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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-22
    1.概述
    HRu;*3+%>F  
    *{Z=)k%  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR Light Detection And Ranging, LIDAR)  别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 *uy<Om  
    PQh s^D  
    PqF&[M<)  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 uq54+zC  
    vr2PCG[~  
    ^7=7V0>,:  
    激光雷达的基本原理如下图: N qz6_!  
    H5:f&m  
    2.1设计要求
    DrxQ(yo}  
    M1*bT@ 6  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: z%lJWvaA7  
    $P%cdJT0  
    E'SDT*EI  
    {c*5 )x!  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um gA@Zx%0j  
    波长905+-5nm G\V*j$}!  
    焦距15mm 'ShK7j$  
    视场角 2w  =76 :rjfAe=s  
    FN  =1.4 3 5L0 CM  
    后焦26mm H3ovF  
    总长77mm _)~VKA]""  
    相对照度全视场>0.7且均匀 Y| ch ;  
    畸变<8% 8gt&*;'}*D  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    ``6-   
    JAXD\StC  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 uxh>r2Xr=  
    . sFN[>)  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 ha 2=O  
    "VU/Ucb7  
    ~(GN Y5  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: QgQ$>  
    RU~ku{8?  
    2' ^7G@%  
    基本参数 jF/S2Ty2  
    f:J-X~T_f  
    W}MN-0  
    初始结构的像质 v=cQ`nou  
    ZKpJc'h  
    畸变 [+ xsX*+  
    W7!iYxO  
    W-/V5=?   
    MTF R:R<Xt N`5  
    [ K'gvLt1  
    _:p-\Oo.  
    相对照度表格和图像 i*@PywT"i3  
    D3P/: 4  
    5/7(>ivn  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 JEMc_ngR!  
    uN>5Eh&=Pf  
    vZ.<OD4  
    固定光阑 e t@:-}  
    a }*i [  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 `ZI-1&Y3  
    -)}Z $;1a  
    RwOOe7mv  
    添加真实材料 \x]\W#C  
    5$N#=i`V  
    u#Jr_ze  
    n\JI7A}  
    v}d)uPl} ;  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: #d-zH:uq  
    HTGLFY(&  
    e6J^J&`|4  
    k,k>w#&  
    最终结果像质 P*~ vWYH9  
    C1UU v=|  
    畸变<8%,满足条件 $j<KXR  
    y RXWd*9  
    ZILJXX4  
    b:p0@|y  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 g<.Is V  
    pq&[cA_w  
    q#8yU\J|,  
    '@ Rk#=85Z  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 BI%XF 9{  
    vB{i w}Hi!  
    Y_!+Y<x7v  
    总结 dr:x0>  
    Sp:w _;{#  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜 18QqZ,t  
    CE c(2q+%i  
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