[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要 DFvGc`O4  
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 |g'ceG-  
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建模任务 0lV;bVa%  
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仿真干涉条纹 !E|m'_x*  
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走进VirtualLab Fusion R{ udV  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 *qu
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m&s>Sn+  
•设置输入场 P-<1vfThH  
−基本光源模型[教程视频] 6)BPDfU,  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 aKE`nA0\B  
•定义元件的位置和方向 C_JO:$\rE  
− LPD II：位置和方向[教程视频] Xppv  
•正确设置通道以进行非序列追迹 !a25
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−非序列追迹的通道设置[用例] {+GR/l\!#  
•使用参数运行检查影响/变化 EwmNgmYq  
−参数运行文档的使用[用例] =iH9=}aBFC  
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VirtualLab Fusion技术 \&~YFjB  
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