[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要 0FDfB;  
l!B)1  
扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 ]M"l-A  
qlT'gUt=H  
;rSpM  
NFc@Kz<H  
建模任务 :v_H;UU  
6J|Ee1Ez  
MDfE(cn2q  
仿真干涉条纹 G
<1awi  
1U"Fk3  
BF*]l8p  
走进VirtualLab Fusion Ksp!xFk  
Y.O/~af  
it2@hZc5  
o{EWNkmj  
VirtualLab Fusion中的工作流程 T)IH4UO  
7Y:~'&U|  
•设置输入场 'RIlyH~Yf  
−基本光源模型[教程视频] 9zj^\-FA_l  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 bDLPA27  
•定义元件的位置和方向 0|0<[:(hc  
− LPD II：位置和方向[教程视频] 0Ywqv)gg  
•正确设置通道以进行非序列追迹 4v+4qyMyE  
−非序列追迹的通道设置[用例] >Q0HqOq  
•使用参数运行检查影响/变化 x(e=@/qp  
−参数运行文档的使用[用例] R@=Bk(h  
*$ZLu jy7  
L< MIl[z7  
qTA
@0fL  
VirtualLab Fusion技术 bg\~"  
:les 3T}2