切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 1256阅读
    • 0回复

    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

    上一主题 下一主题
    离线小火龙果
     
    发帖
    943
    光币
    2176
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-22
    1.概述
    tTamFL6  
    =Bx~'RYl1d  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR Light Detection And Ranging, LIDAR)  别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 :AGQkJb  
    l!'iLq"K(  
    ~'mhC46d  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 |th )Q  
    !!>G{  
    7NEn+OI4  
    激光雷达的基本原理如下图: __npX_4%S  
    !IU*Ayg  
    2.1设计要求
    =,]M$M  
    -lEh}r  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: N`MQHQ1  
    ~`.%n7  
    Ca|;8ggf  
    Xs_y!l  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um )YnN9"8  
    波长905+-5nm AG2jl/  
    焦距15mm T]`" Xl8  
    视场角 2w  =76 u>#'Y+7  
    FN  =1.4 M?lr#} d  
    后焦26mm fOAb?:D  
    总长77mm [8#l~ |U  
    相对照度全视场>0.7且均匀 Bw[VK7  
    畸变<8% +=4b5*+qG  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    2ra4t]f6  
    Nx'j+>bz>y  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 471}'3  
    i YkNtqn/  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 *1Q?~  
    *fZ'#C~x  
    2t<CAKBB  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: ww,'n{_  
    g> f394j  
    KW\`&ki  
    基本参数 YR2/`9s\QJ  
    F_`Gs8- VH  
    _45"Z}Zx  
    初始结构的像质 J%'|IwA  
    u#<]>EtbB  
    畸变 !WXSrICX[  
    fmh]Y/UC  
    62) F  
    MTF cxV3Vrx@A  
    PR0]:t)E  
    gqd#rjtfz  
    相对照度表格和图像 ?fG Y,<c  
    Zh*I0m   
    rcCM x"L=  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 %o>1$f]  
    -[z;y73]t  
    2cL<`  
    固定光阑 '4EJ_Vhztc  
    p{Uro!J,K  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 Wp $\>  
    W;7cF8fu4  
    eo !{rs@f  
    添加真实材料 r.[kD"l  
    E@p9vf->  
    <pCZ+Yv E"  
    TD<.:ul]  
    7o3f5"z  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: I~,*Rgv/Z  
    P$Nwf,d2u  
    8I%1 `V  
    >U z3F7nHi  
    最终结果像质 0t8-oui  
    HzV3O-Qz]  
    畸变<8%,满足条件 *=rl<?tX  
    idHBz*3~ps  
    SyI#Q[f'_  
    yd $y\pN=<  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 1jR<H$aS  
    W>.qGK|l  
    ^VD14V3  
    *`[LsG]ZF  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 K=V)"v5o3  
    OvkYzI`  
    kAMt8  
    总结 yo5|~"yZY  
    b$hQB090  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜 ?(Nls.c  
    5=eGiF;0\  
    本主题包含附件,请 登录 后查看, 或者 注册 成为会员
     
    分享到