摘要
@t uhFj|r$$ 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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x8 sSb:N N4%q-fi 建模任务
f!~gfnn X$zlR) Re Dq!Vo ;s2 仿真干涉条纹
1FS Jqad d* Y&V$?zl 8Hf!@p6R+ 走进VirtualLab Fusion
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(63_ J 21D/#v VirtualLab Fusion中的工作流程
nBGFa .N99=%[}h •设置输入场
w< *tbq −基本光源
模型[教程视频]
wj/\ !V! •使用导入的数据自定义表面轮廓
8 YAUy\ •定义元件的位置和方向
\+E{8&TH' − LPD II：位置和方向[教程视频]
~ jb6 •正确设置通道以进行非
序列追迹
q"5iza__H −非序列追迹的通道设置[用例]
(xJ6 : u •使用
参数运行检查影响/变化
h#?L6<*tm −参数运行文档的使用[用例]
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=N`"%T@= lkK+Fm VirtualLab Fusion技术
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