摘要
YRK 4l\_` 8WAg{lVs 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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TPrwC~\B/ c 9Cp!.#*E 建模任务
gw H6r3=y( \t}!Dr+yN +iXA|L9= 仿真干涉条纹
EprgLZ1B $I_aHhKt Q$3%aR-2 走进VirtualLab Fusion
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{9z EnVfg 6 ,!]x>B VirtualLab Fusion中的工作流程
hgm`6TQ GR"Jk[W9 •设置输入场
x{=t y*E −基本光源
模型[教程视频]
;&iQNXL •使用导入的数据自定义表面轮廓
1e } wDMU( •定义元件的位置和方向
3N;X|pa − LPD II：位置和方向[教程视频]
sp JB6n( •正确设置通道以进行非
序列追迹
5@i/4%S −非序列追迹的通道设置[用例]
]g: VvTJ;? •使用
参数运行检查影响/变化
zg Lm~ −参数运行文档的使用[用例]
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r t f}4. eOS#@6U=u VirtualLab Fusion技术
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