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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-22
    1.概述
    x9JD\vZ  
    8SGo9[U2  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR Light Detection And Ranging, LIDAR)  别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 `^)jLuyu  
    /{&tY: ;m  
    62zYRs\Y)X  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 ;5)P6S.D  
    Om5Y|v"*  
    K57&yVX  
    激光雷达的基本原理如下图: 3U0`,c\ao*  
    ynQ: > tw  
    2.1设计要求
    cH&J{WeZa  
    0.@&_XTPl  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: V{!J-nO  
    5;YMqUkw  
    =o$sxb E(  
    LA}S yt\F  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um 6}FP  
    波长905+-5nm W>j!Q^?  
    焦距15mm :0Rx#%u}#  
    视场角 2w  =76 6 |PrX L&  
    FN  =1.4 xjKR R?  
    后焦26mm o%IA}e7PAa  
    总长77mm tg<EY!WY  
    相对照度全视场>0.7且均匀 N(Fp0  
    畸变<8% JPoN&BTCj  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    <4HDZ{"M  
    f}9zgWU  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 zN^n]N_?  
    d^{RQ   
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 ]7Tkkw$  
    Hl{S]]z  
    .K1FKC$C  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: ;wz^gdh;  
    Z$/xy"  
    ,F,X ,  
    基本参数 YoBDvV":@  
    e&&53?  
    Bu#VMk chJ  
    初始结构的像质 P\1L7%*lU  
    ]&lY%"U$i  
    畸变 NQJq6S4@  
    RO 4Z?tz  
    &L'Dqew,*  
    MTF Nn!+,;ut  
     W\d{a(*  
    onz?_SAW  
    相对照度表格和图像 g/CSG IIT  
    um!J]N^  
    ;:\<gVi:  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 8%A#`)fb  
    /|C*  
    1Q<^8N)pf  
    固定光阑 Z2qW\E^_r  
    +BETF;0D  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 ;f#v0W`5  
    ~*z% e*EL  
    vq(0OPj8r[  
    添加真实材料 Oo5w?+t  
    7z JRJ*NB  
    _>(^tCo  
    cW@Zd5&0S  
    <m)$K  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: JTSlWq4  
    kMi/>gpQ  
    1OCeN%4]Qk  
    9g'LkP  
    最终结果像质 *>7>g"  
    8']M^|1  
    畸变<8%,满足条件 >3_jWFq  
    Dfg2`l  
    Wbr|_W  
    8xMEe:}V  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 E ~Sb  
    >,gg5<F-E  
    Dz>^IMsY  
    l?Udn0F  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 {o_X`rgrL  
    }vxw*8d?  
    e6@=wnoX u  
    总结 b6nsg|&#  
    -]/I73!b  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜 PRu 6xsyA  
    [Dk=? +  
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