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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-22
    1.概述
    YBt=8`r  
    c p"K?)  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR Light Detection And Ranging, LIDAR)  别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 u)@:V)z  
    ,rMf;/[  
    ciS +.%7  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 NLy4Z:&{  
    M9iX_4  
    H^d?(Svh  
    激光雷达的基本原理如下图: /.]u%;%r[  
    ^KhJBM/Z  
    2.1设计要求
    3x~7N  
    e,%|sAs[  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: r8 9o  
    Fm`*j/rq  
    | 6{JINW  
    Fb{N>*l.  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um (L(7)WbH  
    波长905+-5nm sxT&T=7  
    焦距15mm 7_\G|Zd  
    视场角 2w  =76 @2E52$zu  
    FN  =1.4 FX!KX/OE)  
    后焦26mm w)7y{ya$  
    总长77mm VhO+nvd*W  
    相对照度全视场>0.7且均匀 gTj,I=3$?e  
    畸变<8% mG~k f]Y  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    D!.c??   
    M-@RgWvF  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 G_+/ e]P  
    v0 C+DKi  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 M'%4BOpI6`  
    [FBS|v#T  
    cN@_5  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: .i*oZ'[X  
    #B\s'j[A"  
    C3'xU`=7  
    基本参数 k'8tcXs  
    y i$+rPF1  
    ?^U?ua6  
    初始结构的像质 m!ZY]:)$  
    6Z|h>H5 a  
    畸变 _y4O2n[e  
    bTJ<8q  
    fXMY.X>f  
    MTF .57p4{  
    ,zgz7  
    b-ss^UL  
    相对照度表格和图像 3)WfBvG  
    /4T6Z[=s  
    '~Y@HRVL@|  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 BL&AZv/T  
    SZH`-xb!+5  
    wN.S]  
    固定光阑 }||u {[  
    LK DfV  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 X):7#x@uy  
    NVRzthg%c_  
    #1-WiweO  
    添加真实材料 wG49|!l6T  
    5n?P}kca)  
    Q/g!h}>(.  
    >B6* `3v  
    3Y Mqp~4  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: hJ(vDv%  
    .e7tq\k  
    j&X&&=   
    fG1iq<~  
    最终结果像质 x*H#?.E  
    m[eqTh4*  
    畸变<8%,满足条件 9s<4`oa  
    5, $6mU#=  
    +(2$YJ35  
    lU doMm  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 Ry >y  
    Ah1 9#0  
    6FzB-],  
    WO.u{vW]'  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 Qa,=  
    "}v.>L<P  
    0Fb ];:a  
    总结 Xr  <H^X  
    2VRGTx  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜 u9~5U9]O%6  
    \96\!7$@O  
     
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