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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-22
    1.概述
    *C<;yPVc  
    3z u6#3^  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR Light Detection And Ranging, LIDAR)  别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 r7L.W  
    /'5d0' ,M  
    ;Rpib[m  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 jM @N<k  
    4 Yv:\c  
    T\g+w\N  
    激光雷达的基本原理如下图: @0]WMI9B"B  
    ~KYzEqy  
    2.1设计要求
    W]bgWKd  
    fGqX dlP  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: "j8)l4}  
    nj1o!+9>$  
    <oV[[wl  
    [0aC]XQZ  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um )Jdku}Pf  
    波长905+-5nm +:4>4=  
    焦距15mm gPT_}#_GxM  
    视场角 2w  =76 =&,T@5&-=  
    FN  =1.4 74MxU  
    后焦26mm DBL@Mp[<  
    总长77mm |w54!f6w_  
    相对照度全视场>0.7且均匀 ~J&-~<%P}  
    畸变<8% Z"%.  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    ft1#f@b.  
    h`dQ OH#  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 oBo*<6  
    y_}vVHT,  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 [P =P8-5  
    BQ)>}YHk  
    6lv@4R^u  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: u~ipB*Zf  
    F8"J<VJ7  
    v_Sa0}K9  
    基本参数 Fa[^D~$l*  
    P.C?/7$7Z+  
    Tx!t3;Yz[  
    初始结构的像质 8.n#@%  
    Wc2&3p9 c  
    畸变 c:u*-lYmK%  
    ,;Wm>V)o  
    7Q9Hk(Z9  
    MTF kN Ll|in@  
    R[j?\#  
    A,~KrRd  
    相对照度表格和图像 n]`]gLF\i  
    #UoFU{6tM  
    |+W{c`KL  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 2[ofz}k]r)  
    R6od{#5H$  
    q+9->D(6  
    固定光阑 ]tN)HRk1  
    dGm%If9P  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 g9|OhymB  
    ">CRFee0  
    &qG/\  
    添加真实材料 n=V|NrU  
    2Ax"X12{6  
      8sG?|u  
    ?Y3i-jY  
    $q:l \  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: Dg.~"h5mT  
    e'A_4;~@s  
    r=0PW_r:  
    wGNE b  
    最终结果像质 RU7+$Z0K  
    gfj_]  
    畸变<8%,满足条件 *6` ^8Y\  
    9dNkKMc@  
    jq%<Z,rh  
    0*b8?e  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 A{ T9-f@X  
     ~d eS*  
    Awxm[:r>^  
    fc@<'-VA  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 J FnE{  
    Q4-d|  
    dxAGO(  
    总结 f}(4v1 T  
    9DhM 9VU  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜 LF!KP  
    S/)),~`4  
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