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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-22
    1.概述
    VzM@DM]=~  
    9U1!"/F  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR Light Detection And Ranging, LIDAR)  别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。  !3M!p&  
    F7Yuky  
    I}0 -  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 ,^66`C[G  
    (xJBN?NRO  
    ]b=A/*z  
    激光雷达的基本原理如下图: JJOs L!@  
    9JeGjkG,  
    2.1设计要求
    [c%}L 3B  
    UiN ^x  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: {73DnC~N  
    N5]68Fu'({  
    ,qh  
    9.}3RAB(cv  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um B>L^XGq  
    波长905+-5nm @].aFhH`)  
    焦距15mm 1fp&"K:yR  
    视场角 2w  =76 ]V\ g$@  
    FN  =1.4 zMg^2{0L  
    后焦26mm g@i 4H[k  
    总长77mm ?& ^l8gE  
    相对照度全视场>0.7且均匀 Raqr VC  
    畸变<8% 5S?Xl|8E  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    \srOU|  
    "d*  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 kQcQi}e  
    2a}_|#*  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 uB!P>v6  
    w8zQDPVB%  
    0drc^rj !  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: IiU|@f~k  
    $>`8'I  
    .^W0;ISX  
    基本参数 05DtU!3O  
    wOSNlbQ5jl  
    $(hZw  
    初始结构的像质  16{;24  
    ,peFNpi  
    畸变 FpYoCyD}  
    VAz+J  
    C u5 - w  
    MTF EH%j$=@X  
    KJ |1zCM  
    R'_[RHFC  
    相对照度表格和图像 )v.FAV:  
    B W1O1zIh\  
    }?$Mh)  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 riQ?'!a7  
    Xp@OIn  
    #]a0 51Y  
    固定光阑 Ds$;{wl#x  
    tp0*W _<4  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 r4'Pf|`u  
    w}0PtzOe  
    0_)\e  
    添加真实材料 i;7jJ(#V  
    $NSYQF%aO  
    L.(k8eX  
    n$K_KU v  
    m[rJFSpef  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: GH!#"Sl8Z  
    p^3d1H3   
    f+RDvgkKU  
    TlJF{ <E  
    最终结果像质 a$-ax[:\sm  
    GQQ6 t  
    畸变<8%,满足条件 2I5@zm ea  
    #=c%:{O{4R  
    0 $r{h}[^c  
    UbXz`i  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 [&&4lKC}u  
    bjZ?WZr  
    Yy5F'RY  
    o@-cT`HP  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 KA7nncg;,  
    [ CY=  
    hvwr!(|W  
    总结 iQQJ`  
    16U@o>O  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜 +xa2e?A%L  
    -b<+Ra  
     
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