摘要
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干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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g'{?j~g iOSt=-p 建模任务
d R=0K &328pOT4 Q1ayd$W@< 仿真干涉条纹
*|y$z+g/ sINf/mv+ m*CW3y{n) 走进VirtualLab Fusion
yla- X|> Vh2uzG 
1P'A*`!K [\Nmm4 VirtualLab Fusion中的工作流程
12 ?!Z #:P$a%V •设置输入场
Km!ACA& s6 −基本光源
模型[教程视频]
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o|%]3 •使用导入的数据自定义表面轮廓
R9Wr? •定义元件的位置和方向
\13Q >iA u − LPD II：位置和方向[教程视频]
S=.%aB •正确设置通道以进行非
序列追迹
:zq Un&k& −非序列追迹的通道设置[用例]
%{pjC7j# •使用
参数运行检查影响/变化
;(J&% −参数运行文档的使用[用例]
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-Eig#]Se3 w 4CcdpR VirtualLab Fusion技术
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