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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-22
    1.概述
    ii< /!B(  
    ]+C;C  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR Light Detection And Ranging, LIDAR)  别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 oqLM-=0<}  
    BKd03s=  
    :Nry |  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 dfo_R  
    s&>U-7fx"  
    eSAB :L,K  
    激光雷达的基本原理如下图: /UwB6s(  
    L?aaR %6#  
    2.1设计要求
    H1!u1k1nl  
    O r {9?;G  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: w.AF7.X`1  
    &OK[n1M  
    =f{)!uW<4  
    uyE_7)2d  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um /w5~ O:  
    波长905+-5nm G54,`uz2  
    焦距15mm )GbVgYkk  
    视场角 2w  =76 <i<[TPv";  
    FN  =1.4 w+^z{3>  
    后焦26mm ;v}f7v '  
    总长77mm Cf~H9  
    相对照度全视场>0.7且均匀 cJIA/HQe  
    畸变<8% 71g\fGG\  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    Iu3*`H  
    =N,ahq  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 J83{&N2u  
    d]fo>[%Xr  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 D@-'<0=  
    TbK;_pg  
    -W6r.E$mC  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: !)!<. x  
    PO$ OXw  
    Or({|S9d2  
    基本参数 ;*~y4'{z  
    Q!%C:b  
    7W7!X\0Y  
    初始结构的像质 Y6&B%t<bo  
    <Z0N)0|  
    畸变 hny(:Dj  
    Q&JnF`*  
    TB oN8cB}  
    MTF J|'e.1v  
    equ|v~@ y  
    dg(fD>+  
    相对照度表格和图像 7KB:wsz^  
    $ts%SDM  
    oo+nqc`,O  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 K #f*LV5  
    \G+uK:PC,  
    u'm[wjCj c  
    固定光阑 T+$Af,~  
    AV t(e6H  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 ]<Ugg  
    {j0c)SETN  
    r )pg9}+  
    添加真实材料 S8zc1!  
    ox}LC, !  
    KRL9dD,&  
    i&%/]Nq  
    tB,1+I=   
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: KX|7mr90K  
    ;X9nYH  
    ,j'>}'wG)  
    <<ze84 E  
    最终结果像质 s}O9[_v  
    DbL=2  
    畸变<8%,满足条件 McXid~  
    B\tP{}P8{  
    gGtl*9a=  
    YNRorE   
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 m$w'`[H  
    RKt#2%FFO  
    Cq<a|t  
    [ q<Vm-  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 7*a']W{aJ  
    &:}{?vU  
    %GY U$aA  
    总结 gbl`_t/  
    :*/'W5iM  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜 R _c! ,y  
    7Zf * T  
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