摘要
gl_^V&c Uv~QUL3> 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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mT Z87|Zl 建模任务
',4iFuY !7&5` q7 @Pzu^ 仿真干涉条纹
9?3&?i2- bnLPlf u=_mvN 走进VirtualLab Fusion
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D{~fDRR 19KQlMO.G VirtualLab Fusion中的工作流程
AZ}Xj>= % -e 82J1 •设置输入场
")HFYqP>9 −基本光源
模型[教程视频]
E1U",CMU •使用导入的数据自定义表面轮廓
R+,u^;\ •定义元件的位置和方向
{s{j~M − LPD II:位置和方向[教程视频]
QZ%`/\(!8_ •正确设置通道以进行非
序列追迹
NL0n009"c$ −非序列追迹的通道设置[用例]
'anG:= •使用
参数运行检查影响/变化
4 vV:EF- −参数运行文档的使用[用例]
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VgC2+APg y%bF& VirtualLab Fusion技术
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