摘要
]&BFV%kw j* ja) 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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-^N '18: I9 aber1 建模任务
5lY9 :/Zh[Q@EG `/iN%ZKum 仿真干涉条纹
p 1fnuN |, } k~0R-m 3F3?be 走进VirtualLab Fusion
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9 f+7vCA Yq.@7cJ VirtualLab Fusion中的工作流程
:v48y.Ij7s P0<uF`87 •设置输入场
yV`vu/3K −基本光源
模型[教程视频]
*()#*0 •使用导入的数据自定义表面轮廓
#SOe &W5 •定义元件的位置和方向
g9.hR8X − LPD II：位置和方向[教程视频]
O#k+.LU •正确设置通道以进行非
序列追迹
)A"7l7?.n) −非序列追迹的通道设置[用例]
O^ hV<+CX •使用
参数运行检查影响/变化
%J'_c|EQM −参数运行文档的使用[用例]
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r9$$~/! VirtualLab Fusion技术
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