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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-22
    1.概述
    xo a1='  
    kq8.SvIb  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR Light Detection And Ranging, LIDAR)  别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 W2&o'(P\  
    F}wy7s2i  
    kZ>_m &g  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 #~BsI/m  
    9$$dSN\&  
    h'jc4mu0  
    激光雷达的基本原理如下图: n 9PYZxy  
    s'b 4Me  
    2.1设计要求
    ";yey]  
    ose(#n40  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: qILb>#  
    T\?$7$/V  
    z{`K_s%5  
    +saXN6  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um N?`V;`[  
    波长905+-5nm Vdd HK  
    焦距15mm t-B5,,`  
    视场角 2w  =76 %D1 |0v8}  
    FN  =1.4 Bs)'Gk`1  
    后焦26mm <-;/,uu  
    总长77mm 0Q?)?8_  
    相对照度全视场>0.7且均匀 2. '` mGu  
    畸变<8% %e^GfZ  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    V^Y'!w\LGI  
    *,& 2?E8  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 % b fe_k(  
    j 5}'*  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 5.1z9[z  
    6S`0<Z;;/  
    )G#mC0?PV  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: =' uePM")  
    @,Z0u2WLl6  
    o1`\*]A7J  
    基本参数 plL|Ubn  
    ;/:Sx/#s  
    "i#aII+T  
    初始结构的像质 0civXZgj  
    \?SvO  
    畸变 <qg4Rz\c]  
    Q2/65$ nW  
    KpA1Ac)T  
    MTF m/z,MT74*J  
    o?Aj6fNY?  
    .G.WPVE  
    相对照度表格和图像 27k(`{K  
    b7XB l  
    KL9k9|!p  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 85YUqVi9  
    `78Bv>[A  
    DQT'OZ :w  
    固定光阑 {j=`  
    dvZH~mF  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 Xu8I8nAwl  
    nl qn:[BU  
    NMe{1RM  
    添加真实材料 _0(%^5Y  
    f(Y_<%  
    8l_M 0F ,  
    4qdoF_  
    ^|H={pd'c0  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: rUpe  ;c  
    d2V X\  
    U@M3.[jw  
    -QroT`gy  
    最终结果像质 H T|DT  
    I]^>>>p$  
    畸变<8%,满足条件 s'h;a5Q1'Q  
    _Z23lF 9  
    TjyL])$  
    1>"-!ADm  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 6|zhqb|s  
    TG%B:^Yz!  
    )V\@N*L`ik  
    7 !$[XD  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 h:nybLw?  
    &^r>Q`u  
    `&M,B=E  
    总结 27EK +$  
    f#= c=e-A  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜 -}#HaL#'K  
    j-":>}oW2.  
     
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