摘要
0*/kGvw`i *#zS^b n 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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%yfE7UPS] :<H8'4> 建模任务
;=a_B1"9u uxb:^d?D! )9B:Y;>) 仿真干涉条纹
w-ALCh8o L/yaVU{aEb Hs$'0: 走进VirtualLab Fusion
KU]ok ' a$}NW.
tF^g<)S;t t!jYu<P VirtualLab Fusion中的工作流程
~g7m3 J#''q"rZ •设置输入场
B)M&\:
_ −基本光源
模型[教程视频]
w.z<60%},0 •使用导入的数据自定义表面轮廓
TdFT];: •定义元件的位置和方向
P6.!3%y − LPD II:位置和方向[教程视频]
2e59Ez%k6 •正确设置通道以进行非
序列追迹
wx*1*KZ −非序列追迹的通道设置[用例]
>'b=YlUL •使用
参数运行检查影响/变化
)S*1C@ −参数运行文档的使用[用例]
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/OG zt gfN2/TDC]P VirtualLab Fusion技术
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