均匀 /19ZyQw9  
    畸变<8% fep8hf B;  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    o0)k5P~<~  
    AE@N:a  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 US'rhSV  
    />dH\KvN  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 f\vy5''  
    !7>~=n_,L.  
    = }!4%.$  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: |=rb#z&  
    $&ZN%o3  
    +oRBSAg-  
    基本参数 05ZF>`g*  
    C[JGt 9{Y  
    P$H9  
    初始结构的像质 W1\F-:4L@  
    A dL>?SG%  
    畸变 U{Xx)l/o  
    @s % !R  
    ,3,(/%=k  
    MTF [B1h0IR  
    RQ*oTsq  
    JU`5K}H<  
    相对照度表格和图像 5<77o|  
    sMDHg  
    *1b1phh0/  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 iebnQf  
    ]b&O#D9  
    v2KK%Qy  
    固定光阑 ZD#{h J-  
    I=c}6  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 !g2 ~|G  
    B 4RP~^  
    ;a9`z+ K  
    添加真实材料 m IYM+2p  
    HlgkW&}c^  
    #,jw! HO]  
    Z~6PrM-M  
    aTi,gJ;*  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: @A1Ohl  
    j= vlsW  
    w(cl,W/w  
    bPMkBm  
    最终结果像质 Rdj/n :  
    P~9y}7Q\0  
    畸变<8%,满足条件 *U:0c ;h  
    |S.;']t+  
    BW{&A&j  
    h/xV;oj  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 ?Vo/mtbY5X  
    0UN65JBuD  
    :&\^r=D  
    4&}dA^F  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 D&/~lhyNZ  
    ,cwjieM  
    4H@K?b`  
    总结 o`%;*tx  
    5169E*  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜 ^hyp}WN  
    PsOu:`=r  
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