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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-22
    1.概述
    z|(<Co8#.  
    tk:G6Bkid  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR Light Detection And Ranging, LIDAR)  别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 <w?k<%( 4  
    M}=>~TA@  
    ''z]o#=^9  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 Cj YI *  
    h2?\A%  
    Ahr  
    激光雷达的基本原理如下图: uy<b5.!-  
    GE !p  
    2.1设计要求
    t/3qD7L  
    G)o:R iq  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: W!+=`[Ff  
    l%2 gM7WMY  
    {*  w _*  
    7$IR^  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um 5as5{"l  
    波长905+-5nm GR 1%(,  
    焦距15mm (eHTXk*V`  
    视场角 2w  =76 'UuHyC2Ha3  
    FN  =1.4 .>1Y-NM  
    后焦26mm ]kO|kIs  
    总长77mm >8$Lqj^i  
    相对照度全视场>0.7且均匀 Q=#FvsF#z3  
    畸变<8% % ;a B#:p6  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    s={IKU&m[  
    8{6`?qst@  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 @_ UI;*V  
    _({wJ$aYC  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 7>AM zNj  
    u?'J1\z  
    by,3A  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: e ]{=#  
    )Z\Zw~L  
    ln6=XDu  
    基本参数 QpS7 nGev  
    s E;2;2u"  
    \pP1k.~UnC  
    初始结构的像质 tOo\s&j  
    }2Y`Lr  
    畸变 pA_e{P/  
    ? Y luX  
    ,zZ@QW5  
    MTF ,&Vir)S  
    'X ?Iho  
    /1Ss |.  
    相对照度表格和图像 ZQ-6n1O  
    cu)B!#<!&  
    K;>9K'n  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 Fw#1?/K~  
    E[BM0.#bZ  
    lB!M;2^)X  
    固定光阑 W[>qiYf^b  
    )lJi7 ^,  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 d\8j!F^=  
    Rh)%;  
    8m[o*E.4F  
    添加真实材料 4i<GqG  
    Kb'4W-&u!  
    S9'Xsh  
    Mf7 [@#$  
    *uKYrs [  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: @twi<U_  
    !"'6$"U\K  
    |C0!mU  
    EZT 8^m  
    最终结果像质 9 aKU}y  
    J5z\e@?.0\  
    畸变<8%,满足条件 Mq#Hi9SKY  
    H;ujB \+  
    X0]$Ovq(l  
    F'JT7# eX  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 A-rj: k!  
    8>xd  
    ZoCk]hk  
    ~aXJ5sY"f&  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 C 7YS>?^]  
    vJsg6oH  
    FL&L$#X  
    总结 7loWqZ  
    pOj8-rr  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜 J*AYZS-tSE  
    k`s_31<  
     
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