摘要
4Lh!8g=/ qL&[K>2z 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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M7a.8-!1 o]` *M| 建模任务
,o{9$H5{ S)k*?dQ##R 7he,?T)vD 仿真干涉条纹
(GuzN 5k3n\sqZA iNz=e=+Si 走进VirtualLab Fusion
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z8~NZ;A ./k/KSR VirtualLab Fusion中的工作流程
k\YG^I `PdQX.wN •设置输入场
t#/YN.@r −基本光源
模型[教程视频]
a
%'the •使用导入的数据自定义表面轮廓
u\x}8pn •定义元件的位置和方向
}bpQq6ZF − LPD II:位置和方向[教程视频]
el<s8:lA •正确设置通道以进行非
序列追迹
9J*\T(W −非序列追迹的通道设置[用例]
mpEK (p •使用
参数运行检查影响/变化
$s c −参数运行文档的使用[用例]
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p8H'{f\G H8^(GUhyp VirtualLab Fusion技术
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