[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要 W@T\i2r$z  
|(>`qL{|  
扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 X0;u7g2Yz  
..)J6L5l  
z\]Z/Bz:6  
V"YeF:I  
建模任务 {=Zy;Er  
Z =+Z96  
1+FVM\<&  
仿真干涉条纹 <w2h@ea  
>WSh)(Cg  
<YaTr9%w  
走进VirtualLab Fusion ` 2W^Ui,4  
tMxde+$y  
3`^@
ymY  
<fUo@]Lv   
VirtualLab Fusion中的工作流程 q+L'h8  
8o~ NJ 6  
•设置输入场 [YOH'i&X  
−基本光源模型[教程视频] aK_5@8+ZD  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 VQ9A/DH/  
•定义元件的位置和方向 6'#5Dqw"r  
− LPD II：位置和方向[教程视频] ) D@j6r  
•正确设置通道以进行非序列追迹 AP&//b,^M  
−非序列追迹的通道设置[用例] {kpF etXt?  
•使用参数运行检查影响/变化 #PkuCWm
6  
−参数运行文档的使用[用例] :PO./IBX  
%O\@rws  
.t "VsY|  
2%%\jlT_  
VirtualLab Fusion技术 igxO:]
?  
V 0Bl6