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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-22
    1.概述
    B=bI'S8\  
    1R%`i '$/  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR Light Detection And Ranging, LIDAR)  别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 {dA ~#fW<  
    )g:,_1s)|  
    N 3yB1_   
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 EKd3$(^   
    a!y,!EB+Qu  
    Wj j2J8B  
    激光雷达的基本原理如下图: ,Q=)$ `%  
    9X$#x90  
    2.1设计要求
    Ym.l@(  
    -iDEh_pts  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: n *i'vtQ8  
    T$^>Fiz{Se  
    q$?7 ~*M;x  
    -j`!(IJ  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um Ls>u` hG  
    波长905+-5nm myWmU0z/  
    焦距15mm i$JG^6,O  
    视场角 2w  =76 R=amKLD?  
    FN  =1.4 b4)*<Zp`  
    后焦26mm 45)ogg2  
    总长77mm [%84L@:h  
    相对照度全视场>0.7且均匀 v*H &F   
    畸变<8% s"=F^#  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    9Z0CF~Y5  
    'lN*Ys iDi  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 1t[;`iZ  
    ]]uzl0LH  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 Z6R: rq  
    c BHL,  
    '9 *|N=  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: +% XhQ  
    d{2 y/  
    YBtq0c  
    基本参数 J+@MzkpK  
    3|K=%jr[  
    O2q=gYX>\  
    初始结构的像质 MvZ+n  
    fVH*dX'Jz  
    畸变 /lr1hW~Dbk  
    Txt%nzIu  
    bB;~,W&E1  
    MTF N75 3  
    GJC!0{8;  
    T2 :oWjC3$  
    相对照度表格和图像 L}}=yh6r  
    rL%]S&M9  
    FDF3zzP0  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 "ep`  
    $u; >hk  
    bkr~13S{+  
    固定光阑 `Di ^6UK(  
    S,*{q(   
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 !2zo]v4?  
    }uF[Ra  
    sf |oNOz  
    添加真实材料 | rE!  
    q+A<g(Xu  
    ),cQUB  
    dGbU{#"3s  
    v8=?HUDd  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: SY%A"bC  
    +cz"`T`X 2  
    KTG:I@|C  
    Ws-6W!Ib%  
    最终结果像质 ;cv.f>Cm  
    (NH8AS<  
    畸变<8%,满足条件 IL~]m?'V(  
    M82.khm~jM  
    `zdH1p^w  
    7?6xPKQ)H  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 %`xV'2H  
    %f3c7\=C  
    |av*!i5Q  
    On#;)35M  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 `Y\gSUhzS  
    ]b4pI*:$I  
    S~+O` y^  
    总结 %04:z77  
    BZovtm3 E  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜 .:w#&yM [U  
    )l`1)Ea~  
     
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