摘要
.u7}p# c}qpmW F 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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r/!,((Z\ "?3=FBp& 建模任务
UGO;5! _f%s] 4<#ItQ( 仿真干涉条纹
F0U %m M[mYG _{J )_jboaNzwI 走进VirtualLab Fusion
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=hg^j VirtualLab Fusion中的工作流程
pRobx cpa" ,8 •设置输入场
8/aJ4w[A −基本光源
模型[教程视频]
;]-08lzO<4 •使用导入的数据自定义表面轮廓
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|L D# •定义元件的位置和方向
PK:Lv15"r − LPD II:位置和方向[教程视频]
'0+I' _( •正确设置通道以进行非
序列追迹
Zmyq6.1q~ −非序列追迹的通道设置[用例]
=Q_1Mr4O •使用
参数运行检查影响/变化
iP(MDVg −参数运行文档的使用[用例]
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f 3H uT=n MT>sRx# VirtualLab Fusion技术
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