摘要
NwvC[4 MJO-q $)c 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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lfgq=8d rXP,\ ]r+ 建模任务
L`TLgH&?R 8/#A!Ww] *:7rdzn 仿真干涉条纹
~,Ix0h+H+M JPHL#sKyz ~G&dqw/.-U 走进VirtualLab Fusion
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EME|k{W _N cR)2 VirtualLab Fusion中的工作流程
RbnVL$c qInR1 r< •设置输入场
t{9GVLZ −基本光源
模型[教程视频]
#zs~," dRv •使用导入的数据自定义表面轮廓
V f&zL
Sgr •定义元件的位置和方向
_jVN&\A]mC − LPD II:位置和方向[教程视频]
(%6P0* •正确设置通道以进行非
序列追迹
b8t7u −非序列追迹的通道设置[用例]
:3Ox~o •使用
参数运行检查影响/变化
~ .g@hS8> −参数运行文档的使用[用例]
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VirtualLab Fusion技术
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