摘要
TSuHY0.cp l|N1u=Z 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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8v)\lu 建模任务
Yq;S%. k#&y :5"|iRP' 仿真干涉条纹
EW]gG@w]5r NO9Jre o'D6lkf0 走进VirtualLab Fusion
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JLg_oK6 Qiw Zk<rb VirtualLab Fusion中的工作流程
(mz a&WF7 vEfX'gyk •设置输入场
yY,.GzIjCj −基本光源
模型[教程视频]
.g4bV5ma3 •使用导入的数据自定义表面轮廓
!_V*VD •定义元件的位置和方向
/wvA]ooT − LPD II:位置和方向[教程视频]
YR[Ii? •正确设置通道以进行非
序列追迹
[0IeEjL −非序列追迹的通道设置[用例]
q:nYUW o •使用
参数运行检查影响/变化
E[_Z%zd^ −参数运行文档的使用[用例]
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:.sK:W("v X\YeO>C VirtualLab Fusion技术
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