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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-22
    1.概述
    e"PMvQ  
    {:3.27jQ  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR Light Detection And Ranging, LIDAR)  别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 | yS5[?.`  
    \ U Ax(;  
    {f&NStiB  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 Et)9 20  
    'xsbm^n6a&  
    tnN'V  
    激光雷达的基本原理如下图: D7M0NEY  
    ,7t3>9 -M"  
    2.1设计要求
    T7^ulG1'  
    D9,e3.?p  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: qPqy4V. ;  
    O1|B3M[P  
    ;v%Q8  
    xJ N|w\&  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um wInY7u Bd!  
    波长905+-5nm <sO?ev[  
    焦距15mm //~POm  
    视场角 2w  =76 " \`BPN  
    FN  =1.4 g&q]@m  
    后焦26mm ]c5DOv&  
    总长77mm (rAiDRQ[  
    相对照度全视场>0.7且均匀 ^@M [t<  
    畸变<8% `}[VwQ  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    nG!&u1*  
    Z@;jIH4 (  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 7[4_+Q:}  
    BXNI(7xi  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 B%TXw#|  
    ,Y$F7&  
    ,tcP=f dk]  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: 7WgIhQ~  
    5?Uo&e  
    WC3W+v G7  
    基本参数 G(:s-x ig6  
    U~oBNsU"  
    a#YuKh?  
    初始结构的像质 $*YC7f  
    O~${&(  
    畸变 lr-12-D%-  
    mYiSR   
    P4hZB_.=  
    MTF /&*m1EN#o  
    ".Lhte R?  
    !'Pk jP  
    相对照度表格和图像 <\E"clZI  
    "kcpA#uD|  
    os}b?I*K  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 "|(rVj=  
    f0/jwfL  
    NS7@8 #C  
    固定光阑 >]:N?[Y_~}  
    $?[1#%  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 G /NT e  
    mGt\7&`  
    [B}1z  
    添加真实材料 !S~,> ,yd  
    -Pqi1pj]  
    K?5B>dv@A  
    >r;ABz/  
    m Y$nI -P  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: di8W2cwz  
    -@YVe:$%b  
    QN)/,=#  
    wrz+2EP`  
    最终结果像质 Bv2z4D4f+  
    kb/|;!  
    畸变<8%,满足条件 [54@irH  
    HF*j`}  
    }s`jl` `PM  
    C_;HaQiu  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 S1D9AcK  
    lAdOC5+JX  
    &eThH,w$2  
    a9yIV5_N  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 T)b3N| ONB  
    n%83jep9  
    >Sc$R0  
    总结 mtSNl|O&{  
    u} JQTro  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜 &,W_#l{  
    "\VW. S  
     
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