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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-22
    1.概述
    o0<T|zgF5,  
    o 86}NqK  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR Light Detection And Ranging, LIDAR)  别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 [&zP$i&  
    rzO:9# d  
    @*c+`5)_  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 ,3W a~\/Q  
    g^]Q*EBa  
    RL&*.r&  
    激光雷达的基本原理如下图: O=-|b kO  
    @lj  
    2.1设计要求
    ;nC+K z:  
    Xz5=fj&  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: (te \!$  
    D&oC1  
    kKjYMYT6  
    A2+t`[ w  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um L~yy;)]W  
    波长905+-5nm 6?Ks H;L9  
    焦距15mm U5"F1CaW~  
    视场角 2w  =76 V)0bLR  
    FN  =1.4 F^a D!O ~  
    后焦26mm D'2O#Rj4q  
    总长77mm g`Rs;  
    相对照度全视场>0.7且均匀 fNK~z*  
    畸变<8% v:vA=R2  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    da-3hM!u+  
    lRO8}XSI  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 oS`F Yy  
    _WSJg1  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 t /47lYN)  
    JN8k x;@  
    2.NzB7c*CM  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: 9j,zaGD0  
    m?m,w$K  
    4,aBNuxWd  
    基本参数 Onc!5L  
    MDB}G '  
    LEhi/>T  
    初始结构的像质 V,Gt5lL&/!  
    O{dx+f  
    畸变 Z os~1N]3  
    -,i1T(p1  
    /stED{j,  
    MTF ]c5Shj5|p  
    `#(4K4]1.  
    $]T7Iwk  
    相对照度表格和图像 ?Rwn1.Z  
    SMhT>dB  
    .CYq+^  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 Q7SS<'(  
    4s"HO/  
    59ivL6=3  
    固定光阑 &/ zs Ix+  
    k\%{1oRA  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 kO5KZ;+N-  
    w5[POo' 5  
    pG4Hy$e  
    添加真实材料 >a0;|;hp  
    fkI<RgM  
    gz88$BT  
    T|}HK]QOX  
    bWyXDsr+  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: !sLn;1l  
    <8y8^m`P9  
    : i(h[0  
    FIS-xpv$  
    最终结果像质 z* `81  
    )Q\;N C=4  
    畸变<8%,满足条件 ,~3sba  
    `\qU.m0(j  
    7f(UbO@BD  
    Gm|QOuw  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 HL)1{[|`  
    dk.da&P  
    sn *s7v:  
    C {'c_wX  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 +FJ o!~1  
    d82IEhZ#  
    9!R!H&  
    总结 c"QI`;D_c  
    v` B_xEl  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜 t,H,*2  
    1'g?B`  
     
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