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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-22
    1.概述
    b`DPlQHj  
    }&s |~  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR Light Detection And Ranging, LIDAR)  别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 rG[2.\&  
    /Zx"BSu  
    VtU2&  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 Z$('MQ|Ur  
    =dQF}-{!  
    d:cOdm>,  
    激光雷达的基本原理如下图: YT)1_>*\  
    5*90t{#  
    2.1设计要求
    Y(T$k9%}+  
    ,LLx&jS  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: #BH]`A J  
    AxO.adQE%  
    ]S@DVXH  
    wsAb8U C_  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um dg+"G|nr  
    波长905+-5nm W>b\O">  
    焦距15mm vYo~36  
    视场角 2w  =76 c0X1})q$  
    FN  =1.4 Zba<|C  
    后焦26mm @.G;dL.f{  
    总长77mm ! 8Ro5),  
    相对照度全视场>0.7且均匀 'cK{FiIT  
    畸变<8% GQjU="+  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    :r:x|[3.  
    N>sHT =_  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 tm_\(  
    *rV{(%\m  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 G#E8xA"{/  
    0/%RrE  
    (Bpn9}F-V.  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: DwTVoCC  
    Dv^M/z2&[  
    e%9zY{ABR%  
    基本参数 Ca/N'|}^  
    NKVLd_f k  
    c2Y\bKeN  
    初始结构的像质 ]2@lyG#<<  
    uFvR(LDb&g  
    畸变 (~"#=fs.L  
    a'>n'Y~E  
    RH$YM `cZ  
    MTF 3_{rXtT)'  
    YWk+}y}^d  
    6J -=6t|  
    相对照度表格和图像 *d 4A3|  
    85A7YraL  
    6mxzE3?G  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 x4?g>v*J  
    $$B#S '  
    yRp&pUtb  
    固定光阑 @v\8+0  
    I%z,s{9p  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 scE#&OWF%  
    |`AJP  
    g6?5  
    添加真实材料 oC3W_vH.%  
    2frwU~y  
    |NWHZo  
    <(45(6fQ  
    }YU\}T-P  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: m,rkKhXP  
    +'[/eW  
    {?}^HW9{  
    ;[:IC^9fv  
    最终结果像质 "z*?#&?,  
    Vf$$e)  
    畸变<8%,满足条件 VMu?mqEa  
    jK{qw  
    @oD2_D2  
    7gRR/&ZK  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 zu,Yuq  
    qsYg%Z  
    (543`dqAmC  
    =tGRy@QV'\  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 P!XO8X 1F  
    -\25&m!+  
    3sl6$NKo  
    总结 A~< cp)E  
    Io{BO.K*Y  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜 nZEew .T:6  
    UUGX@  
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