摘要
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干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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5aZ2j26 $ig0j` 建模任务
%Iv,@}kvT+ *><F' ?6un4EVL{ 仿真干涉条纹
{rH@gz|@i mA+&Io >TnTnF WX 走进VirtualLab Fusion
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EGzzHIZ`! Bb^;q#S1 VirtualLab Fusion中的工作流程
]X5 9 _'>oXQJ •设置输入场
B43HNs −基本光源
模型[教程视频]
P.;aMRMR •使用导入的数据自定义表面轮廓
{kCw+eXn? •定义元件的位置和方向
pg.ri64H< − LPD II:位置和方向[教程视频]
J|kR5'?x •正确设置通道以进行非
序列追迹
o(LFh[ −非序列追迹的通道设置[用例]
,p2s:&" •使用
参数运行检查影响/变化
bg&zo;Ck8T −参数运行文档的使用[用例]
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n}_JB>i~ ,PuL{%PXu VirtualLab Fusion技术
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