[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要 #(a;w  
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 **AkpV)  
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建模任务 0A8G8^T  
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仿真干涉条纹 Z R~2Y?Wt9  
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走进VirtualLab Fusion XMxm2-%olP  
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VirtualLab Fusion中的工作流程  zNn  
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•设置输入场 MA%g-}  
−基本光源模型[教程视频] KMl3`+i  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 Gtv
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•定义元件的位置和方向 YETGq-  
− LPD II：位置和方向[教程视频] [IHG9Xg  
•正确设置通道以进行非序列追迹 i`}9VaUG  
−非序列追迹的通道设置[用例] Zba<|C  
•使用参数运行检查影响/变化 fNyXDCl  
−参数运行文档的使用[用例] cmd7-2  
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VirtualLab Fusion技术 u2I@ fH/  
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