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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-22
    1.概述
    4 Y9`IgQ  
    H8zK$!  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR Light Detection And Ranging, LIDAR)  别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 ufZDF=$7  
    v0+BkfU+p  
    S_4?K)n #  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 Ugt/rf5n  
    VUGmi]qd  
    _|\~q[ep  
    激光雷达的基本原理如下图: \?ZB]*Fu  
    ~&_z2|UXp  
    2.1设计要求
    vHc%z$-d  
    PfD.:amN7  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: D~iz+{Q4  
    AW'0,b`v  
    ]BZA:dd.G  
    8oseYH  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um rjAn@!|:+  
    波长905+-5nm 9C9oUtS  
    焦距15mm {n.PF8A5X  
    视场角 2w  =76 k[YS8g-Q  
    FN  =1.4 NC`aP0S  
    后焦26mm |?xN\O^#}  
    总长77mm dNH08q8P  
    相对照度全视场>0.7且均匀 $am$ EU?s  
    畸变<8% "5!oi]@>(  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    P[ck84F/  
    DGF5CK.O  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 9(7-{,c  
    B eo@K|3GN  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 J#(LlCs?@c  
    6=/F$|  
    fc3{sZE2M  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: |O+H[;TB6  
    su( 1<S}  
    >J?fl8  
    基本参数 EwT"uL*V;  
    EU;9 *W<  
    yu|8_<bq  
    初始结构的像质 :#ik. D  
    L,`LN>  
    畸变 k FD; i  
    uym*a4J  
    1#2 I  
    MTF =zPCrEk0  
    U&OJXJd j  
    Bahm]2  
    相对照度表格和图像 %E>Aw>] v  
    ]^7@}Ce_  
    5d^sA;c  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 M h}m;NI  
    ]|a g  
    4f@rv^f(X  
    固定光阑 uyWunpT  
    O+]ZyHnB  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 #A/  
    ((;!<5-`s  
    -f^tE,-  
    添加真实材料 q~o<*W   
    tw/dD +  
    ,^< R{{{-A  
    P|E| $)m  
    hWLA<wdb  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: +GN(Ug'R  
    s^9Voi.y  
    F~W6Bp^W  
    fU}ub2_in  
    最终结果像质 &wawr2)}  
    ,/2Vt/lt  
    畸变<8%,满足条件 s 5Qcl;}  
    |SSSH  
    Hzz %3}E  
    pYEMmZ?L  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件  9Q.Yl&A  
    8kIksy  
    )dw'BNz5hT  
    Of#u  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 h7oo7AP  
    f'RX6$}\1X  
     |>^JRx  
    总结 h,N?Ab'S  
    V1zmGy  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜 {}przrU^c  
    `$ 9x1dx  
     
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