[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要 dIweg=x  
6c4&VW
  
扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 R9vT[{!i  
Pz_Oe,{.I  
f7urJ'!V  
iOw3MfO  
建模任务 RF}X ER  
R{Z-m2La  
V)M1YZV{  
仿真干涉条纹 vYmSKS  
RSfM]w}Hq#  
e'*HS7g  
走进VirtualLab Fusion -XK0KYhgW  
R"Liz3Vl%  
~!iQ6N?PY  
I_)*)d44_  
VirtualLab Fusion中的工作流程 ~^I>#Dd  
qZk'tRv  
•设置输入场 rsNf$v-*  
−基本光源模型[教程视频] 9W7#
u}Z  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 D0G-5}s`  
•定义元件的位置和方向 %
u\26[/  
− LPD II：位置和方向[教程视频] +%>:0mT  
•正确设置通道以进行非序列追迹 |k 2"_  
−非序列追迹的通道设置[用例] }-p[V$:S  
•使用参数运行检查影响/变化 is;XmF*5=  
−参数运行文档的使用[用例] NUJ~YWO;  
'!h/B;*(  
8ovM\9qT  
jn%kG ~]'Q  
VirtualLab Fusion技术 E|EgB33S  
/TQ}} YVw