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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-22
    1.概述
    9dA+#;?  
    6 agG*x  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR Light Detection And Ranging, LIDAR)  别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 69r%b7#  
    \0 h>!u  
     CA igV$  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 9k71h`5  
    gq+0t  
    b>p_w%d[[J  
    激光雷达的基本原理如下图: lfM vNv  
    Cydo~/  
    2.1设计要求
    QxW+|Gt._  
    *Lrrl  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: A@< !'  
    =JE<oVP8  
    nD/B :0'  
    eGQ4aQhi  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um .B~yI3D`M  
    波长905+-5nm DDkN3\w  
    焦距15mm +3. 9)w  
    视场角 2w  =76 ]'xci"qV`  
    FN  =1.4 v[uVAbfQ  
    后焦26mm H][TH2H1  
    总长77mm 5lHt~hB\  
    相对照度全视场>0.7且均匀 %TN$   
    畸变<8% DI8I'c-P  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    5(CInl  
    Ag0w8F  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 Bv~^keuj3t  
    2H$](k?   
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 C0w_pu  
    ;/+<N  
    =:g\I6'a  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: hJ8&OCR }  
    kXhd]7ru  
    Y_n/rD>  
    基本参数 )R `d x  
    ek5j;%~g1  
    hd'QMr[;  
    初始结构的像质 Jk}3c>^D  
    [F*yh9%\  
    畸变 aOg9Dqtg)f  
    U>!TM##1QD  
    .a2R2~35  
    MTF [.|& /O  
    [K #$W  
    wE1GyN  
    相对照度表格和图像 hb8oq3*x  
    aO1.9! <v  
    >yn?@ve@  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 ,Zie2I?q  
    0c"9C_7^g  
    gLt6u|0q  
    固定光阑 +/$&P3  
    ]E"J^mflGK  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 $G0e1)D  
    ).,twf58  
    -T+YMAFU_  
    添加真实材料 .sit5BX  
    5D/Td#T04  
    4V[(RXc/  
    BIMX2.S1o  
    rJf{YUZe  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: >Q=e9L=  
    9mtndTT 5u  
    #QlxEs#%  
    E5S(1Z}]p{  
    最终结果像质 =zAFsRoD_B  
    ~,s'-  
    畸变<8%,满足条件 ;LC|1_ '  
    cyd_xB5K  
    Ye|gW=FUR  
    c9H6\&  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 h;E.y   
    '#A_KHD  
    ^K[xVB(&  
    gmTBp}3  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 se3EI1e  
    pT+OPOSR  
    )qX.!&|I  
    总结 (`Y;U(n  
    1HSt}  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜 cc=_KYZ1k  
    dc emF  
     
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