摘要
u=#!je 52*zX 3 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
bdqo2ZO v}-'L#6 
$$ \| 3rj! D6_16P JE 建模任务
vVKiE 6^ \J0gzi. 1S\q\kz->D 仿真干涉条纹
GVY_u@6 <s-_ieW' U,Z.MP Q 走进VirtualLab Fusion
t,R5FoV 4|Jy] 
NK*~UePy vC\]7]mC VirtualLab Fusion中的工作流程
V
) 1SZt@x M &@9B)|= •设置输入场
t ba%L −基本光源
模型[教程视频]
Y k<?HNf •使用导入的数据自定义表面轮廓
ZWmmFKFG. •定义元件的位置和方向
y YWGM − LPD II：位置和方向[教程视频]
0_qqBL. 4 •正确设置通道以进行非
序列追迹
Cb.~Dv
! −非序列追迹的通道设置[用例]
:?jOts>uP •使用
参数运行检查影响/变化
ksm=<I"C −参数运行文档的使用[用例]
"v jFL9 ctdV4%^{ 
j4H,*fc 8!me$k & VirtualLab Fusion技术
sP5PYNspA Y.F:1<FAtf
