[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要 S]&i<V1qX  
Z +<Y.*6  
扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 *:l$ud  
`Sj8IxO  
N0 t26| A  
v!mP9c j  
建模任务 N7s9"i  
l29AC}^  
4uVyf^f\]f  
仿真干涉条纹 !C.{nOfyv  
(ke<^sv7!  
zlh\P`  
走进VirtualLab Fusion FQJFq6l  
,*p(q/kJh~  
zzKU s"u  
}u5J<*:bZ  
VirtualLab Fusion中的工作流程 YWq{?'AaR
 
P}PMRAek  
•设置输入场 
H/G;hk  
−基本光源模型[教程视频] 5'0kf7  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 wz
'in  
•定义元件的位置和方向 +A_jm!tJS(  
− LPD II：位置和方向[教程视频] Dt]FmU  
•正确设置通道以进行非序列追迹 Qbj:^{`>(  
−非序列追迹的通道设置[用例] Gg7ZSB 7  
•使用参数运行检查影响/变化 Hp fTuydU  
−参数运行文档的使用[用例] N
L ceBok  
cja-MljD  
Rn whkb&&  
Y7yzM1?t  
VirtualLab Fusion技术 m)<N:|  
C2%Yry