切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 811阅读
    • 0回复

    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

    上一主题 下一主题
    离线小火龙果
     
    发帖
    932
    光币
    2176
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-22
    1.概述
    /H=fK  
    c xdhG"  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR Light Detection And Ranging, LIDAR)  别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 ]BU,*YaB  
    O^I~d{M 5I  
    /_?E0 r  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 L=Q- r[  
    y@J]busU  
    12aAO|]/~  
    激光雷达的基本原理如下图: MI|DOp  
    Xd>4n7nb$`  
    2.1设计要求
    Y'-BKZv!  
     B&#TbKp  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: Dg/&m*Yl  
    X~Uvh8O  
    nbMnqkNb  
    FGBPhH% (8  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um ; )O)\__"-  
    波长905+-5nm JQ'NFl9<  
    焦距15mm Lw?4xerLsb  
    视场角 2w  =76 C<2vuZD  
    FN  =1.4 r80w{[S$  
    后焦26mm oJR0sbikP  
    总长77mm ,IxAt&kN  
    相对照度全视场>0.7且均匀 XQ--8G  
    畸变<8% R~CQ=KQ.  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    _(3VzI'G  
    \szx.IZT  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 b4!(~"b.  
    P49lE  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 bgqN&J)Jr)  
    `&b 8wF  
    41mg:xW(J  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: X3#|9  
    )?joF)  
    x"K<@mR5G  
    基本参数 %YM4x!6  
    "2}04b|"  
    1bF aQ50t  
    初始结构的像质 '0GCaL*Sd  
    `MlQPLH  
    畸变 &Hb6  
    cP`f\\c  
    m:d P,  
    MTF ~tn*y4uK  
    v#@"Evh7  
    )&+j#:  
    相对照度表格和图像 e3"GC_*#  
    q|b#=Af]g  
    eZIqyw  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 _,"T;i  
    v{$X2z_$w  
    n@XI$>B  
    固定光阑 4Pe%*WTX  
    bdZ[`uMD  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 %/"I.\%d  
    ri1D*CS  
    ~ P"@^cq  
    添加真实材料 ^90';ACFy  
    O`Er*-O  
    NQz*P.q  
    Gole7I  
    d00#;R  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: 'i;1n  
    DDQ}&`s  
    3)88B"E  
    H )hO/1 m  
    最终结果像质 U$v|c%6  
    rR]U Ff  
    畸变<8%,满足条件 S "'0l S   
    O 7RIcU  
    3 9to5 s,  
    0`c|ZzY  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 k-IL%+U  
    ?C)a0>L  
    (rqc_ZU5  
    [ )3rc}:1  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 eyW8?:  
    EyR~VKbJ'  
    g>G+?PY  
    总结 "Vh3hnS~  
    Y`F)UwKK  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜 `#HtVI  
    fF6bEJl3  
     
    分享到