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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-22
    1.概述
    u;p.:{'  
    21'I-j  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR Light Detection And Ranging, LIDAR)  别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 "F?p\I)(  
    /f_w@TR\{  
    AsJN~<0h  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 uFQ;}k;}  
    C3q}Dh+]  
    tY~gn|M  
    激光雷达的基本原理如下图: e;L++D  
    A;ip V :)  
    2.1设计要求
    iJ n<  
    C+ar]Vi  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: kt?G\H!}  
    q5C(/@)^  
    Vb^P{F  
    eV:I :::  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um &?N1-?BjM  
    波长905+-5nm KMC]<  
    焦距15mm V4I5PPz~  
    视场角 2w  =76 4/UY*Us&  
    FN  =1.4 UhKC:<%  
    后焦26mm Y,BzBUWK  
    总长77mm }ie  O  
    相对照度全视场>0.7且均匀 `-@8IZ7  
    畸变<8% 8R?X$=$]!.  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    BfZAK0+*$  
    BUcPMF%\y:  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 to9~l"n.s  
    ipzv]c&  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 Y'-@O"pK  
    JSz;>  
    8@;|x2=y  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: )CgKZ"  
    W^j;"qj  
    j9Qd 45  
    基本参数 m?3!  
    KnL-qc  
    @bs YJ4-V  
    初始结构的像质 t~vOm   
    XC 44]o4jx  
    畸变 |2RoDW  
    \j C[|LM&  
    2J?ON|2M  
    MTF ~N "rr.w  
    a)L\+$@*  
    TCShS}q;%  
    相对照度表格和图像 2gP^+.  
    z~Zu >Q1u[  
    ])`+ 78  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 K4w %XVaH  
    FPAy.cljJ  
    I*h%e,yIO  
    固定光阑 %3p~5jhm1  
    >O0z+tj  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 2rxZN\gyL  
    =AaTn::e/  
    sKE7U>mz|  
    添加真实材料 Ml-GAkgG  
    .`w[A  
    =Sjr*)<@j  
    ?a)X)#lQ  
    9gWR djK:  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: S  ^5EG;[  
    :A2{  
    Oe#*-  
    j%w}hGW%,  
    最终结果像质 =yT3#A~<G  
    <]: X  
    畸变<8%,满足条件 M:[rH  
    \/qo2'V j`  
    vI84= n  
    MxXf.iX&  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 He&7(mQ0^  
    U2hPsF4f  
    ucP"<,a  
    LUPh!)8  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 rN$U%\.I  
    aL)}S%5o?  
    yM_ta '^$  
    总结 %R|_o<(#MJ  
    v@xbur\L  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜 _1>Xk_  
    v8{ jEAK  
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