摘要
9eMle?pF Z3S+")^ 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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r].n=455[ QHR,p/p 建模任务
EqW~K@ q?}C`5%D #r'MfTr 仿真干涉条纹
Q@W/~~N 2RkW/)A9 &i5@4,p y9 走进VirtualLab Fusion
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eY<<Hld (7Z+ De? VirtualLab Fusion中的工作流程
!D??Y^6bI <mn[- •设置输入场
Z`S#> o −基本光源
模型[教程视频]
/hl'T'RG •使用导入的数据自定义表面轮廓
lz,M$HG<[ •定义元件的位置和方向
*fg2bz<~[B − LPD II:位置和方向[教程视频]
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uZ •正确设置通道以进行非
序列追迹
U^dfNi@q −非序列追迹的通道设置[用例]
C"I
jr=w •使用
参数运行检查影响/变化
;{ifLI0# −参数运行文档的使用[用例]
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~:DL{ZeEb 7ch9Pf VirtualLab Fusion技术
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