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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-22
    1.概述
    i*.Z~$  
    xot q$r  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR Light Detection And Ranging, LIDAR)  别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 jM2gu~  
    B&-;w_K  
    rH8?GR0<  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 4) /tCv  
    14s+ &  
    0t/S_Q  
    激光雷达的基本原理如下图: #)my)}o\p  
    XO"!)qF  
    2.1设计要求
    m4>v S  
    Qy0bp;V/  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: C\$7C5/  
    <0JW[m  
    luat1#~J  
    i"Ct}7i  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um < g6 [mS  
    波长905+-5nm axXA y5  
    焦距15mm =qI JXV  
    视场角 2w  =76 AL H^tV?  
    FN  =1.4 NFmB ^@k  
    后焦26mm c9r2kc3cy{  
    总长77mm (Pvch!  
    相对照度全视场>0.7且均匀 r4!zA-{  
    畸变<8% owmA]f  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    %S$P+B?  
    &S''fxGL  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 DX4 95<6*  
    @B+  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 9)l[$X  
    cN&b$ 8O=%  
    }6^(  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: K V  4>(  
    hb`b Q  
    ?=Ma7 y  
    基本参数 ) ae/+Q8  
    ew }C*4qH  
    TO3Yz3+A  
    初始结构的像质 ywi Shvi8  
    (nvSB}?  
    畸变 D{a{$P r  
    NrS1y"#d9  
    { #>@h7  
    MTF P`V#Wj4\  
    auL?Hb  
    )0qXZ gs  
    相对照度表格和图像 B-r9\fi,  
    QJOP*<O  
    3ywBq9FGhp  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 Q:=s99  
    ^t9"!K  
    Dve5Ml-  
    固定光阑 d~GT w:  
    gy9!T(z  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 f[h=>O  
    .o.@cLdU  
    }JrM!'  
    添加真实材料 #Cbn"iYee  
     {l_R0  
    +>c)5Jih  
    Qzb8*;4?FF  
    %oC]Rpdu  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: fN8A'p[  
    M(?|$$   
    6mMJ$FY+  
    r")=Z1y  
    最终结果像质 9I30ULm  
    LNk 3=v2M  
    畸变<8%,满足条件 P|_?{1eO2  
    s( 2=E|  
    83;1L:}`  
    w&:h^u  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 jwAO{.}T1r  
    +zz9u?2C`  
    +<bq@.x  
    D1#E&4   
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 wyAqrf  
    CcAsJX~_  
    Yg2z=&p-{"  
    总结 8q_3*++D  
    }[ux4cd8Y  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜 6TPcG dZ  
    &WvJg#f  
     
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