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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-22
    1.概述
    p lK=D#)  
    tC2N >C[N  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR Light Detection And Ranging, LIDAR)  别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 d4%dIR)  
    >[a FOA  
    Q4X7Iu:  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 4_tR9w"  
    1xz\=HOT  
    9ftN8Svw  
    激光雷达的基本原理如下图: _WKJ<dB<  
    B]1HS`*7  
    2.1设计要求
    Yrpxy.1=F5  
    hL0]R,t;'  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: wa" uFW  
    &ik$L!iX  
    M:_!w[NiLp  
    5^>n5u/  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um ):krJ+-/y  
    波长905+-5nm i`+B4I8[  
    焦距15mm Tj`yJ!0  
    视场角 2w  =76 ` K w7"  
    FN  =1.4 _vL<h$vD  
    后焦26mm ?yp0$r/  
    总长77mm *wwhZe4V  
    相对照度全视场>0.7且均匀 ^ |aNG`|O  
    畸变<8% ]c}=5m/  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    @F?=a*s"!  
    MD<-w|#8IV  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 J^fm~P>.  
    uArR\k(  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 k,rWa  
    Y;,Hzmbs6w  
    ~Eq\DK  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: ('t kZt%8  
    j5\$[-';  
    Ib1e#M3  
    基本参数 n>P! u71  
    |z~LzSJv  
    ^Gq5ig1rxy  
    初始结构的像质 J3G7zu8  
    ^YKy9zkTl  
    畸变 cn%2OP:L^  
    uUG*0Lj  
    Y X*0?S  
    MTF F6W}mMZH/N  
    m"Qq{p|'  
    bD<qNqX$  
    相对照度表格和图像 yG&2UqX  
    8Mu;U3cIW  
    : ,p||_G&  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 B!bsTvX  
    HR60   
    "}b'E#  
    固定光阑 1zjaR4Tf  
    %jEY 3q  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 K;U39ofW  
    EA|k5W*b  
    K)S;:MLG=  
    添加真实材料 ? } (=  
    2yKz-"E  
    5j{Np,K  
    j$x)pB3]  
    g{>^`JtP  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: n|i"S`  
    nxaT.uFd1  
    by86zX  
    ?t rV72D  
    最终结果像质 uLN[*D  
    hVP IHQt  
    畸变<8%,满足条件 #tjmWGo,  
    59*M"1['Q  
    <\@ 1Zz@ms  
    KWhZ +i`  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 Ht[{ryTxu  
    7>i2OBkAhB  
    9<s4yZF@x  
    ~p*1:ij  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 ;=jr0\|e  
    G> \T bx  
    )%Ru#}1X6  
    总结 4 tXSYHd3  
    lKKERO5+  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜 |}[nH>  
    XM~~y~j  
     
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