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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-22
    1.概述
    h"`ucC8X  
    l;af~ef)'  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR Light Detection And Ranging, LIDAR)  别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 sLh==V;9  
    Kqun^"Df  
    iM2W]  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 9F6F~::l}  
    p/(~IC "!J  
    XXbqQhf  
    激光雷达的基本原理如下图: %509\;el  
    F1iGMf-8  
    2.1设计要求
    h H <J,Wn  
    0$_oT;{8  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: 0- ><q  
    Q=BZ N]g2  
    G,TM-l_uw  
    X_qf"|i  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um C(S'#cm  
    波长905+-5nm |M8WyW  
    焦距15mm d\%WgH  
    视场角 2w  =76 &GNxo$CG  
    FN  =1.4 79nG|Yj|\  
    后焦26mm U;bK!&Z  
    总长77mm 6}75iIKi  
    相对照度全视场>0.7且均匀 Sa\!*e_sN  
    畸变<8% gWrgnlq  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    tS|9fBdCs  
    Q F-LU  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 Ib|Rf;J~-  
    GQ*wc?f3  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 df*5,NV'-*  
    h8 'v d3  
    7~&/_3  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: ,REJt  
    #BJG9DFP4`  
    wtmB+:I  
    基本参数 KQ `qpX^d  
    \(VTt|}By$  
    uMut=ja(U  
    初始结构的像质 ` L >  
    <WjF*x p  
    畸变 L,SGT8lL  
    kxp) ;  
    3ia^\ jw  
    MTF UJ0<%^f  
    )foq),2  
    ?|WoIV.  
    相对照度表格和图像 ?notxE7 ]  
    =1O<E  
    `Q+ (LBP  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 9Q(+ZG=JkV  
    xfy1pS.[:  
    fLDg~;3  
    固定光阑 CqHK%M  
    lrWV#`6!+  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 &j?#3Qt'_  
    QYa(N[~a  
    O=v#{ [  
    添加真实材料 |u0( t,T  
    F^N82  
    c~{9a_G  
    .Q@S #d  
    {88gW\GL  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: /CuXa%Ci^  
    fMGbODAvY  
    U7!.,kR-  
    S!Omy:=;i  
    最终结果像质 {o!KhF:[  
    /&CmO>^e  
    畸变<8%,满足条件 c1$ngH0  
    i<H wTmm$  
    4|mD*o  
    gXonF'  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 qOSg!aft{Q  
    ,ldI2 ]  
    c9kzOQ2n  
    aFe`_cnG  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 O(tX8P Q5N  
    @%tRhG  
    txZ?=8j_Y  
    总结 p8kr/uMP ;  
    5DXR8mLoaJ  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜 VtzI9CD  
    t~E<j+<2B  
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