摘要
T<Z &kYU:R 3J|F?M" N7 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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W UXx;9 > u mH40rX+ 建模任务
ep)n_!$OH" k&vz 7Q`T x,@B(9No 仿真干涉条纹
Ma']?Rb` ;~ $'2f~U s.QwSbw-g 走进VirtualLab Fusion
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`*cxH.. b;W3 j VirtualLab Fusion中的工作流程
CMG&7(MR H0gbSd+ •设置输入场
t[;LD_ −基本光源
模型[教程视频]
^]0Pfna+N •使用导入的数据自定义表面轮廓
;yLu R •定义元件的位置和方向
{
Vf XsI − LPD II：位置和方向[教程视频]
H. |#c^I •正确设置通道以进行非
序列追迹
RSyUaA −非序列追迹的通道设置[用例]
"R1NG?; q •使用
参数运行检查影响/变化
K6/Q}W −参数运行文档的使用[用例]
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I Fg5kX VirtualLab Fusion技术
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