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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-22
    1.概述
    NWfAxkz {/  
    n}mR~YqD  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR 或 Light Detection And Ranging, LIDAR)  区别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 eh*6cQ.0  
    y{9~&r  
    a{[+<8=@1  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 0e[d=)XG  
    "7d-z<^n  
    Gq#~vr  
    激光雷达的基本原理如下图: J!ntXF  
    ?4G|+yby  
    2.1设计要求
    \uG`|D n  
    l$*=<tV  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: q EUT90  
    ]v G{kAnH  
    "Dy'Kd%,%/  
    Q>qFM9Z  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um mqfO4"lt  
    波长905+-5nm x\s,= n3z  
    焦距15mm ?@6/Alk  
    视场角 2w  =76 ~^)^q8  
    FN  =1.4 Q 6C-4ja  
    后焦26mm ZiFooA  
    总长77mm ]+DI.%   
    相对照度全视场>0.7且均匀  \4ghYQ:  
    畸变<8% (IbW; bV  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    f DgD@YCD  
    :RxHw;!  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 2WvN2" f3  
    ]J2:194  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 HjWq[[Nz  
    EA<}[4#jS  
    :Zw @yt  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: \nrP$  
    c:M$m3Cs?  
    IO.<q,pP!_  
    基本参数 3b[jwCt  
    RAs0]K  
    sTHq&(hLUG  
    初始结构的像质 %bb~Y"  
    Ix DWJ#k  
    畸变 ^ons:$0h  
    CPazEe1S  
    |-2}j2'  
    MTF s]B"qF A  
    T&"i _no*  
    |I[7,`C~  
    相对照度表格和图像 \[wCp*;1}  
    ?Ce#BwQ>  
    Md; /nJO~{  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 K=u0nrG*  
    farDaS[\VY  
    yfjXqn[Z4  
    固定光阑 0_<Nc/(P  
    GtI6[ :1t  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 t]_S  
     h=RD O  
    v$|mo;6  
    添加真实材料 Yig0/ "  
    )+O r  
    h!]"R<QQdu  
    17UK1Jx,  
    3=4SGt5m  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: hY \{|  
    L0h G  
    Db03Nk>#  
    l`n5~Fs  
    最终结果像质 Aa(<L$e!`  
    |DG@ht  
    畸变<8%,满足条件 t,Q'S`eTU  
    ?'+8[OHiF^  
    #:W%,$ 9\P  
    x(6vh2#vD  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 h ]}`@M"  
    :0dfB&7  
    {,v: GMsm  
    22I Yrk  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 $h]NXC6J  
    "yri[X  
    [tN` :}?  
    总结 Iv1c4"  
    K{FhT9R'  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜。 kknhthJ  
    NEg>lIu<~  
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