摘要
LGMFv tj&A@\/ 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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"}EbA3 U+i[r&{gb 建模任务
X>6a@$Mx P Vi|jkyC8 #"M Pe4 仿真干涉条纹
*3K"Kc2 Mww]l[1'EL ,{50zx2 走进VirtualLab Fusion
)-{Qa\6(% j&pgq2Kl
s?E: ] ?f`-&c; VirtualLab Fusion中的工作流程
aS7zG2R4H >D;hT*3 •设置输入场
vSA%A47G −基本光源
模型[教程视频]
^hgAgP{{ •使用导入的数据自定义表面轮廓
_YS+{0
Vq% •定义元件的位置和方向
("oA{:@d − LPD II:位置和方向[教程视频]
1W
g8jr's •正确设置通道以进行非
序列追迹
}sU\6~ −非序列追迹的通道设置[用例]
Mt Z(\&~ •使用
参数运行检查影响/变化
j5O*H_D −参数运行文档的使用[用例]
K?je(t^ a=FRJQ8S
}BrE|'.j' ka3Z5 VirtualLab Fusion技术
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