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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-22
    1.概述
    p>9-Ga  
    .eZsKc-@  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR Light Detection And Ranging, LIDAR)  别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 =H8 LBM  
    >s*ZT%TF  
    yv),>4_6  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 <.d^jgG(j  
    u( kacQ7  
    xMOq/" )  
    激光雷达的基本原理如下图: 98 Dg[O  
    [9c|!w^F  
    2.1设计要求
    108cf~2&  
    ]x12_+  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: 0-VC$)S  
    ]; CTr0  
    n\/ JNzd3  
    V$OZC;4  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um v%|S)^c?:  
    波长905+-5nm 8Pgw_ 21N1  
    焦距15mm BNj@~uC{  
    视场角 2w  =76 _zuX6DO  
    FN  =1.4 K*"Wq:T;B  
    后焦26mm WciL zx/  
    总长77mm qG&}lg?g{  
    相对照度全视场>0.7且均匀 ()\=(n!J  
    畸变<8% q2SlK8`QJ  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    IH2V .>h  
    qcWY8sYf  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 +xL*`fn  
    4lCEzWo[/  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 iYPlgt/Y!  
    He1hgJ)N  
    O5v)}4  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: Dwx^hNh  
    $URL7hrhU  
    awC:{5R8v  
    基本参数 Cu\6VnW_6  
    !:^?GN#~x  
    l>t0 H($  
    初始结构的像质 # s}&  
    V1]QuQ{&s  
    畸变 B3';Tcs  
    =^5,ua6  
    8aMmz!S  
    MTF <Na .6P  
    XusTU  
    Uv|?@zy#  
    相对照度表格和图像 bd$``(b`v  
    ~c\iBk  
    r:~q{  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 o"19{ D^.  
    CTP!{<ii  
    UzKB"Q  
    固定光阑 W|I<hY\X  
    %p}xW V.  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 cAQ_/>  
    25H=RTw  
    k;~*8i=%,\  
    添加真实材料 ;4s7\9o  
    12 TX_0  
    v"v-c!k  
    ?`+G0VT  
    %Mxc"% w  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: jiGXFM2  
    XlaGR2-%  
    =c34MY(#X  
    h~r&7G@[}  
    最终结果像质 "IA :,j.#g  
    % s),4  
    畸变<8%,满足条件 tW[dJKw  
    " Z2D@l  
    )TtYm3,  
    u 2%E(pr  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 xhw0YDGzf  
    9 .3?$(  
    HU47 S  
    9lR-  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 T/nG\WZbZn  
    "*HVL  
    w^=uq3X?  
    总结 8}.V[,]6  
    GWCU 9n  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜 >E\U$}WCG  
    @@=e-d  
     
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