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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-22
    1.概述
    u/NcX  
    q: X^V$`  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR 或 Light Detection And Ranging, LIDAR)  区别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 ?*[35XUd  
    cnRgzj<ek  
    x <OVtAUB  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 yY*(!^S  
    Sx (E'?]  
    m. \JO  
    激光雷达的基本原理如下图: FUZuS!sJ  
    gX$gUB) x  
    2.1设计要求
    $~j9{*]5  
    4#.Q|vyl]"  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: ^.  
    P RNq8nmxC  
    )=bW\=[8  
    OEX\]!3_Fm  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um <r(D\rmD  
    波长905+-5nm +WKN&@  
    焦距15mm 1 .[OS  
    视场角 2w  =76 HV7f%U  
    FN  =1.4 rQ6>*0xL_  
    后焦26mm \zwm:@lG  
    总长77mm _y sakn  
    相对照度全视场>0.7且均匀 )D)4=LJ  
    畸变<8% aT+w6{%Z  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    `I4E': ZG  
    bE@Eiac  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 P}>>$$b\Yi  
    'cAS>s"$}V  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 ]0SqLe  
    3OY(L`  
    0%Y}CDn_  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: ?<5KLvGv  
    :Bu)cy#/[  
    $9xp@8b\_  
    基本参数 vA[7i*D{w  
    a;nYR5f  
    ?AQA>D#W  
    初始结构的像质 ^R)]_   
    jGo\_O<of  
    畸变  B@*!>R  
    Iz;^D!  
    "3|OB, <;:  
    MTF yD`pUE$  
    .2_xTt   
    MZh?MaBz06  
    相对照度表格和图像 y\[* mgl:  
    X?JtEQ~>  
    kA)`i`gt  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 ]scr@e  
    a<>cbP  
    9C7HL;MF  
    固定光阑 Dkh=(+> <  
    w>}n1Nc$G  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 \OWxf[  
    }w2Et  
    {ot6ssT=D  
    添加真实材料 wuXH'  
    cWo__EE  
    u6IM~kk>5  
    /TIt-c  
    Ol>/^3 a=  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: Ge=\IAj  
    C7}iwklcsa  
    RzFxO  
    BQeg-M  
    最终结果像质 5B8fz;l= B  
    8]O#L}"  
    畸变<8%,满足条件 #e[r0f?U  
    7 s2*VKr  
    _F^NX%  
    5lM 3In@  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 $BB^xJ\O  
    E8<,j})*  
    |  >yc|W  
    cf*~G x_l  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 No+BS%F5  
    g2rH"3sC  
    qLKL*m  
    总结 w vI v+Q9  
    7uF @Xh  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜。 -~H "zu`  
    / T_v8 {D  
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