摘要
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干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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{ P $}b NW;_4g4qE 建模任务
6nsb)7a b W/T}FN D =Xid"$ 仿真干涉条纹
N`H`\+ q2`mu4B (yuOY/~k/ 走进VirtualLab Fusion
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I(&N2L$- % 1GK N|7 VirtualLab Fusion中的工作流程
>Q"3dw Vx5fQ mx •设置输入场
XrMw$_0) −基本光源
模型[教程视频]
_*sd# •使用导入的数据自定义表面轮廓
RHv K Wt •定义元件的位置和方向
iDgc$'%? − LPD II：位置和方向[教程视频]
In:V.'D/>t •正确设置通道以进行非
序列追迹
%M8Q6 −非序列追迹的通道设置[用例]
OaoHN& " •使用
参数运行检查影响/变化
]0(ZlpT −参数运行文档的使用[用例]
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nf VirtualLab Fusion技术
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