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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-22
    1.概述
    raCxHY  
    sqhM[u k  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR Light Detection And Ranging, LIDAR)  别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 \O56!,k  
    K\#+;\V  
    ~O!v?2it8q  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 [1Rs~T"  
    HjrCX>v  
    nL9m{$Zv  
    激光雷达的基本原理如下图: +u7mw<A 8  
    R"jX9~3Ln  
    2.1设计要求
    ?o2L  
    b$hQB090  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: |VIBSty2d  
    fN@2 B  
    @X:P`?("^  
    QM OOJA  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um oE}1D?3Sp  
    波长905+-5nm Rh iiQ  
    焦距15mm ip~PF5  
    视场角 2w  =76 C;_10Rb2ut  
    FN  =1.4 ^8DC W`V  
    后焦26mm Jjv, )@yo  
    总长77mm bUt?VR}P(  
    相对照度全视场>0.7且均匀 ))<3+^S0V\  
    畸变<8% b2hB'!m  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    fDf:Jec`[  
    0GEK xV\F  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 A#*0mJ8IK  
    @wb V@  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 u9J;OsnHK  
    +c?1\{M   
    smJ%^'x  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: L9(fa+$+#  
    ?Yxk1Y4ig)  
    -W2 !_  
    基本参数 r\Zz=~![<  
    s#>Bwn&b)  
    IZ "d s=w  
    初始结构的像质 Z3)1!|#Q  
    iXeywO2nP  
    畸变 4 QD.'+ L  
    j"hfsA<_I  
    h5>JBLawQP  
    MTF m z) O  
    ;CD@RP{$n  
    |}t[- a  
    相对照度表格和图像 q<dZy? f  
    X0O@,  
    CNQ>J`4  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 3+rud9T  
    pbt/i+!  
    va[@XGaC3  
    固定光阑 "CX&2Xfe  
    A70x+mjy^T  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 9v=5x[fE  
    rjHL06qE  
    T_i]y4dg  
    添加真实材料 q3<Pb,Z  
    l@Uo4b^4x  
    g)nsP  
    S jgjGJw  
    Ksr.'  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: NBU[>P  
    80DcM9^t8  
    q$7SJ.pF  
    KF(N=?KO  
    最终结果像质 . Lbu[  
    _Z'[-rcXWh  
    畸变<8%,满足条件 ZUPlMHc  
    {]ie|>'=C  
    lC):$W  
    /i.3v45t"  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 H=,0p  
    +X#JCLD  
    ?Zu2=<DU  
    JO{Rth  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 V 3?x_pp  
    `tZm  
    >LS*G qjq  
    总结 FyY<Vx'yQ  
    a$-:F$z  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜 `_M*2(rt  
    <O+T4.z  
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