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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-22
    1.概述
    7J0 PO}N  
    t {x&|%u  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR Light Detection And Ranging, LIDAR)  别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 l^"gpO${K  
    !cWKY \lpv  
    _3kAN .g  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 |urohua  
    t%N#Yh!  
    +a;: 7[%&  
    激光雷达的基本原理如下图: *:GoS?Ma  
    H( cY=d,  
    2.1设计要求
    X0P<ifIv  
    eQzSWn[  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: +F+jC9j(<  
    (QqKttL:  
    .5_w^4`b  
    R},mq&f5  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um >f}rM20Vm  
    波长905+-5nm INcJXlv  
    焦距15mm L(AY)gB  
    视场角 2w  =76 ]6 }|X#_  
    FN  =1.4 b\6w[52m  
    后焦26mm 3osAWSCEL  
    总长77mm /UM9g+Bb  
    相对照度全视场>0.7且均匀 . VWH  
    畸变<8% zXp{9P\c  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    O+z-6:`  
    B#sc!eLmU&  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 [R& P.E7w'  
    [.|tD  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 +| Cvv]Tx1  
    c69B[Vjb  
    h*d&2>"0m?  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: &5C%5C~ch  
    $+V{2k4X,  
    H^'EY:|  
    基本参数 /AW6XyMD _  
    qdO^)uJJ  
    BKVvu}V(o  
    初始结构的像质 WYI? M  
    .KK"KO5k  
    畸变 &W|'rA'r  
    Q_M2!qj  
    ezHj?@  
    MTF /kNr5s  
    (Tc ~  
    C^l) n!fq  
    相对照度表格和图像 -+?0|>Nh  
    9;JU c0%  
    S.M< (  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 ZtDHN L  
    lzl4pnj  
    Yo(8mtYU  
    固定光阑 ~hP[[?  
    !)_5z<  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 ^3AJYu  
    }2DeqY  
    \h _hd%'G  
    添加真实材料 (?q]E$ @  
    9Q].cDe[  
    ~5]AXi'e~  
    b @5&<V;r2  
    uodO^5"-  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: p7 2+:I  
    I]ywO4  
    mQ' ]0DS  
    %l3RM*zb  
    最终结果像质 7Zr jU {  
    4#4kfGoT  
    畸变<8%,满足条件 ]P]lG-  
    r|0C G^:C  
    iHQFieZ.E  
    _VR4 |)1g  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 (}] 74Lc  
    K\n %&w  
    Ya\G/R  
    t41\nTZr  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 x-Xb4?{  
    xp><7{  
    ~oSLWA9  
    总结 AGrGZ7p]  
    MS,H12h  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜 B(b[Dbb  
    TX;OA"3=\-  
     
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