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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-22
    1.概述
    %';DBozZ   
    e9B$"_ &2  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR Light Detection And Ranging, LIDAR)  别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 dBW#PRg  
    bHHR^*B  
    -%t8a42  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 8EI&}I  
    Zt4 r_ 7  
    ;[Hrpl S  
    激光雷达的基本原理如下图: P$G|o|h  
    .q$/#hN:e  
    2.1设计要求
    KV'-^\  
    @gJPMgF$F  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: i{>YQ  
    WF <*rl  
    Q9t.*+  
    a3(f\MM xE  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um OL#RkD  
    波长905+-5nm W@FGU  
    焦距15mm #kQLHi3##  
    视场角 2w  =76 QOF'SEq"k  
    FN  =1.4 VH.}}RS%  
    后焦26mm Wy$Q!R=i  
    总长77mm 2l4`h)_q  
    相对照度全视场>0.7且均匀 !myF_cv}'  
    畸变<8% XpOQBXbt  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    ;V1e>?3  
    O,KlZf_B  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 UX<0/"0h  
    gH/k}M7tA#  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 UIw6~a3E  
    |n&EbOmgf  
    R )e^H  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: knZ<V%/e  
    QgX[?2  
    y]f| U-f:~  
    基本参数 Ad`jV_z  
     3Kum  
    ^kpu9H  
    初始结构的像质 %AuS8'Uf  
    HnfTj5J@  
    畸变 =t-503e.J  
    T k4"qGC.  
    Rd*/J~TK  
    MTF ]dIr;x`  
    6T~xjAuJ3T  
    rW3fd.;kss  
    相对照度表格和图像 sQe>LNp,G  
    tt>=Vt '  
    'GcZxF0  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 /-ky'S9  
    hC =="4 -  
    O k~\  
    固定光阑 b%,`;hy{  
    V]9 ?9-r  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 jVu3!{}  
    U9B|u`72  
    lq!l{[Xp  
    添加真实材料 c =i6  
    = 8%+$vX  
    VN8ao0^d;d  
    1 {V*(=Tp  
    /fc@=CO  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: ]={{$}8.  
    D*j\gI  
    re/l5v,|3  
    *l^%7W rk  
    最终结果像质 F 'U G p  
    %/&?t`%H  
    畸变<8%,满足条件 #`4ma:Pj  
    A3N<;OOk  
    b fsTeW+  
    ~dK)U*Q  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 YX_p3  
    y(8AxsROp  
    U{o0Posg  
    r#pC0Yj!3  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 5A6d]  
    OPwj*b:-m  
    5 !G}*u.  
    总结 Y75,{1\l0  
    g+k0Fw]!  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜 7 0:a2m  
    mPxph>o  
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