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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-22
    1.概述
    'kUrSM'*$N  
    gr-%9=Uq  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR Light Detection And Ranging, LIDAR)  别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 |a"(Ds2U  
    NuXU2w~  
    Rd#,Tl\  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 |Z "h q  
    '7=*n_l  
    #u2PAZ@qd  
    激光雷达的基本原理如下图: G-:DMjvN  
    I~mw\K{.3M  
    2.1设计要求
    82w< q(  
    ll5Kd=3  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: \zoJr)  
    |0 Zj/1<$  
    o@>5[2b4  
    ;j52a8uE'}  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um o= 8yp2vG  
    波长905+-5nm }k ,Si9O  
    焦距15mm \ tQi7yj4  
    视场角 2w  =76 N.2rF  
    FN  =1.4 \(A>~D8Fo  
    后焦26mm u(lq9; ;Th  
    总长77mm q|6lw 74`  
    相对照度全视场>0.7且均匀 7"S|GEs:  
    畸变<8% oF3#]6`;/  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    m\k$L7O  
    O=+C Kx@  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 #:{u1sq;  
    {!EbGIh  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 ~7Jc;y&  
    8>epKFEg  
    }y0UyOa{C  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: xW^<.@Agm  
    2xjS;lpw  
    RZz].Nx  
    基本参数 9w AP%xh  
    zPVA6~|l  
    Nd( $s[  
    初始结构的像质 VWNmqeP  
    $B(B  
    畸变 >M +!i+  
    XFX:) l#o  
    7%F9.h  
    MTF 4e5Ka{# <  
    Oi{jzP  
    )qxL@w.  
    相对照度表格和图像 gmM79^CEF  
    K3@UoR  
    Aimgfxag  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 sDwSEg>#B  
    Eu0 _/{:  
    T0Gu(c`1d  
    固定光阑 pQqZ4L6v  
    ?vk&k(FT  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 uH7u4f1Q  
    IYrO;GQ  
    O!|:ZMjF  
    添加真实材料 {j(,Q qB;f  
    R!-RSkB  
    `5gcc7b  
    MbJV)*Q  
    mH8"k+k  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: J M`uIVnNA  
    ABx0IdOcI  
    #kxg|G[Ol  
    2R)Y}*VX  
    最终结果像质 z |t0mS$  
    Q#vur o  
    畸变<8%,满足条件 Z3Vi il:  
    Ok,hm.|  
    0Uybh.dC  
    uODpIxN  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 V%3K")  
    v/(< fI^  
    {o;J'yjre1  
    Q"\*JV5  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 VpD9!;S  
    J%%nv5y  
    2.CI^.5&  
    总结 C:H9C  
    |)0kvf?  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜 ?}O\'Fa8  
    o^lKM?t  
     
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