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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-22
    1.概述
    4W>DW`{  
    v8-szW).  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR 或 Light Detection And Ranging, LIDAR)  区别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 Kj0)/Fjl+  
    }%KQrlbHJl  
    &tOo[U?  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 GVT 6cR  
    6Emn@Mn=  
    -n:2US<  
    激光雷达的基本原理如下图: Yte*$cJ=  
    !d##q)D f?  
    2.1设计要求
    Qe~C}j%  
    51}C`j|V3{  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: (F'~K,0  
    wW TuEM  
    @#wG)TA  
    _3 !s{  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um 8h ol4'B  
    波长905+-5nm r%: :q^b3  
    焦距15mm v0'z''KM!  
    视场角 2w  =76 |f}wOkl  
    FN  =1.4 +^:uPW^U  
    后焦26mm bP:u`!p -i  
    总长77mm eI|FrBq%  
    相对照度全视场>0.7且均匀 >u%Bn \G  
    畸变<8% K%9!1'  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    ;zqxDl_  
    qA}l[:F+#  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 T c-fO /0  
    d/NjY[`5+  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 _WV13pnRu  
    #~Kno@  
    5P*jGOg.  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: YloE4PAY7  
    aeMj4|{\  
    , -])[u  
    基本参数 ZrYRLg  
    dsEvpa$?  
    )m-(-I  
    初始结构的像质 *h?*RUQ  
    |$8N*7UD  
    畸变 C B;j[.  
    lyowH{.N"3  
    Z'AjeZyyE  
    MTF m%U=:u7#M  
    }lk9|U#6*`  
    UXa%$gwFw  
    相对照度表格和图像 i [/1AI  
    ; {m;CKHI  
    jxK `ShW=  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 QIwO _[Q  
    p E1uD4lLb  
    8pmWw?  
    固定光阑 H1 ev W  
    lfoPFJ Z  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 Y(JZP\Tf_N  
    j1JdG<n  
    ,[n=PJVw/  
    添加真实材料 lz).=N}m  
    CyS.GdyP  
    gYL#} )g  
    X/!Y mV !  
    +C$wkx]  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: f]+. i-c=  
    UuJ gB)  
    *XXa 9z  
    Ob'[W;p)[w  
    最终结果像质 ]:6IW:  
    C-2#-{<  
    畸变<8%,满足条件 gZ (\/m8Z  
    Dk~ JH9#  
    `yXHb  
    K>+c2;t;  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 QswFISch  
    X)Rh&ui  
    3k+46Wp  
    f <DqA/$  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 l%cE o`U  
    c"'JMq  
    ( Q k*B  
    总结 Jpe\  
    =sXk,I;  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜。 gdBH\K(\  
    oFJx8XU  
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