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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-22
    1.概述
    0Ti>PR5M  
    ZVek`Cc2  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR Light Detection And Ranging, LIDAR)  别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 I:aG(8Bi)H  
    I"=XM   
    \;A\ vQ[  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 BOp&s>hI  
    $wn "+wX  
    Zb7:qe<UN  
    激光雷达的基本原理如下图: jP";ll|c  
    qqYH}%0dz  
    2.1设计要求
    ynN[N(m#  
    b#C"rTw  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: =>CrZ23B "  
    ^$y_~z3o#7  
    Ucnit^,  
    HiG&`:P>q  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um P( W8XC  
    波长905+-5nm rkl/5z??  
    焦距15mm _dEf@==  
    视场角 2w  =76 A4?_ 0:<  
    FN  =1.4 ~>)GW  
    后焦26mm O"mU#3?  
    总长77mm LV 94i  
    相对照度全视场>0.7且均匀 ;.h5; `&  
    畸变<8% 3;`93TO{  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    .n`MPx'  
    -K/' }I  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 m-a _<xo  
    x9HA^Rj4-  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 !+H=e>Y6  
    :OBggb#?!  
    p$@=N6)I.k  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: 6#5@d^a  
    /7h%sCX  
    s/Wg^(&M  
    基本参数 zq]V6.]J  
    h3xX26l  
    1)NX;CN  
    初始结构的像质 @Cm"lv.hz  
    # dxlU/*  
    畸变 &^9>h/-XT  
    'eqvK|Uj:  
    Zk}e?Grc  
    MTF ld[]f*RuW  
    yZFv pw|g  
    mXF pGo5 s  
    相对照度表格和图像 ;wprHXjq  
    aM.l+D P  
    qg6Hk:^r  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 n]coqJ  
    =GM!M@~,Ab  
    60AX2-sdJ,  
    固定光阑 `U`Z9q5-  
    YQX>)'  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 &"C1XM  
    /yrR f;}<O  
    dt3Vy*zL  
    添加真实材料 r?/>t1Z  
    .FHOOw1r=  
    2#W%--  
    +S%@/q  
    N'm:V  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: ) _2!1  
    gYzKUX@  
    ;co{bk|rj  
    $X*$,CCIB  
    最终结果像质 e$>5GM  
    nI_Zk.R  
    畸变<8%,满足条件 x=au.@psBS  
    [sNn^x  
    sCRBKCR?  
    ={L:q8v)  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 Y @.JW  
    )If[pw@j  
    @fE^w^K7  
    6o1.?t?  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 +Qc^A  
    T. ` %1S  
    (J^ Tss  
    总结 !&'xkw`  
    $yFur[97C  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜 M;43F*   
    swLgdk{8n  
     
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