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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-22
    1.概述
    HFBGM\R02  
    D Y($  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR Light Detection And Ranging, LIDAR)  别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 UXoaUW L  
    I@a7AuOw  
    f3s0.G#l  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 /yyed{q  
    _wKFT>  
    R>Fie5?  
    激光雷达的基本原理如下图: 3Ec5:Caz  
    /s(/6~D|  
    2.1设计要求
    oL#^=vid"  
    4QdY"s( n  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: Yva^JB  
    XQ--8G  
    ,:G.V  
    R~CQ=KQ.  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um I)V2cOrXM  
    波长905+-5nm :#"gQ^YNp  
    焦距15mm |:`f#H  
    视场角 2w  =76 -]R7[5C:  
    FN  =1.4 HQK%Y2S  
    后焦26mm FD*`$.e3\  
    总长77mm q/Ba#?sen  
    相对照度全视场>0.7且均匀 P49lE  
    畸变<8% +?[TH?2c+  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    JSt%L|}Y  
    #tKc!]m  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 7qV_QZ!.  
    rv1kIc5Za<  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 |! i3Y=X  
    K!"[,=u_  
    FJKt5}`8  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: 3_B .W  
    EQ8jxr<p  
    abuHu'73  
    基本参数 yJc<;Qx  
    Vc$x?=  
    Hu|NS{Ke-  
    初始结构的像质 2[LT!TT  
    OljUK,I]  
    畸变 E:T<mI?d  
    9 bYoWw  
    ^q_0(Vf  
    MTF r5Jy( ~  
    WmP"u7I4  
    kB_GL>fc  
    相对照度表格和图像 BhLYLlXPY  
    k'&BAC.K,  
    SfyZ,0  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 }H!c9Y  
    DbP!wU lqR  
    8n?qm96  
    固定光阑 Dr$k6kZ}'U  
    _N$3c<dY'  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 dE^:-t  
    {*ATY+  
    SN(:\|f 2  
    添加真实材料 ZK1d3  
    /+.Bc(`  
    #Z)e]4{!l  
    RZ:Yu  
    3h aYb`  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: C$SuFL(pb  
    rQ(Aj  
    v{$X2z_$w  
    oS0l Tf\  
    最终结果像质  U2  
    wUW^ O  
    畸变<8%,满足条件 ]@vX4G/  
    rE;*MqYt&  
    _?M34&.X  
    NE,2jeZQ.  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 9cp-Rw<tI  
    >N62t9Ll[  
    %%)"W n#`  
    ~ P"@^cq  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 ~m8".Z"  
    ?OW 4J0B'  
    a\ fG)Fqp  
    总结 j uG?kL.  
    Yrs7F.Y"  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜 ,7KP  
    /W1!mih  
     
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