[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要 P_-zkw  
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 >ID 3oi
  

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建模任务 Syp|s3u;  
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仿真干涉条纹 2d.I3z:[  
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走进VirtualLab Fusion J)jiI>  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 Y%=A>~s*c:  
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•设置输入场 5I&^n0h|&  
−基本光源模型[教程视频] Q&QR{?PMD  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 J8b]*2D  
•定义元件的位置和方向 ni%^w(J3Q  
− LPD II：位置和方向[教程视频] *D<sk7  
•正确设置通道以进行非序列追迹 H>DJ-lG(  
−非序列追迹的通道设置[用例] r<|\4zIo/  
•使用参数运行检查影响/变化 'Y vW|Iq  
−参数运行文档的使用[用例] ?: meix  
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VirtualLab Fusion技术 PTePSj1N  
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